蒸镀掩模和蒸镀掩模装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及蒸镀掩模和蒸镀掩模装置。蒸镀掩模(20)具备：第一掩模(30)，其形成有开口部(35)；和第二掩模(40)，其与第一掩模(30)重叠，形成有复数个具有比开口部(35)的面方向尺寸小的面方向尺寸的贯通孔(45)，该蒸镀掩模(20)具有使第二掩模(40)和第一掩模(30)相互接合的复数个接合部(16)，复数个接合部(16)沿着第二掩模(40)的外缘(43)排列，在第二掩模(40)的外缘(43)的与相邻的两个接合部(16)之间对应的位置，形成有切口(46)。

Steaming mask and steaming mask device

The utility model relates to an evaporation mask and an evaporation mask device. The evaporation mask (20) has: a first mask (30), which forms an opening (35); and a second mask (40), which overlaps with the first mask (30), forming a plurality of through holes (45) with a face direction dimension smaller than the opening (35). The evaporation mask (20) has plural joints (16) and plural joints (16) that make the second mask (40) and the first mask (30) join each other. An incision (46) is formed along the outer edge (43) of the second mask (40) at the corresponding position between the outer edge (43) of the second mask (40) and the adjacent two joints (16).

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模和蒸镀掩模装置
本技术涉及在蒸镀材料向被蒸镀基板的蒸镀中所使用的蒸镀掩模和蒸镀掩模装置。
技术介绍
近年来，对于在智能手机、平板电脑等可携带的设备中使用的显示装置，要求高精细，例如要求像素密度为400ppi以上。另外，对于可携带的设备而言，对应对超全高清的需要也在不断高涨，这种情况下，要求显示装置的像素密度为例如800ppi以上。在显示装置中，有机EL显示装置由于响应性良好、耗电低、对比度高而备受关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知有使用包含以所期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模以所期望的图案形成像素的方法。具体而言，首先将有机EL显示装置用的基板(有机EL基板)投入蒸镀装置中，接着在蒸镀装置内使蒸镀掩模相对于有机EL基板密合，进行使有机材料蒸镀至有机EL基板的蒸镀工序。作为这样的蒸镀掩模的一例，可以举出JP2016-148112A所公开的蒸镀掩模。JP2016-148112A所公开的蒸镀掩模是利用镀覆处理而制造的。首先，在绝缘性的基材上形成导电性图案，然后使用电镀法在导电性图案上形成金属层。然后，将基材和导电性图案去除，由此得到具有金属层的蒸镀掩模。在该技术中，利用镀覆处理来制造蒸镀掩模，因此具有能够得到厚度变薄的蒸镀掩模的优点。利用厚度变薄的蒸镀掩模，能够使从相对于蒸镀掩模的板面的法线方向大幅地倾斜的方向朝向有机EL基板等被蒸镀基板的蒸镀材料适当地附着于在蒸镀掩模的贯通孔内露出的被蒸镀基板上。在JP2016-148112A所公开的技术中，利用镀覆处理制造出蒸镀掩模之后，将该蒸镀掩模安装于框架而制造出蒸镀掩模装置。此时，蒸镀掩模装置的框架将蒸镀掩模保持为张紧的状态。即，在固定于框架的状态下，对蒸镀掩模赋予张力。由此，抑制了蒸镀掩模产生挠曲。但是，根据本申请设计人的研究，发现了下述问题：由于对厚度变薄的蒸镀掩模赋予张力，导致在该蒸镀掩模产生褶皱、变形。为了解决该问题，本申请设计人对于利用如下所述的方法制造蒸镀掩模和蒸镀掩模装置进行了研究。首先，例如在基材上设置由铜等导电性材料构成的导电性图案，在该导电性图案上设置形成蒸镀掩模的金属层，制作出具有基材、导电性图案和金属层的层积体。接着，利用焊接等将层积体的金属层接合于框架。然后，将导电性图案蚀刻去除而将基材与金属层分离。由此，制造出由金属层形成的蒸镀掩模以及具有蒸镀掩模和框架的蒸镀掩模装置。根据这样的方法，将形成蒸镀掩模的层积体的金属层在保持在基材上的状态下接合于框架，因此能够良好地确保蒸镀掩模的平坦性。认为由此能够抑制在蒸镀掩模中产生褶皱、变形。本申请设计人对于这样的方法进行了进一步研究，结果发现了如下所述的课题。蒸镀掩模为使用镀覆法而析出的金属层的情况下，在该金属层内产生残留应力(内部应力)，由此会在金属层的面内产生拉伸力。该拉伸力的大小根据金属层的厚度、组成等而变化。在由镀覆层构成的蒸镀掩模的面内产生厚度、组成的不可避免的偏差，这种情况下，蒸镀掩模内的拉伸力也会产生面内的偏差。因此，去除基材后的蒸镀掩模由于该拉伸力的面内偏差，有时各贯通孔的位置偏离规定的位置。
技术实现思路
本技术是考虑了这样的问题而完成的，其目的在于提供能够抑制贯通孔的位置偏移的蒸镀掩模和蒸镀掩模装置。本技术的蒸镀掩模具备：第一掩模，其至少形成有沿着第一方向排列的复数个开口部；和第二掩模，其与上述第一掩模重叠，形成有复数个具有比上述开口部的面方向尺寸小的面方向尺寸的贯通孔，该蒸镀掩模具有使上述第二掩模与上述第一掩模相互接合的复数个接合部，上述复数个接合部沿着上述第二掩模的外缘排列，在上述第二掩模的上述外缘处，在与相邻的两个上述接合部之间对应的位置，形成有切口。本技术的蒸镀掩模装置具备上述蒸镀掩模和安装于上述蒸镀掩模的框架。设计效果根据本技术，能够提供可抑制贯通孔的位置偏移的蒸镀掩模和蒸镀掩模装置。附图说明图1是用于说明本技术的一个实施方式的图，是用于说明具有蒸镀掩模装置的蒸镀装置和使用该蒸镀装置的蒸镀方法的图。图2是示出利用图1所示的蒸镀装置制造出的有机EL显示装置的一例的截面图。图3是示意性示出具有蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例的俯视图。图4是在与图3的IV-IV线对应的截面中示出蒸镀掩模装置的图。图5是示出蒸镀掩模的第一掩模的一例的俯视图。图6是示出蒸镀掩模的第二掩模的一例的俯视图。图7是蒸镀掩模装置的局部俯视图，是从蒸镀掩模的第二面侧观察图3的带有VII的部分而示出的图。图8是示出蒸镀掩模的制造方法的一例的一个工序的图。图9是示出蒸镀掩模的制造方法的一例的一个工序的图。图10是示出蒸镀掩模的制造方法的一例的一个工序的图。图11是示出蒸镀掩模的制造方法的一例的一个工序的图。图12是示出蒸镀掩模的制造方法的一例的一个工序的图。图13是示出蒸镀掩模装置的制造方法的一例的一个工序的图。图14是示出蒸镀掩模装置的制造方法的一例的一个工序的图。图15是示出蒸镀掩模装置的制造方法的一个变形例的一个工序的图。图16是示出蒸镀掩模装置的制造方法的一个变形例的一个工序的图。图17是示出蒸镀掩模装置的制造方法的一个变形例的一个工序的图。图18是示出蒸镀掩模装置的制造方法的另一个变形例的一个工序的图。图19是示出蒸镀掩模装置的制造方法的另一个变形例的一个工序的图。图20是示出蒸镀掩模装置的制造方法的又一个变形例的一个工序的图。图21是示出蒸镀掩模装置的制造方法的又一个变形例的一个工序的图。图22是示出蒸镀掩模装置的制造方法的又一个变形例的一个工序的图。图23是示出蒸镀掩模装置的制造方法的又一个变形例的一个工序的图。图24是示出蒸镀掩模装置的制造方法的又一个变形例的一个工序的图。图25是示出第二掩模的一个变形例的局部俯视图。图26是示出第二掩模的另一个变形例的局部俯视图。图27是示出第二掩模的又一个变形例的局部俯视图。图28是示出第二掩模的又一个变形例的局部俯视图。图29是示出第二掩模的又一个变形例的局部俯视图。图30是示出第二掩模的又一个变形例的局部俯视图。图31是示出第二掩模的又一个变形例的俯视图。具体实施方式以下所示的实施方式为本技术的实施方式的一例，本技术的解释并不限于这些实施方式。以下，参照附图对本技术的一个实施方式进行说明。需要说明的是，在本申请说明书所附的附图中，为了便于图示和容易理解，根据实物适当地变更比例和纵横的尺寸比等而夸张地示出。图1～图31是用于说明本技术的一个实施方式的图。在以下的实施方式中，列举如下的蒸镀掩模装置和蒸镀掩模装置的制造方法为例进行说明：该蒸镀掩模装置用于在制造有机EL显示装置时使有机材料以所期望的图案在基板上图案化。但是，并不限于这样的应用，对于在各种用途中使用的蒸镀掩模装置和蒸镀掩模装置的制造方法，均可以应用本技术。需要说明的是，在本说明书中，“板”、“片”、“膜”的术语并不是仅基于称呼上的不同而被相互区分开的。例如，“板”是也包含可称为片或膜这样的部件在内的概念。另外，“板面(片面、膜面)”是指在整体或大体观察作为对象的板状(片状、膜状)的部件的情况下，作为对象的板状部件(片状部件、膜状部件)的与平面方向相一致的面。针对板状(片状、膜状)的部件使用的面方向是指与该部件的板面(片面、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模，其具备：第一掩模，其形成有开口部；和第二掩模，其与所述第一掩模重叠，形成有复数个具有比所述开口部的面方向尺寸小的面方向尺寸的贯通孔，该蒸镀掩模具有使所述第二掩模和所述第一掩模相互接合的复数个接合部，所述复数个接合部沿着所述第二掩模的外缘排列，在所述第二掩模的所述外缘处，在与相邻的两个所述接合部之间对应的位置，形成有切口。

【技术特征摘要】
2017.07.05 JP 2017-1321621.一种蒸镀掩模，其具备：第一掩模，其形成有开口部；和第二掩模，其与所述第一掩模重叠，形成有复数个具有比所述开口部的面方向尺寸小的面方向尺寸的贯通孔，该蒸镀掩模...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛草昌人，中村友祐，冈本英介，村田佳则，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP