显示装置制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不进行有机树脂膜与玻璃基板的剥离而用简单的方法可进行弯曲的显示装置，显示装置制造方法包括：在支承玻璃(20)的第一主面上形成聚酰亚胺膜(12)的步骤；在聚酰亚胺膜(12)上形成包括透明电极层(14)和发光层(16)的显示元件的步骤；以及通过由保护膜(22)覆盖包括聚酰亚胺膜(12)的支承玻璃(20)的第一主面侧，并且对第二主面侧进行蚀刻，从而去除支承玻璃(20)的步骤。

Manufacturing Method of Display Device

The invention provides a display device which can bend without peeling the organic resin film from the glass substrate by a simple method. The manufacturing method of the display device includes the steps of forming a polyimide film (12) on the first main surface of the supporting glass (20); forming a display element comprising a transparent electrode layer (14) and a light emitting layer (16) on the polyimide film (12); and ensuring the performance of the display device by a bonding agent. The protective film (22) covers the first main side of the supporting glass (20) including the polyimide film (12) and etches the second main side to remove the steps of the supporting glass (20).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示装置制造方法
本专利技术涉及一种有机EL显示器等显示装置的制造方法，尤其是涉及一种薄型化至能弯曲的显示装置的制造方法。
技术介绍
以往，使用液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器的显示装置用于各种用途。特别地，近年来从设计性的观点来看，柔性显示器备受关注。当制造柔性显示器时多采用易对应于弯曲化的有机EL显示器。现有的有机EL显示器利用盖玻璃等玻璃基板来密封有机EL元件等显示元件。通过玻璃基板来保持有机EL元件的气密性和水密性，防止因氧、水分引起的元件的劣化。但是，由于进一步薄型化和上述那样的弯曲化的要求，近年来开发了利用树脂基板的有机EL显示器。树脂基板与玻璃基板相比挠性高，即使弯曲也不容易损坏，通过无机膜与有机膜的层叠结构来密封显示元件，能够实现与玻璃基板同等程度的阻气性。然而，形成为足够薄以致达到能够弯曲程度的树脂基板在制造工序中非常难以处理，其结果，可能成为良率恶化的原因。因此，以往，在支承玻璃上形成聚酰亚胺等有机树脂膜，以易于在制造工序中进行处理。在由支承玻璃确保基板整体的刚性的状态下在有机树脂膜上形成功能膜等显示元件，并且在进行密封处理之后从支承玻璃剥离有机树脂膜(例如，参照专利文献1)。从支承玻璃剥离有机树脂膜的操作是通过由激光装置去除预先在支承玻璃和有机树脂膜之间形成的剥离层来进行的。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-004112
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，在上述方法中存在因在剥离支承玻璃时的激光照射而对显示元件产生不利影响的可能。另外，需要导入受激准分子激光器等昂贵的制造装置，并且生产成本也很高。特别地，近年来在大型基板对多个显示装置进行倒角的状态下生产多个显示装置，但随着基板变大，激光的照射面积增大，因此生产效率降低，发生剥离不良的情况变得较多。本专利技术的目的在于，提供一种无需进行有机树脂膜与玻璃基板的剥离，而以简易的方法可弯曲的显示装置。用于解决课题的技术方案本专利技术的显示装置制造方法包括：在玻璃基板的第一主面上形成有机树脂膜的步骤；在有机树脂薄膜上形成包括显示元件的层的步骤；以及通过由耐蚀刻性部件覆盖包括有机树脂膜的玻璃基板的第一主面侧，并且对第二主面侧进行蚀刻，从而去除玻璃基板的步骤。在玻璃基板上形成有机树脂膜的工序中，例如，在现有所使用的支承玻璃上使用狭缝式涂布机等涂布装置，来涂布有机树脂膜。作为有机树脂膜，优选使用聚酰亚胺。在形成显示元件的工序中，在有机树脂膜上形成包括薄膜晶体管或有机EL的发光层等的功能层。在形成这样的显示元件之后，密封显示元件以使其不暴露于外部空气。在密封工序中，通过交替层叠无机膜与有机膜而成的树脂膜来进行密封处理。在密封处理之后，用具有耐蚀刻性的膜或抗蚀剂材料来覆盖树脂膜，并对玻璃基板进行蚀刻。