本实用新型专利技术公开了单晶硅清洗技术领域的一种单晶硅原料高效清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽内腔对称设置有两组夹紧板，所述夹紧板内侧设置有放置槽，所述夹紧板的外侧壁设置有固定块，所述固定块底部滑动连接有支撑座一，所述螺杆的中部设置有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮啮合连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮的顶部设置有转动轴，所述转动轴贯穿清洗槽的顶部与从动链轮连接，所述从动链轮通过链条与主动链轮连接，所述主动链轮与驱动电机的电机轴固定连接，所述清洗槽的右侧底部设置有出水口，所述清洗槽的两端内壁设置有紫外线灯，该装置快速高效，同时乙醇溶液与单晶硅充分接触，使单晶硅的清洗效果更佳。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅原料高效清洗装置
本技术涉及单晶硅清洗
，具体为一种单晶硅原料高效清洗装置。
技术介绍
在硅片的加工过程中，每一道工序都涉及到清洗，由于很多半导体分立器件是在硅研磨片表面直接制造或衬底扩散而成，因此，硅研磨片清洗质量的好坏将直接影响下一道工序，甚至影响器件的成品率和可靠性。目前，常规的半导体硅研磨片的清洗方法有两种：手洗和超声波清洗。手洗效果差，清洗后的研磨硅片上仍然会有许多研磨金刚砂，硅粉末残留，为此，我们提出一种单晶硅原料高效清洗装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶硅原料高效清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅原料高效清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽内腔对称设置有两组夹紧板，所述夹紧板内侧设置有放置槽，所述夹紧板的外侧壁设置有固定块，所述固定块底部滑动连接有支撑座一，所述支撑座一的底部设置有缓冲装置，所述缓冲装置的底部设置有支撑座二，所述支撑座二与清洗槽内腔底部固定连接，所述清洗槽内腔顶部设置有挂块，所述挂块的底部设置有螺杆，所述螺杆的外壁套接有两组滑块，所述滑块的前端外壁通过销轴设置有连接杆，且连接杆的中部插接有转轴，所述转轴前后两端与清洗槽的内壁连接，所述连接杆的底部通过销轴与固定块的前端左侧相连接，所述螺杆的中部设置有从动锥齿轮，所述从动锥齿轮啮合连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮的顶部设置有转动轴，所述转动轴贯穿清洗槽的顶部与从动链轮连接，所述从动链轮通过链条与主动链轮连接，所述主动链轮与驱动电机的电机轴固定连接，所述驱动电机设置在清洗槽的右侧端壁，所述清洗槽的左侧设置有进水口，所述清洗槽的右侧底部设置有出水口，所述清洗槽的两端内壁设置有紫外线灯。优选的，所述缓冲装置包括与支撑座二顶部固定连接的底座，所述底座上设置有梯形块，所述梯形块的顶部设置有梯形槽，所述梯形槽内设置有与梯形槽相匹配的梯形滑块，所述梯形滑块底部设置有压缩弹簧，所述压缩弹簧的另一端与梯形槽底部固定连接，所述梯形滑块的顶部设置有顶座。优选的，所述支撑座一的顶部设置有燕尾滑槽，所述固定块的底部设置有与燕尾滑槽相匹配的燕尾滑块。优选的，所述螺杆位于从动锥齿轮左右两侧的外壁设置的螺纹旋向相反。优选的，所述紫外线灯内部设置有电阻丝，所述紫外线灯的外壁涂有沥青层。优选的，所述夹紧板的一侧均设置有三组放置槽，所述夹紧板上设置有丝网。