金属掩膜蒸镀装置及其冷却板制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种金属掩膜蒸镀装置及其冷却板，所述冷却板的下表面在靠近边缘的地方设有稍微凸出的可拆装压条，所述可拆装压条可在压合的过程中使玻璃基板产生局部弯曲，从而消除在所述玻璃基板边缘处，掩膜板与玻璃基板贴合不紧密的现象，进而消除局部混色，提升产品良率。

【技术实现步骤摘要】
金属掩膜蒸镀装置及其冷却板
本专利技术涉及一种金属掩膜蒸镀装置，特别是涉及一种具有可拆装压条的冷却板的金属掩膜蒸镀装置。
技术介绍
有机电致发光器件(OLED)以其自发光、全固态、高对比度、可弯曲等优点，成为目前最具发展前景的新型显示器件。在OLED产品制造过程中需使用精密的金属掩模板(mask)遮挡有机材料来定义像素(pixel)区域，从而使蒸发的有机材料沉积在像素区域内。请参照图1及图2所示，图1是现有的一种金属掩膜蒸镀装置的示意图，图2是现有的一掩膜板的示意图。如图1及图2所示，现有的一种金属掩膜蒸镀装置1主要包含一掩膜板2，所述掩膜板2上用于放置一玻璃基板3。另外，所述金属掩膜蒸镀装置1还包含一蒸镀器4、一移动机构5、一磁吸板6及一冷却板7，其中所述蒸镀器4设于所述掩膜板2的下方，用于向上提供一蒸镀气体；所述移动机构5设于所述掩膜板2的上方，用于向下提供一压合力；所述磁吸板6设于所述移动机构5的下方，用于提供与所述掩膜板2之间的一磁吸力；及所述冷却板7设于所述磁吸板6的下方，用于提供所述掩膜板2的冷却作用。如图2所示，在所述掩膜板2上放置所述玻璃基板3，所述掩膜板2与所述玻璃基板3贴合的紧密程度直接影响产品的良率，在实际生产中通过使用所述冷却板7来减小所述玻璃基板3的下垂量，同时消除热胀导致的所述玻璃基板3与所述掩膜板2间的错位，并通过施加所述磁吸板6使所述掩膜板2与所述玻璃基板3紧密地贴合。然而，由于所述玻璃基板3存在轻微下垂，且所述掩膜板2本身为一框架，其中间包含一掩模片2a，所述掩模片2a是通过焊接的方式将其两端固定在所述掩模板2的框架上，所以在所述玻璃基板3的边缘位置上，所述掩膜板2与所述玻璃基板3存在间隙，其中又以所述掩模片2a的四个角落处最为严重，这些间隙会直接导致所述玻璃基板3在蒸镀后产生混色缺陷，因而降低了产品良率。因此，有必要提供一种改良的金属掩膜蒸镀装置及其冷却板，以解决上述技术问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是提供一种金属掩膜蒸镀装置及其冷却板，所述冷却板的下表面设有稍微凸出的可拆装压条，从而消除在掩膜板与玻璃基板贴合不紧密的现象。为达上述目的，本专利技术提供一种金属掩膜蒸镀装置的冷却板，其包含：一板体，具有一下表面，所述板体内设有冷却管路；至少二安装槽，设于所述板体的所述下表面，并分别靠近所述板体的两个对应边缘；及至少二可拆装压条，分别设于所述安装槽内。在本专利技术的一实施例中，所述至少二可拆装压条的材质为聚四氟乙烯。在本专利技术的一实施例中，所述至少二可拆装压条的宽度为10-30毫米。在本专利技术的一实施例中，所述至少二可拆装压条凸出所述下表面一凸起距离。在本专利技术的一实施例中，所述凸起距离大于为500微米。为达上述目的，本专利技术另提供一种金属掩膜蒸镀装置，包含：一掩膜板，用于放置一玻璃基板；一蒸镀器，设于所述掩膜板的下方，用于向上提供一蒸镀气体；一移动机构，设于所述掩膜板的上方，用于向下提供一压合力；一磁吸板，设于所述移动机构的下方，用于提供与所述掩膜板之间的一磁吸力；及一冷却板，设于所述磁吸板的下方，用于提供所述掩膜板的冷却作用；其中，所述冷却板包含：一板体，具有一下表面，所述板体内设有冷却管路；至少二安装槽，设于所述板体的所述下表面，并分别靠近所述板体的两个对应边缘；及至少二可拆装压条，分别设于所述安装槽内。在本专利技术的一实施例中，所述至少二可拆装压条的材质为聚四氟乙烯。在本专利技术的一实施例中，所述至少二可拆装压条的宽度为10-30毫米。在本专利技术的一实施例中，所述至少二可拆装压条凸出所述下表面一凸起距离。在本专利技术的一实施例中，所述凸起距离大于为500微米。在本专利技术中，由于所述冷却板的下表面在靠近边缘的地方设有稍微凸出的可拆装压条，所述可拆装压条可在压合的过程中使玻璃基板产生局部弯曲，从而消除在所述玻璃基板边缘处，掩膜板与玻璃基板贴合不紧密的现象，进而消除局部混色，提升产品良率。附图说明图1：现有的一种金属掩膜蒸镀装置的示意图。图2：现有的一掩膜板的示意图。图3：本专利技术的一种金属掩膜蒸镀装置的示意图。图4：本专利技术的一冷却板的冷却管路的示意图。图5：本专利技术的一冷却板的侧视示意图。图6：本专利技术的一冷却板的仰视示意图。具体实施方式为让本专利技术上述目的、特征及优点更明显易懂，下文特举本专利技术较佳实施例，并配合附图，作详细说明。再者，本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参照附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。请参照图3所示，图3是本专利技术的一种金属掩膜蒸镀装置的示意图。如图3所示，本专利技术的一种金属掩膜蒸镀装置100主要包含一掩膜板110，所述掩膜板110上用于放置一玻璃基板200。另外，所述金属掩膜蒸镀装置100还包含一蒸镀器120、一移动机构130、一磁吸板140及一冷却板150，其中所述蒸镀器120设于所述掩膜板110的下方，用于向上提供一蒸镀气体；所述移动机构130设于所述掩膜板110的上方，用于向下提供一压合力；所述磁吸板140设于所述移动机构130的下方，用于提供与所述掩膜板110之间的一磁吸力；及所述冷却板150设于所述磁吸板140的下方，用于提供所述掩膜板110的冷却作用。请再参照图4所示，图4是本专利技术的一冷却板的冷却管路的示意图。如图4所示，所述冷却板150主要包含一板体152，所述板体152内设有冷却管路154，所述冷却管路154用于提供所述掩膜板110的冷却作用。请再参照图5及图6所示，图5是本专利技术的一冷却板的侧视示意图，及图6是本专利技术的一冷却板的仰视示意图。如图5及图6所示，所述板体152还具有一下表面152a，所述下表面152a设有多个安装槽156，所述多个安装槽156是设于靠近所述板体152的边缘。此外，所述板体152还具有对应于所述安装槽156数量的多个可拆装压条158，所述可拆装压条158分别设于所述安装槽156内。如图5及图6所示，优选地，所述安装槽156的数量为至少两个，且所述安装槽156是设于分别靠近所述板体152的两个对应边缘，至少二可拆装压条158分别设于至少二安装槽156内。优选地，所述至少二可拆装压条158的材质为聚四氟乙烯(PTFE)，也就是俗称的铁氟龙。此外，所述至少二可拆装压条158为可拆卸的组件，可通过螺丝与所述冷却板150固定，所述至少二可拆装压条158可设计为整条状，也可设计为分离的块状，依具体需求而定。优选地，所述至少二可拆装压条158的宽度为10-30毫米(mm)。优选地，安装后的所述至少二可拆装压条158凸出所述下表面一凸起距离，所述凸起距离大于为500微米(um)。如图3所示，在所述掩膜板110上放置所述玻璃基板200，所述掩膜板110与所述玻璃基板200贴合的紧密程度直接影响产品的良率，在实际生产中通过使用所述冷却板150来减小所述玻璃基板200的下垂量，同时消除热胀导致的所述玻璃基板200与所述掩膜板110间的错位，并通过施加所述磁吸板140使所述掩膜板110与所述玻璃基板200紧密地贴合。在本专利技术中，由于所述玻璃基板200存在轻微下垂，且所述掩膜板110本身为一框架，其中间包含一掩模片110a，所述掩模片11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属掩膜蒸镀装置的冷却板，其特征在于，包含：一板体，具有一下表面，所述板体内设有冷却管路；至少二安装槽，设于所述板体的所述下表面，并分别靠近所述板体的两个对应边缘；及至少二可拆装压条，分别设于所述安装槽内。

【技术特征摘要】
1.一种金属掩膜蒸镀装置的冷却板，其特征在于，包含：一板体，具有一下表面，所述板体内设有冷却管路；至少二安装槽，设于所述板体的所述下表面，并分别靠近所述板体的两个对应边缘；及至少二可拆装压条，分别设于所述安装槽内。2.如权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述至少二可拆装压条的材质为聚四氟乙烯。3.如权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述至少二可拆装压条的宽度为10-30毫米。4.如权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述至少二可拆装压条凸出所述下表面一凸起距离。5.如权利要求4所述的冷却板，其特征在于，所述凸起距离大于为500微米。6.一种金属掩膜蒸镀装置，包含：一掩膜板，用于放置一玻璃基板；一蒸镀器，设于所述掩膜板的下方，用于向上提供一蒸镀气体；一移动机构，设于所述掩膜板的上方，用于向下提...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜亮，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44