电子部件输送装置及检查装置、定位装置及方法、部件输送装置制造方法及图纸

提供电子部件输送装置及检查装置、定位装置及方法、部件输送装置，能准确进行成为对象的两个部件，例如电子部件和电子部件载置部或第一部件和第二部件的定位。具备：配置电子部件载置部的区域；器件输送头，在区域内将电子部件输送到电子部件载置部；第一/二校正用构件，在进行电子部件相对于电子部件载置部的定位时使用，分别具有成为定位的基准的第一/二基准点；第一/二摄像部，拍摄包括第一/二基准点和电子部件载置部的图像；第三摄像部，设置于器件输送头，拍摄第一校正用构件的包括第一基准点的图像，并拍摄第二校正用构件的包括第二基准点的图像；以及控制部，基于包括第一/二基准点的图像计算对第一/二基准点的第三摄像部的位置。

【技术实现步骤摘要】
电子部件输送装置及检查装置、定位装置及方法、部件输送装置
本专利技术涉及电子部件输送装置、电子部件检查装置、定位装置、部件输送装置以及定位方法。
技术介绍
一般地，在半导体芯片等电子部件的测试装置(IC处理器)中具备用于输送电子部件的多个输送用机器人。并且，检查前的电子部件由输送用机器人向进行测定的检查用插口输送，在检查结束后，从检查用插口被回收。具体地，例如，检查前的电子部件由供给机器人吸附把持，被分离并配置于穿梭件的供给容器后，通过穿梭件移动到被测定机器人吸附并把持的位置。由测定机器人将检查前的电子部件从穿梭件分离并配置于检查用插口，检查结束后，再次由测定机器人吸附并把持上述电子部件，将其从检查用插口分离并配置于穿梭件的回收容器。并且，检查后的电子部件通过穿梭件移动到回收机器人的位置，被回收机器人分离并配置于与测试结果对应的回收托盘。在通过这些供给机器人、测定机器人以及回收机器人将检查用插口或各容器依次输送时，电子部件需要配置于该检查用插口或该各容器的预定位置。特别是，在电子部件配置于检查用插口时，需要使检查用插口的测定端子与电子部件的端子良好地接触，因此希望电子部件与检查用插口的相对偏差很微小。另外，当配置于除此以外的各容器时，也希望各容器与电子部件的相对偏差较少。作为减少电子部件与检查用插口等的相对偏差的方法，有对用照相机拍摄到的电子部件或检查用插口等的图像数据进行图像处理而运算相对偏差的量，基于该运算结果按相对偏差的量进行位置校正的方法。因此，提出了直接拍摄电子部件和测试装置的方法(例如参照专利文献1)。专利文献1中记载的IC处理器在由输送装置把持的检查前的电子部件被配置成在测试装置的上方相对时，用与镜子装配于同一支承构件的照相机同时拍摄镜子的镜像，上述镜子构成为配设在电子部件和测试装置之间来映照电子部件和测试装置双方。但是，专利文献1中记载的IC处理器为了在镜子中映照电子部件和测试装置双方而进行的镜子的配置和调整是复杂的，精度有限。另外，用于拍摄该镜像的照相机的配置和调整也不简单，因此精度有限。另外，还认为镜子或照相机的位置也会随着时间的推移而偏移。而且，在拍摄电子部件和测试装置时，由于在电子部件和测试装置之间配置镜子，因此镜子的配置和撤销需要时间。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3063899号公报。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题的至少一部分而完成的，能作为以下内容而实现。本专利技术的电子部件输送装置的特征在于，具备：区域，能够在上述区域配置电子部件载置部，上述电子部件载置部载置电子部件；器件输送头，能够在上述区域内将上述电子部件输送到上述电子部件载置部；第一校正用构件，在进行上述电子部件相对于上述电子部件载置部的定位时使用；第二校正用构件，与上述第一校正用构件一起在进行上述定位时使用；第一摄像部，能够拍摄包括上述第一校正用构件和上述电子部件载置部的图像；第二摄像部，能够拍摄包括上述第二校正用构件和上述电子部件的图像；以及第三摄像部，设置于上述器件输送头，能够拍摄上述第一校正用构件的图像，并且能够拍摄上述第二校正用构件的图像。由此，在将电子部件载置于电子部件载置部时，器件输送头能够在该载置之前基于各图像来校正电子部件相对于电子部件载置部的位置和姿态中的至少1个。通过该校正，能够得到电子部件的载置于电子部件载置部的合适的位置或姿态，因而，电子部件能够准确地载置于电子部件载置部。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，上述第三摄像部分别在不同的位置拍摄上述第一校正用构件和上述第二校正用构件。由此，例如能够防止在第一校正用构件的图像中映入第二校正用构件、或者在第二校正用构件的图像中映入第一校正用构件，因而，能够迅速地进行图像处理。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，上述第一校正用构件呈板状，具有在一个面中标注的第一标记，上述第二校正用构件呈板状，具有在一个面中标注的第二标记和在另一个面中标注的第三标记。