与现有技术相比，本技术的有益效果是：从进水口注入乙醇溶液，启动驱动电机，驱动电机通过电机轴带动主动链轮转动，主动链轮通过链条带动从动链轮转动，从动链轮通过转动轴带动主动锥齿轮转动，与主动锥齿轮啮合连接的从动锥齿轮随之转动，从动锥齿轮带动螺杆转动，螺杆上的滑块同时向左或向右运动，与滑块连接的连接杆通过转轴推拉固定块，固定块带动夹紧板运动，放置在放置槽内的单晶硅随之运动，夹紧板带动清洗槽内的乙醇溶液运动，使单晶硅与乙醇溶液充分接触，清洗完后，打开出水口的阀门，乙醇溶液排出后，紫外线灯工作，对单晶硅进行杀菌消毒，电阻丝工作对清洗槽内的装置和单晶硅进行烘干，该装置快速高效，同时乙醇溶液与单晶硅充分接触，使单晶硅的清洗效果更佳。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术缓冲装置结构示意图。图中：1清洗槽、2夹紧板、3放置槽、4固定块、5支撑座一、6缓冲装置、61底座、62梯形块、63梯形槽、64梯形滑块、65压缩弹簧、66顶座、7支撑座二、8连接杆、9转轴、10滑块、11螺杆、12挂块、13从动锥齿轮、14主动锥齿轮、15转动轴、16从动链轮、17链条、18主动链轮、19驱动电机、20进水口、21出水口、22紫外线灯。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种单晶硅原料高效清洗装置，包括清洗槽1，清洗槽1内腔对称设置有两组夹紧板2，夹紧板2内侧设置有放置槽3，夹紧板2的外侧壁设置有固定块4，固定块4底部滑动连接有支撑座一5，支撑座一5的底部设置有缓冲装置6，缓冲装置6的底部设置有支撑座二7，支撑座二7与清洗槽1内腔底部固定连接，清洗槽1内腔顶部设置有挂块12，挂块12的底部设置有螺杆11，螺杆11的外壁套接有两组滑块10，滑块10的前端外壁通过销轴设置有连接杆8，且连接杆8的中部插接有转轴9，转轴9前后两端与清洗槽1的内壁连接，连接杆8的底部通过销轴与固定块4的前端左侧相连接，螺杆11的中部设置有从动锥齿轮13，从动锥齿轮13啮合连接有主动锥齿轮14，主动锥齿轮14的顶部设置有转动轴15，转动轴15贯穿清洗槽1的顶部与从动链轮16连接，从动链轮16通过链条17与主动链轮18连接，主动链轮18与驱动电机19的电机轴固定连接，驱动电机19设置在清洗槽1的右侧端壁，清洗槽1的左侧设置有进水口20，清洗槽1的右侧底部设置有出水口21，清洗槽1的两端内壁设置有紫外线灯22。其中，缓冲装置6包括与支撑座二7顶部固定连接的底座61，底座61上设置有梯形块62，梯形块62的顶部设置有梯形槽63，梯形槽63内设置有与梯形槽63相匹配的梯形滑块64，梯形滑块64底部设置有压缩弹簧65，压缩弹簧65的另一端与梯形槽63底部固定连接，梯形滑块10的顶部设置有顶座66，当连接杆8通过转轴9推动夹紧板2时，连接杆8的长度一定，在转动时会挤压支撑座一5，同时带动夹紧板2上下移动，使放置槽3内的单晶硅与乙醇溶液接触更充分；支撑座一5的顶部设置有燕尾滑槽，固定块4的底部设置有与燕尾滑槽相匹配的燕尾滑块，使夹紧板上下左右运动更平稳；螺杆11位于从动锥齿轮13左右两侧的外壁设置的螺纹旋向相反，控制两组滑块同时相向或背向运动；紫外线灯22内部设置有电阻丝，紫外线灯22的外壁涂有沥青层，电阻丝在乙醇溶液从排出口排出时，对单晶硅及清洗槽1内的装置进行烘干。夹紧板2的一侧均设置有三组放置槽3，夹紧板2上设置有丝网，增加清洗的速率。工作原理：从进水口20注入乙醇溶液，启动驱动电机19，驱动电机19通过电机轴带动主动链轮18转动，主动链轮18通过链条17带动从动链轮16转动，从动链轮16通过转动轴15带动主动锥齿轮14转动，与主动锥齿轮14啮合连接的从动锥齿轮13随之转动，从动锥齿轮13带动螺杆11转动，螺杆11上的滑块10同时向左或向右运动，与滑块10连接的连接杆8通过转轴9推拉固定块4，固定块4带动夹紧板2运动，放置在放置槽3内的单晶硅随之运动，夹紧板2带动清洗槽内的乙醇溶液运动，使单晶硅与乙醇溶液充分接触，清洗完后，打开出水口21的阀门，乙醇溶液排出后，紫外线灯22工作，对单晶硅进行杀菌消毒，电阻丝工作对清洗槽1内的装置和单晶硅进行烘干。