本发明专利技术提供一种偏振膜的摄像装置、检查装置以及检查方法,所述偏振膜的摄像装置具备:光源,其向成为检查对象的偏振膜照射光;以及摄像部,其在该光源的光轴上且与所述光源相反的一侧以朝向所述偏振膜的方式配置,该偏振膜的摄像装置还具备配置在所述光源与所述偏振膜之间的圆偏振片、以及配置在所述偏振膜与所述摄像部之间的波片中的至少任一方。
【技术实现步骤摘要】
偏振膜的摄像装置、检查装置以及检查方法
本专利技术涉及一种拍摄偏振膜的偏振特性的摄像装置、具备该摄像装置的检查装置、以及使用该摄像装置的检查方法。
技术介绍
自以往以来,提供一种用于检查使偏振为特定的方向的光通过的偏振膜的检查装置。在该检查装置中组入有拍摄偏振膜的偏振特性的摄像装置。例如,专利文献1公开的检查装置(缺陷检测装置)中所组入的摄像装置具备向偏振膜照射光的光源2、在来自光源2的光的光路上以与光源2夹着偏振膜排列的方式配置并且构成为拍摄偏振膜的透过光的摄像部、能够在所述光路上的偏振膜与摄像部之间变更配置的偏振滤波片和相位差滤波片。根据所述摄像装置,根据要检查的偏振膜来改变偏振滤波片、相位差滤波片的配置,由此能够构建适于偏振膜的摄像的摄像环境。专利文献1:日本特开2007-212442号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而,有时通过偏振膜中的产生了缺陷的区域的光的偏振特性相对于通过了偏振膜中的缺陷周围的区域(即没有缺陷的区域)的光的偏振特性只产生些微的差异。因此,在所述摄像装置中,偏振膜的缺陷难以映现在图像中,有时导致缺陷的漏检测。因此,本专利技术鉴于该实际情况,其课题在于提供一种能够得到增强了偏振膜的缺陷的图像的摄像装置、具备该摄像装置的检查装置、以及使用该摄像装置的检查方法。用于解决问题的方案本专利技术的偏振膜的摄像装置具备:光源,其用于朝向成为检查对象的偏振膜照射光;以及摄像部,其在该光源的光轴上且在相对于所述偏振膜与所述光源相反的一侧以朝向所述偏振膜的方式配置,该偏振膜的摄像装置还具备配置在所述光源与所述偏振膜之间的圆偏振片、以及配置在所述偏振膜与所述摄像部之间的波片中的至少任一方。在本专利技术的摄像装置中,也可以是,所述波片构成为使入射光的相位偏移四分之一波长。在本专利技术的摄像装置中,也可以是,所述偏振膜以相对于所述光轴倾斜的状态配置。在本专利技术的摄像装置中,也可以是,所述光源的光的波长为400nm~500nm、或700nm~1000nm。本专利技术的偏振膜的检查装置具备:上述任一摄像装置;以及缺陷检测部,其检测映现在由该摄像装置拍摄到的偏振膜的图像中的该偏振膜的缺陷。本专利技术的偏振膜的检查方法利用上述任一摄像装置拍摄偏振膜,并且检测映现在由该摄像装置拍摄到的图像中的该偏振膜的缺陷。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式所涉及的偏振膜的摄像装置的框图。图2是该实施方式所涉及的偏振膜的摄像装置的解析部的框图。图3是本专利技术的其它实施方式所涉及的偏振膜的摄像装置的框图。图4是由该实施方式所涉及的偏振膜的摄像装置拍摄到的图像的图像图。图5是本专利技术的另一实施方式所涉及的偏振膜的摄像装置的框图。图6是由该实施方式所涉及的偏振膜的摄像装置拍摄到的图像的图像图。图7是本专利技术的另一实施方式所涉及的偏振膜的摄像装置的框图。附图标记说明1:摄像装置;2:光源;3:摄像部;4:圆偏振片;5:波片;6:解析部;7:显示部;8:偏振片;9:缺陷检测部;60:提取单元;61:处理单元;62:输出单元;F:偏振膜(检查用膜)。具体实施方式以下参照附图来说明本专利技术的一个实施方式所涉及的偏振膜的摄像装置(以下称作摄像装置)。本实施方式所涉及的摄像装置如图1所示具备:光源2,其用于朝向成为检查对象的偏振膜F照射光;摄像部3,其在该光源2的光轴上且在相对于所述偏振膜与所述光源2相反的一侧以朝向所述偏振膜F的方式配置;圆偏振片4,其配置在光源2与偏振膜F之间;波片5,其配置在偏振膜F与摄像部3之间;解析部6,其解析由摄像部3拍摄到的图像的信息;以及显示部7,其用于显示该解析部6的解析结果。光源2构成为产生短波长的光。根据偏振膜F的种类设定光源2的波长。例如,在检查对象物为偏振膜F的情况下,优选光源2的波长被设定为400nm~500nm。另外,在检查对象物为在偏振膜F的表面实施了防眩处理的偏振膜的情况(即为带防眩功能的偏振膜F的情况)下,优选光源2的波长被设定为700nm~1000nm。摄像部3构成为获取拍摄到的被摄体(成为检查对象的偏振膜F)的偏振信息(具体地说为规定的方位角的偏振光的信息)。本实施方式所涉及的摄像部3由偏光摄像机构成。另外,摄像部3构成为获取0°、45°、90°、135°的方位角的偏振光的信息作为偏振信息。圆偏振片4构成为从光源2的光提取圆偏振光。此外,由圆偏振片4提取的圆偏振光可以是右旋圆偏振光,也可以是左旋圆偏振光。因此,圆偏振光的光照射到作为检查对象物的偏振膜F。另外,圆偏振片4以与光源2的光轴相交的方式配置。圆偏振片4的各片面扩展的方向与光源2的光轴延伸的方向(以下称作光轴方向)彼此正交。设为检查对象物的偏振膜F可以只由偏振片构成,也可以为粘贴偏振片和相位差片而成的复合膜。另外,作为检查对象物的偏振膜F也可以为在表面实施了防反射处理、防眩处理后的偏振膜。此外,在本实施方式中,将粘帖偏振片和相位差片而成的复合膜设为检查对象物。另外,该复合膜的相位差片朝向摄像部3侧配置。并且,该复合膜的偏振片朝向光源2侧配置。此外,偏振片、相位差片可以为具有定形性的平板状,也可以为能够变形的膜状。在本实施方式中,设为将作为检查对象的偏振膜F称作检查用膜F来进行以下的说明。检查用膜F以与光源2的光轴相交的方式配置,各面以相对于光轴倾斜的状态与该光轴交叉。此外,本实施方式所涉及的检查用膜F以相对于光轴方向和铅垂方向的各个方向倾斜的方式配置。另外,优选检查用膜F相对于铅垂方向的倾斜角度设定为0°~60°之间,更优选为45°。另外,本实施方式所涉及的检查用膜F以上端部比下端部靠近光源2的方式倾斜。波片5构成为使入射光(通过检查用膜F的光)的相位偏移。本实施方式所涉及的波片5构成为使入射光的相位偏移四分之一波长。另外,向波片5入射的入射光为圆偏振光,但通过波片5后的射出光成为线性偏振光。因此,在摄像装置1中,利用摄像部3来拍摄通过波片5后得到的线性偏振光。像这样,光源2的光以适于摄像的状态照射到摄像部3。像这样,从光源2出来并且通过圆偏振片4、检查用膜F、波片5而到达摄像部3的光中包括由于圆二色性和双折射性引起的光强度变化。当更具体地进行说明时,在将圆偏振片4的斯托克斯参数设为Sc、将检查用膜F的穆勒矩阵设为Mf、将波片5的穆勒矩阵设为Mw的情况下,通过下述的式(1)求出表示到达摄像部3的光的偏振状态的斯托克斯参数S。S=Mw×Mf×Sc…(式1)另外,在本实施方式中,圆偏振片4的斯托克斯参数Sc、检查用膜F的穆勒矩阵Mf、波片5的穆勒矩阵Mw分别为因此,到达摄像部3的光的斯托克斯参数S成为如下述的式(2)。因而,在到达摄像部3的光中,在斯托克斯参数S的S0分量中增强圆二色性,在S1分量中增强双折射。解析部6如图2所示具备:提取单元60,其从摄像部3获取到的偏振信息中提取表示偏振特性的特性信息;处理单元61,其对由该提取单元60提取出的特性信息进行处理;以及输出单元62,其用于向显示部7输出该处理单元61对特性信息进行处理的处理结果。此外,解析部6例如能够构成为具备进行信息的处理的处理装置(CPU)、存储信息的存储装置的设备(例如个人计算机),相对于摄像部3有线或者无线地连接即可。提取单元60构成为提取摄像部3拍摄到的图像的光强度、水平线性偏振光本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种偏振膜的摄像装置,具备:光源,其用于朝向成为检查对象的偏振膜照射光;以及摄像部,其在该光源的光轴上且在相对于所述偏振膜与所述光源相反的一侧以朝向所述偏振膜的方式配置,该偏振膜的摄像装置还具备配置在所述光源与所述偏振膜之间的圆偏振片、以及配置在所述偏振膜与所述摄像部之间的波片中的至少任一方。
【技术特征摘要】
2017.07.31 JP 2017-1481741.一种偏振膜的摄像装置,具备:光源,其用于朝向成为检查对象的偏振膜照射光;以及摄像部,其在该光源的光轴上且在相对于所述偏振膜与所述光源相反的一侧以朝向所述偏振膜的方式配置,该偏振膜的摄像装置还具备配置在所述光源与所述偏振膜之间的圆偏振片、以及配置在所述偏振膜与所述摄像部之间的波片中的至少任一方。2.根据权利要求1所述的偏振膜的摄像装置,其特征在于,所述波片构成为使入射光的相位偏移四分之一波长。3.根据权利要求1或2所述的偏振膜的摄像装置,其特征在于,所述偏振膜以相对于...
【专利技术属性】
技术研发人员:佐佐木俊介,末广一郎,柴田秀平,大卫·伊格·塞拉诺·加西亚,大谷幸利,
申请(专利权)人:日东电工株式会社,国立大学法人宇都宫大学,
类型:发明
国别省市:日本,JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。