由此，能够检测各标记和对象物(例如电子部件等)之间的距离。并且，检测出的各距离分别用于电子部件相对于电子部件载置部的定位。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，上述第一标记、上述第二标记以及上述第三标记分别具有成为进行上述定位时的基准的基准点。由此，能够准确地检测各标记和对象物(例如电子部件等)之间的距离。并且，检测出的各距离分别用于电子部件相对于电子部件载置部的定位。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，上述第一标记、上述第二标记以及上述第三标记分别具有坐标轴。由此，能够准确地检测各标记和对象物(例如电子部件等)之间的距离。并且，检测出的各距离分别用于电子部件相对于电子部件载置部的定位。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，上述第一标记、上述第二标记以及上述第三标记分别具有刻度。由此，能够准确地检测各标记和对象物(例如电子部件等)之间的距离。并且，检测出的各距离分别用于电子部件相对于电子部件载置部的定位。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，上述第二摄像部的拍摄方向和上述第三摄像部的拍摄方向是相互相反的方向。由此，能够从相互相反的双方拍摄1个第二校正用构件。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，基于上述第一摄像部的拍摄结果来检测上述电子部件载置部相对于上述第一标记的位置。由此，能够运算从第一标记到电子部件载置部的距离。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，基于上述第二摄像部的拍摄结果来检测上述器件输送头的上述电子部件相对于上述第三标记的位置和/或距离。由此，能够运算从第三标记到器件输送头的电子部件的距离。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，基于上述第二摄像部的拍摄结果和上述第三摄像部的拍摄结果来检测上述器件输送头的上述电子部件相对于上述第二标记的位置和/或距离。由此，能够运算(算出)从第二标记到器件输送头的电子器件的位置和/或距离。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，上述第二校正用构件具有透明性。由此，例如第二标记能够兼作第三标记，或者与此相反地，第三标记能够兼作第二标记。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，按顺序进行如下拍摄，即：上述第一摄像部的拍摄，接着同时进行上述第二摄像部的拍摄和上述第三摄像部对上述第二校正用构件的拍摄，接着进行上述第三摄像部对上述第一校正用构件的拍摄。由此，能够比较简单地编写控制程序。另外，在重新编写控制程序的情况下，能够比较容易地进行重新编写作业。优选在本专利技术的电子部件输送装置中，上述器件输送头具有：基部；把持部，把持上述电子部件；以及调整部，能够调整由上述把持部把持的上述电子部件相对于上述基部的位置和姿态中的至少一方。由此，能够在将由器件输送头把持的电子部件载置于电子部件载置部时进行电子部件的微调整。由此，例如在电子部件载置部是进行电子部件的电气检查的检查部的情况下，能够使电子部件与检查部以能够导电的方式接触，因而，能够准确地进行电子部件的检查。本专利技术的电子部件检查装置具备：电子部件载置部，载置上述电子部件；区域，能够在其中配置上述电子部件载置部；器件输送头，能够在上述区域内将上述电子部件输送到上述电子部件载置部；第一校正用构件，在进行上述电子部件相对于上述电子部件载置部的定位时使用；第二校正用构件，与上述第一校正用构件一起在进行上述定位时使用；第一摄像部，能够拍摄包括上述第一校本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：区域，在所述区域配置电子部件载置部，所述电子部件载置部载置电子部件；器件输送头，在所述区域内将所述电子部件输送到所述电子部件载置部；第一校正用构件，在进行所述电子部件相对于所述电子部件载置部的定位时使用，所述第一校正用构件具有成为所述定位的基准的第一基准点；第二校正用构件，与所述第一校正用构件一起在进行所述定位时使用，所述第二校正用构件具有成为所述定位的基准的第二基准点；第一摄像部，拍摄包括所述第一校正用构件的所述第一基准点和所述电子部件载置部的图像；第二摄像部，拍摄包括所述第二校正用构件的所述第二基准点和所述电子部件的图像；第三摄像部，设置于所述器件输送头，拍摄所述第一校正用构件的包括所述第一基准点的图像，并且拍摄所述第二校正用构件的包括所述第二基准点的图像；以及控制部，基于包括所述第一基准点的所述图像计算对所述第一基准点的所述第三摄像部的位置，并且，基于包括所述第二基准点的所述图像计算对所述第二基准点的所述第三摄像部的位置。