在蚀刻处理中，通过从第2主面侧使蚀刻液与玻璃基板接触来进行薄型化处理，原则上，通过蚀刻至玻璃基板全部溶解，从而去除玻璃基板。但是，也有玻璃基板在溶解的过程中适当地剥落的情况，在这种情况下，不一定使玻璃基板全部溶解，也能够去除玻璃基板。本专利技术的特征在于，通过蚀刻处理使玻璃基板全部溶解。蚀刻处理使玻璃基板的整个面均匀地溶解，因此即便使基板尺寸大型化，生产效率也不会降低。另外，由于在适当地保护显示元件的基础上进行蚀刻处理，所以也不存在显示元件发生劣化的可能，能够制造柔性显示器。另外，在对玻璃基板进行蚀刻时，优选使用玻璃基板溶解但有机树脂膜不溶解的蚀刻液。通过该构成，即使玻璃基板全部溶解而有机树脂膜露出，有机树脂膜也不会由于蚀刻液而发生污损。作为蚀刻液，优选使用含有氢氟酸的蚀刻液。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种无需进行有机树脂膜与玻璃基板的剥离，而能以简易的方法进行弯曲的显示装置。附图说明图1是示出根据本专利技术的一个实施方式的显示装置的结构的图。图2是示出显示装置的制造工序的图。图3是示出显示装置的蚀刻处理的图。图4是示出蚀刻装置的图。图5是示出其他实施方式的蚀刻处理的图。具体实施方式在此，使用图1对根据本专利技术的一个实施方式的显示装置进行说明。图1是有机EL面板10的示意性侧视图。有机EL面板10具有聚酰亚胺膜12、透明电极层14、发光层16和密封层18。聚酰亚胺膜12为构成有机EL面板10的第一主面的基板，优选具有7～30μm的厚度。聚酰亚胺膜12相当于本专利技术技术方案中的有机树脂膜。在本实施方式中，作为有机树脂膜，使用了聚酰亚胺，但只要是能耐受成膜工艺的处理温度的树脂膜，并不特别限定。在聚酰亚胺膜12上依次层叠有透明电极层14和发光层16。作为透明电极层14，优选形成已知的低温多晶硅膜。发光层16包括空穴传输层、有机EL元件和电子传输层等功能层。透明电极层14和发光层16相当于本专利技术技术方案中的显示元件。密封层18构成为覆盖发光层16，从而防止有机EL元件等暴露于外部空气中的水分或氧而劣化。通常，密封层18通过层叠不同组成的树脂膜来形成。在本实施方式中，虽然通过五层的密封层来进行薄膜密封，但是可以适当地变更密封层18的结构。该有机EL面板10是以从配置有密封层18的一侧视觉辨认图像的方式构成的顶部发射型。在此，使用图2的(A)至图2的(C)对有机EL面板10的制造方法进行说明。首先，如图2的(A)所示，在支承玻璃20上形成聚酰亚胺膜12。支承玻璃20为具有300～700μm的厚度的玻璃基板。作为支承玻璃20，可以使用无碱玻璃或钠钙玻璃，但并不特别限定。将由二甲基乙酰胺或甲基吡咯烷酮的溶剂溶解的聚酰亚胺前体涂布在支承玻璃20上。聚酰亚胺前体能通过狭缝式涂布机或辊涂机等涂布装置进行涂布。在这种情况下，优选涂布为使聚酰亚胺膜12的厚度为7～30μm。通过将聚酰亚胺前体投入到升温至预定温度的干燥炉内从而进行固化处理。另外，可以在支承玻璃20上涂布聚酰亚胺膜12之前形成用于增加密合力的底漆层或在后述的蚀刻处理时用于防止对显示元件的影响的阻挡层。在形成聚酰亚胺膜12之后，在聚酰亚胺膜12上形成透明电极层14。在本实施方式中，通过溅射等已知方法在聚酰亚胺膜12上形成低温多晶硅膜。在透明电极层14的上部形成发光层16(参照图2的(B))。发光层16可以使用蒸镀方式或喷墨方式等已知方法来形成有机材料。此外，发光层16不仅包括由有机材料构成的发光层，还包括空穴传输层、电子传输层。在本实施方式中，在透明电极层14上依次层叠有空穴传输层、发光层和电子传输层。透明电极层14和发光层16通过层叠多个密封层18而被覆盖(参照图2的(C))。密封层18是具有阻气性的树脂膜，并且以保持发光层16的气密性和水密性的方式构成。密封层18通过交替层叠无机膜和有机膜而能够更有效地保护发光层16。在本实施方式中，虽然通过五层的密封层进行薄膜密封，但是可以适当地变更层叠结构。作为密封层中的无机膜，可以使用氮化硅、氧化硅、氧氮化硅、碳氧化物、氮化碳、氧化铝等。作为有机膜，可以使用聚酯、甲基丙烯酸、聚苯乙烯、透明氟树脂、聚酰亚胺、聚氨酯、环烯烃共聚物、丙烯酸类树脂、环氧树脂等。此外，这些密封层为了确保显示装置的可视性，总透光率优选为90％以上。由此，使用图3的(A)及图3的(B)，对经薄膜密封的有机EL面板10的支承玻璃20的去除处理进行说明。支承玻璃20的去除通过使蚀刻液与支承玻璃本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置制造方法，制造显示装置，所述显示装置使用显示元件显示图像，其特征在于，包括：在玻璃基板的第一主面上形成有机树脂膜的步骤；在所述有机树脂膜上形成包括显示元件的层的步骤；以及通过由耐蚀刻性部件覆盖包括所述有机树脂膜的所述玻璃基板的第一主面侧，并且从第二主面侧进行蚀刻，从而去除所述玻璃基板的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.31 JP 2016-1084861.一种显示装置制造方法，制造显示装置，所述显示装置使用显示元件显示图像，其特征在于，包括：在玻璃基板的第一主面上形成有机树脂膜的步骤；在所述有机树脂膜上形成包括显示元件...

【专利技术属性】
技术研发人员：田村达彦，柏原康宏，
申请(专利权)人：株式会社NSC，
类型：发明
国别省市：日本,JP