一种胶盘和匀胶机制造技术

一种胶盘和匀胶机，属于半导体生产领域。胶盘包括相互配合的底座、内圈以及盘盖。其中，内圈能够被扣合的底座和盘盖之间形成的空腔所容纳。底座和盘盖能够相互分离，且内圈以能够从底座内分离。本实用新型专利技术提出的胶盘具有安装方便，易于使用的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种胶盘和匀胶机
本技术涉及半导体生产领域，具体而言，涉及一种胶盘和匀胶机。
技术介绍
匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。该设备主要用于晶片涂光刻胶，有自动、手动和半自动三种工作方式。目前，使用得较多匀胶机有SVG匀胶机，其设计结构存在缺陷人员更换十分不方便。尤其是女员工在更换老SVG胶盘时，因安装繁琐不到位导致废碎片问题，不仅影响产品质量，还存在一定的安全隐患。公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本技术的总体
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
基于现有技术的不足，本技术提供了一种胶盘和匀胶机，以部分或全部地改善、甚至解决现有技术中的问题。本技术是这样实现的：在本技术的第一方面，提供了一种胶盘。本技术所提出的胶盘适用于匀胶机。胶盘包括：底座，底座具有呈圆柱形结构的第一中空侧板、与第一中空侧板连接的底板，第一中空侧板的一端连接底板连接并被底板封闭、且另一端为开口端，底板还设置有呈圆柱形结构的第二中空侧板和第三中空侧板，第二中空侧板位于第一中空侧板和第三中空侧板之间，第一中空侧板、第二中空侧板、第三中空侧板将底板分隔为从圆心向外缘分布的第一区域、第二区域以及第三区域，底板在第一区域设置有第一通孔、在第二区域设置有第二通孔、在第三区域设置有第三通孔；内圈，内圈包括圆盘状的第一板片、连接在第一板片的第一圆柱形件，柱形件从第一板片延伸，第一圆柱形件与第一板片同轴且在圆心处设置有连通的第一贯穿孔，内圈能够以可移除且第一圆柱形件与第二中空侧板配合的方式扣合在底座内，且第一板片的外缘与第一中空侧板内壁之间形成间隙；盘盖，盘盖具有第二板片、穿设在第二板片的第二圆柱形件，第二板片与第二圆柱形件同轴设置且在圆心处设置有连通的第二贯穿孔，第二圆柱形件具有分别位于第二板片两侧的第一部分和第二部分，盘盖能够以可移除且第一部分嵌入间隙的方式扣合在底座内且覆盖内圈。在其他的一个或多个示例中，胶盘采用尼龙制作而成。在其他的一个或多个示例中，第二通孔为半圆形结构。在其他的一个或多个示例中，第三通孔为半圆形结构。在其他的一个或多个示例中，第二通孔为半圆形结构由第一弧线边和第一直线边构成，第三通孔为半圆形结构且由第二弧线边和第二直线边构成；在底板的由圆心至边缘延伸的方向，第一弧线边邻近圆心，第一直线边远离圆心，第二弧线边远离圆心，第二直线边邻近圆心。在其他的一个或多个示例中，第一直线边和第二直线边分别贴靠于第二中空侧板沿厚度方向的两侧。在其他的一个或多个示例中，第二通孔和第三通孔错位布置。在其他的一个或多个示例中，第一中空侧板的厚度大于第二中空侧板的厚度，第一中空侧板的厚度还大于第三中空侧板的厚度。在其他的一个或多个示例中，第一部分的长度小于第二部分的长度。在本技术的第二方面，提供了一种匀胶机。匀胶机包括如前述的胶盘。有益效果：本技术实施例提供的胶盘经过外形改造设计，结合现有匀胶机的使用情况，改造了现有的胶盘，使更换胶盘更简化降低员工劳动强度。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施例中胶盘的底座背面的结构示意图；图2为本技术实施例中胶盘的底座正面的结构示意图；图3为本技术实施例中胶盘的底座的局部剖视的结构示意图；图4为本技术实施例中胶盘的内圈的剖视结构示意图；图5为本技术实施例中胶盘的盘盖的剖视结构示意图；图6为本技术实施例中胶盘的整体结构示意图。图标：101-底座；1011-第一通孔；1012-第二通孔；1013-第三通孔；10122-第二凹槽；10133-第三凹槽；201-第一中空侧板；202-第二中空侧板；203-第三中空侧板；301-第二区域；302-第三区域；400-内圈；401-第一板片；402-第一圆柱形件；403-间隙；404-第一贯穿孔；500-盘盖；501-第二板片；502-第二圆柱形件；503-第二贯穿孔；5021-第一部分；5022-第二部分。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。在本技术中，在不矛盾或冲突的情况下，本技术的所有实施例、实施方式以及特征可以相互组合。在本技术中，常规的设备、装置、部件等，既可以商购，也可以根据本技术公开的内容自制。在本技术中，为了突出本技术的重点，对一些常规的操作和设备、装置、部件进行的省略，或仅作简单描述。在本技术实施例中，提供一种改进型的用于在半导体生产工艺中，匀胶机(SVG匀胶机)中的胶盘，以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种胶盘，用于匀胶机，其特征在于，所述胶盘包括：底座，所述底座具有呈圆柱形结构的第一中空侧板、与所述第一中空侧板连接的底板，所述第一中空侧板的一端连接所述底板连接并被所述底板封闭、且另一端为开口端，所述底板还设置有呈圆柱形结构的第二中空侧板和第三中空侧板，所述第二中空侧板位于所述第一中空侧板和所述第三中空侧板之间，第一中空侧板、所述第二中空侧板、第三中空侧板将所述底板分隔为从圆心向外缘分布的第一区域、第二区域以及第三区域，所述底板在所述第一区域设置有第一通孔、在所述第二区域设置有第二通孔、在所述第三区域设置有第三通孔；内圈，所述内圈包括圆盘状的第一板片、连接在所述第一板片的第一圆柱形件，所述柱形件从所述第一板片延伸，所述第一圆柱形件与所述第一板片同轴且在圆心处设置有连通的第一贯穿孔，所述内圈能够以可移除且所述第一圆柱形件与所述第二中空侧板配合的方式扣合在所述底座内，且所述第一板片的外缘与所述第一中空侧板内壁之间形成间隙；盘盖，所述盘盖具有第二板片、穿设在所述第二板片的第二圆柱形件，所述第二板片与所述第二圆柱形件同轴设置且在圆心处设置有连通的第二贯穿孔，所述第二圆柱形件具有分别位于所述第二板片两侧的第一部分和第二部分，所述盘盖能够以可移除且所述第一部分嵌入所述间隙的方式扣合在所述底座内且覆盖所述内圈。...

【技术特征摘要】
1.一种胶盘，用于匀胶机，其特征在于，所述胶盘包括：底座，所述底座具有呈圆柱形结构的第一中空侧板、与所述第一中空侧板连接的底板，所述第一中空侧板的一端连接所述底板连接并被所述底板封闭、且另一端为开口端，所述底板还设置有呈圆柱形结构的第二中空侧板和第三中空侧板，所述第二中空侧板位于所述第一中空侧板和所述第三中空侧板之间，第一中空侧板、所述第二中空侧板、第三中空侧板将所述底板分隔为从圆心向外缘分布的第一区域、第二区域以及第三区域，所述底板在所述第一区域设置有第一通孔、在所述第二区域设置有第二通孔、在所述第三区域设置有第三通孔；内圈，所述内圈包括圆盘状的第一板片、连接在所述第一板片的第一圆柱形件，所述柱形件从所述第一板片延伸，所述第一圆柱形件与所述第一板片同轴且在圆心处设置有连通的第一贯穿孔，所述内圈能够以可移除且所述第一圆柱形件与所述第二中空侧板配合的方式扣合在所述底座内，且所述第一板片的外缘与所述第一中空侧板内壁之间形成间隙；盘盖，所述盘盖具有第二板片、穿设在所述第二板片的第二圆柱形件，所述第二板片与所述第二圆柱形件同轴设置且在圆心处设置有连通的第二贯穿孔，所述第二圆柱形件具有分别位于所述第二板片两侧的第一部分和第二部分，所述盘盖能够以可...

【专利技术属性】
技术研发人员：石也琛，
申请(专利权)人：吉林麦吉柯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林,22