【技术特征摘要】
2017.07.31 JP 2017-1475931.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：区域，在所述区域配置电子部件载置部，所述电子部件载置部载置电子部件；器件输送头，在所述区域内将所述电子部件输送到所述电子部件载置部；第一校正用构件，在进行所述电子部件相对于所述电子部件载置部的定位时使用，所述第一校正用构件具有成为所述定位的基准的第一基准点；第二校正用构件，与所述第一校正用构件一起在进行所述定位时使用，所述第二校正用构件具有成为所述定位的基准的第二基准点；第一摄像部，拍摄包括所述第一校正用构件的所述第一基准点和所述电子部件载置部的图像；第二摄像部，拍摄包括所述第二校正用构件的所述第二基准点和所述电子部件的图像；第三摄像部，设置于所述器件输送头，拍摄所述第一校正用构件的包括所述第一基准点的图像，并且拍摄所述第二校正用构件的包括所述第二基准点的图像；以及控制部，基于包括所述第一基准点的所述图像计算对所述第一基准点的所述第三摄像部的位置，并且，基于包括所述第二基准点的所述图像计算对所述第二基准点的所述第三摄像部的位置。2.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第三摄像部拍摄所述第一校正用构件的位置和拍摄所述第二校正用构件的位置不同。3.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第一校正用构件为板状，具有在一个面中标注的第一标记，所述第二校正用构件为板状，具有在一个面中标注的第二标记和在另一个面中标注的第三标记，所述第一标记包括所述第一基准点，所述第二标记以及所述第三标记包括所述第二基准点。4.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第三标记包括在俯视观察时与所述第二基准点重合的第三基准点。5.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第一标记、所述第二标记以及所述第三标记具有坐标轴。6.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第一标记、所述第二标记以及所述第三标记具有刻度。7.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第二摄像部的拍摄方向和所述第三摄像部的拍摄方向是相互相反的方向。8.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，基于所述第一摄像部的拍摄结果来检测所述电子部件载置部相对于所述第一标记的位置。9.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，基于所述第二摄像部的拍摄结果来检测所述器件输送头的所述电子部件相对于所述第三标记的位置和距离中的至少一方。10.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，基于所述第二摄像部的拍摄结果和所述第三摄像部的拍摄结果来检测所述器件输送头的所述电子部件相对于所述第二标记的位置和距离中的至少一方。11.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第二校正用构件具有透明性。12.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，按如下顺序进行拍摄：所述第一摄像部的拍摄，接着同时进行所述第二摄像部的拍摄和所述第三摄像部对所述第二校正用构件的拍摄，接着进行所述第三摄像部对所述第一校正用构件的拍摄。13.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述器件输送头具有：基部；把持部，把持所述电子部件；以及调整部，能够调整由所述把持部把持的所述电子部件相对于所述基部的位置和姿态中的至少一方。14.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：电子部件载置部，载置电子部件；器件输送头，将所述电子部件输送到所述电子部件载置部；第一校正用构件，在进行所述电子部件相对于所述电子部件载置部的定位时使用，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：下岛聪兴，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP