The present application discloses a heat transfer roller, including a cylindrical outer layer with an inner layer and a solid heat conduction layer between the outer layer and the inner layer. The solid heat conduction layer is attached to the inner wall of the outer layer and provided with the technical scheme according to the embodiment of the application. By adding a graphite layer between the inner layer and the outer layer of the heat transfer roller, the heat transfer effect through the graphite layer is improved. OK, and the heat is evenly diffused, which can make the surface temperature of the heat transfer roll uniform.
【技术实现步骤摘要】
传热辊
本公开一般涉及真空装备领域,尤其涉及传热辊。
技术介绍
磁控溅射镀膜时基材所需的温度必须由传热辊提供。现有技术传热辊内部夹层中通入热媒,由隔挡物进行导流,由于隔挡物的存在及流动过程中热量损失导致传热辊表面温度不均匀,进而导致基材温度不均匀,最终使成膜后膜层各区域质量存在差异。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种传热辊。一方面,提供一种传热辊,包括圆柱形的外层,所述外层内套设有内层,其特征在于,所述外层和内层之间设有固体导热层,所述固体导热层贴住所述外层内壁设置。优选的,所述固体导热层为石墨层。优选的,所述石墨层包括多块相互拼接的石墨板。优选的,所述石墨层的拼接方式为卡接或者螺栓连接或者键连接。优选的,所述石墨层为一体成型的圆管状结构。优选的,所述外层一端设有热媒入口,另一端设有热媒出口,所述热媒入口与所述热媒出口设置在所述传热辊轴线上;所述内层为圆柱形,且两端封闭设置。优选的,所述固体导热层与所述内层之间设有第一导流道,所述第一导流道为螺旋状,且环绕所述内层设置。优选的,所述固体导热层与所述内层之间均匀设有螺旋状排列的第一隔档板,所述第一隔档板一端与所述固体导热层接触,所述第一隔档板另一端与所述内层接触,螺旋状排列的所述第一隔档板之间形成第一流道。优选的,所述第一隔档板宽度为0.5cm。优选的,所述外层端部与所述内层端部之间设有螺旋状的第二导流道,所述第二导流道一端与所述热媒入口连通,另一端与所述第一导流道连通。优选的,所述外层外表面抛光粗糙度<0.8μm。根据本申请实施例提供的技术方案,通过在传热辊的内层和外层之间增 ...
【技术保护点】
1.一种传热辊,包括圆柱形的外层,所述外层内套设有内层,其特征在于,所述外层和内层之间设有固体导热层,所述固体导热层贴住所述外层内壁设置。
【技术特征摘要】
1.一种传热辊,包括圆柱形的外层,所述外层内套设有内层,其特征在于,所述外层和内层之间设有固体导热层,所述固体导热层贴住所述外层内壁设置。2.根据权利要求1所述的传热辊,其特征在于,所述固体导热层为石墨层。3.根据权利要求2所述的传热辊,其特征在于,所述石墨层包括多块相互拼接的石墨板。4.根据权利要求3所述的传热辊,其特征在于,所述石墨层的拼接方式为卡接或者螺栓连接或者键连接。5.根据权利要求2所述的传热辊,其特征在于,所述石墨层为一体成型的圆管状结构。6.根据权利要求1-5任一所述的传热辊,其特征在于,所述外层一端设有热媒入口,另一端设有热媒出口,所述热媒入口与所述热媒出口设置在所述传热辊轴线上;所述内层为圆柱形,且两端封闭设置。7.根据权利要求6所述的传热辊,...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘鹏,
申请(专利权)人:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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