【技术实现步骤摘要】
一种管式LPCVD真空反应室
本专利技术涉及LPCVD(低压化学气相沉积)设备,尤其涉及一种管式LPCVD真空反应室。
技术介绍
LPCVD(LowPressureChemicalVaporDeposition,低压化学气相沉积)设备是在低压高温条件下,通过混合气体的化学反应生成固体反应物并使其沉积在硅片表面形成薄膜,是化学气相沉积(CVD)设备当中的一种,主要应用于集成电路、电力电子、光伏、微机电系统等行业。在光伏行业中,LPCVD主要应用于多晶硅、非晶硅、SiO2、Si3N4、磷硅玻璃(PSG)和掺硼磷硅玻璃(BPSG)等多种薄膜的生长与沉积。作为CVD设备当中的一种,其最为重要功能或最终的目标仍然是CVD反应,因而反应室是整个设备的核心,也是设计的核心点。现阶段采用真空反应室均为单层石英管,首先,当单层石英管内壁淀积多晶硅薄膜达到一定厚度以后,当遇到突然断电或降温维护时,石英管内壁覆盖有多晶硅的地方就会产生裂纹,使得石英管报废,石英管的使用寿命非常低,重新拆换石英管也异常繁琐,需要重新对反应室进行密封安装。其次,单层石英管前后均采用单层水冷法兰,单层水冷法兰的冷却效果较差,密封圈容易老化导致漏气。第三,进气口多为在炉口设计一根3/8’的不锈钢圆管伸入反应腔室,深入长度约100mm,进气端管路中的气体进入反应室时,由于气体输送的截面积急剧扩大,使得气流不稳定,进而影响到了炉口附近硅片的薄膜均匀性,同时,炉口往炉尾方向,反应气体的消耗容易使气体的组分出现变化,导致淀积速率、薄膜性能不一致,影响薄膜的工艺质量。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现 ...
【技术保护点】
1.一种管式LPCVD真空反应室,其特征在于:包括炉门(100)、前端法兰(200)、前支撑法兰(300)、前密封组件(400)、加热炉体(500)、后支撑法兰(600)、后密封组件(700)、尾端法兰(800)、内层石英管(910)和外层石英管(920),所述外层石英管(920)套于内层石英管(910)的外部,所述加热炉体(500)套于外层石英管(920)上,所述前支撑法兰(300)和后支撑法兰(600)分别位于外层石英管(920)的两端的外管壁上,所述前支撑法兰(300)、加热炉体(500)和后支撑法兰(600)三者固定设置,所述炉门(100)与前端法兰(200)连接,所述前端法兰(200)盖设于内层石英管(910)和外层石英管(920)的前端端口,所述前端法兰(200)与外层石英管(920)之间通过前密封组件(400)连接,所述前密封组件(400)固定在前支撑法兰(300)上,所述尾端法兰(800)设于内层石英管(910)和外层石英管(920)的后端,且尾端法兰(800)与外层石英管(920)和内层石英管(910)之间通过后密封组件(700)连接,所述后密封组件(700)固定在后 ...
【技术特征摘要】
1.一种管式LPCVD真空反应室,其特征在于:包括炉门(100)、前端法兰(200)、前支撑法兰(300)、前密封组件(400)、加热炉体(500)、后支撑法兰(600)、后密封组件(700)、尾端法兰(800)、内层石英管(910)和外层石英管(920),所述外层石英管(920)套于内层石英管(910)的外部,所述加热炉体(500)套于外层石英管(920)上,所述前支撑法兰(300)和后支撑法兰(600)分别位于外层石英管(920)的两端的外管壁上,所述前支撑法兰(300)、加热炉体(500)和后支撑法兰(600)三者固定设置,所述炉门(100)与前端法兰(200)连接,所述前端法兰(200)盖设于内层石英管(910)和外层石英管(920)的前端端口,所述前端法兰(200)与外层石英管(920)之间通过前密封组件(400)连接,所述前密封组件(400)固定在前支撑法兰(300)上,所述尾端法兰(800)设于内层石英管(910)和外层石英管(920)的后端,且尾端法兰(800)与外层石英管(920)和内层石英管(910)之间通过后密封组件(700)连接,所述后密封组件(700)固定在后支撑法兰(600)上。2.根据权利要求1所述的管式LPCVD真空反应室,其特征在于:所述前密封组件(400)包括均套于外层石英管(920)上的第一密封法兰(410)和第二密封法兰(420),所述前端法兰(200)与第一密封法兰(410)连接,所述第一密封法兰(410)与第二密封法兰(420)连接,所述第二密封法兰(420)与前支撑法兰(300)连接。3.根据权利要求2所述的管式LPCVD真空反应室,其特征在于:所述第一密封法兰(410)和第二密封法兰(420)均为水冷法兰,所述炉门(100)与前端法兰(200)之间设有密封圈(401),所述前端法兰(200)与第一密封法兰(410)之间以及前端法兰(200)与内层石英管(910)前端端口之间设有密封圈(401),所述第一密封法兰(410)与外层石英管(920)的前端端口之间设有密封圈(401),所述第二密封法兰(420)和外层石英管(920)的外管壁之间设有密封圈(401)。4.根据权利要求1所述的管式LPCVD真空反应室,其特征在于:所述后密封组件(700)包括均套于外层石英管(920)上的第三密封法兰(710)和第四密封法兰(720),所述第三密封法兰(710)...
【专利技术属性】
技术研发人员:李明,吴德轶,张弥涛,成秋云,张春成,
申请(专利权)人:湖南红太阳光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:湖南,43
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