【技术实现步骤摘要】
碎片自动清扫装置
本技术涉及到清扫装置,具体涉及到镀膜设备中的碎片自动清扫装置。
技术介绍
现有的管式PECVD系统中,在炉管内的碎硅片,需要定期人工清理,需要操作者拿特定的耙子,手动把碎片扒出来。上述操作方式存在以下缺点:影响设备产能;登高作业存在安全隐患。专利号为201220415034.3,名称为板式PECVD硅片碎片清理装置,公开了一种硅片碎片的清理装置,该装置包括手柄(1)和清洁部(2),所述清洁部(2)与手柄(1)固定连接,所述清洁部(2)包括左分叉(21)和右分叉(22),左分叉和右分叉之间分别穿设有主动轴(3)和从动轴(4),所述主动轴(3)一端设有用于驱动主动轴(3)转动的电机(31),所述从动轴(4)上绕设有胶面向外的胶带卷(5),所述胶带卷(5)的自由端(51)与主动轴(3)固定,所述手柄(1)上设有用于控制电机(31)转动的开关(7)。该专利其采用滚动的胶带粘附硅片碎片,最后将用胶带包覆住的硅片碎片从炉体内取出。该方式存在以下问题,其仍需要人工操作,操作者手握手柄,通过控制手柄上的控制电机控制清洁部的动作;并且进行该项清理工作的时候,还需要设备停止运行,影响设备产能。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题,本技术提供了一种在线式碎片自动清扫装置,清扫过程实现自动化。桨杆7为管式PECVD的自动上下料系统中的一部分,桨杆7是将待镀膜的衬底放入设备的炉体中,或者将镀膜后的衬底从炉体中取出,利用桨杆7在炉体中循环往复的动作,本技术方案想到在桨杆7附加一个清扫刮板3,在桨杆7退出炉体时,顺便将碎片在炉体中扫出,这样既避免了人工清扫碎片,又 ...
【技术保护点】
1.碎片自动清扫装置,其特征在于:所述装置包括气缸(1)、推拉杆(2)、清扫刮板(3)、过渡支架(4)和旋转支架(5);所述推拉杆(2)通过过渡支架(4)可活动地连接在桨杆(7)上;所述气缸(1)的伸缩杆连接推拉杆(2)的一端,推拉杆(2)另一端连接清扫刮板(3)的上部;所述旋转支架(5)固定在桨杆(7)上,旋转支架(5)上设有旋转中心(6),清扫刮板(3)的顶端连接在旋转中心(6)上并可绕旋转中心(6)旋转。
【技术特征摘要】
1.碎片自动清扫装置,其特征在于:所述装置包括气缸(1)、推拉杆(2)、清扫刮板(3)、过渡支架(4)和旋转支架(5);所述推拉杆(2)通过过渡支架(4)可活动地连接在桨杆(7)上;所述气缸(1)的伸缩杆连接推拉杆(2)的一端,推拉杆(2)另一端连接清扫刮板(3)的上部;所述旋转支架(5)固定在桨杆(7)上,旋转支架(5)上设有旋转中心(6),清扫刮板(3)的顶端连接在旋转中心(6)上并可绕旋转中心(6)旋转。2.根据权利要求1所述的碎片自动清扫装置,其特征在于:所述推拉杆(2)与清扫刮板(3)通过通过可活动的关节连接。3.根据权利要求1所述的碎片自动清扫装置,其特征在于:所述过渡支架(4)固定在桨杆(7)的底部,过渡支架(4)设有若干个;推拉杆(2)...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚良,张鹤,
申请(专利权)人:江苏微导纳米装备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。