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种单晶硅原料高效清洗装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)内腔对称设置有两组夹紧板(2)，所述夹紧板(2)内侧设置有放置槽(3)，所述夹紧板(2)的外侧壁设置有固定块(4)，所述固定块(4)底部滑动连接有支撑座一(5)，所述支撑座一(5)的底部设置有缓冲装置(6)，所述缓冲装置(6)的底部设置有支撑座二(7)，所述支撑座二(7)与清洗槽(1)内腔底部固定连接，所述清洗槽(1)内腔顶部设置有挂块(12)，所述挂块(12)的底部设置有螺杆(11)，所述螺杆(11)的外壁套接有两组滑块(10)，所述滑块(10)的前端外壁通过销轴设置有连接杆(8)，且连接杆(8)的中部插接有转轴(9)，所述转轴(9)前后两端与清洗槽(1)的内壁连接，所述连接杆(8)的底部通过销轴与固定块(4)的前端左侧相连接，所述螺杆(11)的中部设置有从动锥齿轮(13)，所述从动锥齿轮(13)啮合连接有主动锥齿轮(14)，所述主动锥齿轮(14)的顶部设置有转动轴(15)，所述转动轴(15)贯穿清洗槽(1)的顶部与从动链轮(16)连接，所述从动链轮(16)通过链条(17)与主动链轮(18)连接，所述主动链轮(18)与驱动电机(19)的电机轴固定连接，所述驱动电机(19)设置在清洗槽(1)的右侧端壁，所述清洗槽(1)的左侧设置有进水口(20)，所述清洗槽(1)的右侧底部设置有出水口(21)，所述清洗槽(1)的两端内壁设置有紫外线灯(22)。...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅原料高效清洗装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)内腔对称设置有两组夹紧板(2)，所述夹紧板(2)内侧设置有放置槽(3)，所述夹紧板(2)的外侧壁设置有固定块(4)，所述固定块(4)底部滑动连接有支撑座一(5)，所述支撑座一(5)的底部设置有缓冲装置(6)，所述缓冲装置(6)的底部设置有支撑座二(7)，所述支撑座二(7)与清洗槽(1)内腔底部固定连接，所述清洗槽(1)内腔顶部设置有挂块(12)，所述挂块(12)的底部设置有螺杆(11)，所述螺杆(11)的外壁套接有两组滑块(10)，所述滑块(10)的前端外壁通过销轴设置有连接杆(8)，且连接杆(8)的中部插接有转轴(9)，所述转轴(9)前后两端与清洗槽(1)的内壁连接，所述连接杆(8)的底部通过销轴与固定块(4)的前端左侧相连接，所述螺杆(11)的中部设置有从动锥齿轮(13)，所述从动锥齿轮(13)啮合连接有主动锥齿轮(14)，所述主动锥齿轮(14)的顶部设置有转动轴(15)，所述转动轴(15)贯穿清洗槽(1)的顶部与从动链轮(16)连接，所述从动链轮(16)通过链条(17)与主动链轮(18)连接，所述主动链轮(18)与驱动电机(19)的电机轴固定连接，所述驱动电机(19)设置在清洗槽(1)的右侧端壁，所述清洗槽(1)的左...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈春成，戚建静，
申请(专利权)人：江苏晶品新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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