显示装置制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不进行有机树脂膜与玻璃基板的剥离而用简单的方法可进行弯曲的显示装置，根据本发明专利技术的显示装置制造方法，包括：在玻璃基板(12)的第一主面上形成有机树脂膜(14)的步骤；在有机树脂膜上形成包括显示元件的层(16、18、20)的步骤；以及通过由耐蚀刻性部件(22)覆盖包括有机树脂膜的玻璃基板的第一主面侧，并且对第二主面侧进行蚀刻，从而使玻璃基板薄型化的步骤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示装置制造方法
本专利技术涉及一种有机EL显示器等显示装置的制造方法，尤其是涉及一种薄型化至能弯曲的显示装置的制造方法。
技术介绍
以往，使用液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器的显示装置用于各种用途。特别地，近年来从设计性的观点来看，柔性显示器备受关注。当制造柔性显示器时多采用易对应于弯曲化的有机EL显示器。现有的有机EL显示器利用盖玻璃等玻璃基板来密封有机EL元件等显示元件。通过玻璃基板来保持有机EL元件的气密性和水密性，防止因氧、水分引起的元件的劣化。但是，由于进一步薄型化和上述那样的弯曲化的要求，近年来开发了利用树脂基板的有机EL显示器。树脂基板与玻璃基板相比挠性高，即使弯曲也不容易损坏，通过无机膜与有机膜的层叠结构来密封显示元件，能够实现与玻璃基板同等程度的阻气性。然而，形成为足够薄以致能够弯曲的树脂基板在制造工序中非常难以处理，其结果，可能成为良率恶化的原因。因此，通常，在支承玻璃上形成聚酰亚胺等有机树脂膜，以便于在制造工序中进行处理。在由支承玻璃确保整个基板的刚性的状态下在有机树脂膜上形成功能膜等显示元件，并且在进行密封处理之后从支承玻璃剥离有机树脂膜(例如，参照专利文献1)。从支承玻璃剥离有机树脂膜的操作是通过由激光装置除去预先在支承玻璃和有机树脂膜之间形成的剥离层来进行的。现有技术文献专利文献专利文献1：JP特开2016-004112
技术实现思路
(专利技术要解决的课题)但是，在上述方法中存在因在剥离支承玻璃时的激光照射而对显示元件产生不利影响的风险。另外，需要导入受激准分子激光器等昂贵的制造装置，并且生产成本也很高。特别地，近年来在大型基板上对多个显示装置进行倒角的状态下生产多个显示装置，但随着基板变大，激光的照射面积增大，因此生产效率降低，发生剥离不良的情况变得越多。另外，仅由树脂膜构成的显示装置难以充分保护显示元件，并且存在可靠性不足的问题。特别地，在有机EL显示器中，显示元件的劣化是对长寿命的障碍，因此需要防止来自外部的水分、氧的浸入的可靠性高的基板。本专利技术的目的在于，提供一种无需进行有机树脂膜与玻璃基板的剥离而能以简单的方法进行弯曲的显示装置。(用于解决课题的技术方案)根据本专利技术的显示装置制造方法，包括：在玻璃基板的第一主面上形成有机树脂膜的步骤；在有机树脂薄膜上形成包括显示元件的层的步骤；以及通过由耐蚀刻性部件覆盖包括有机树脂膜的玻璃基板的第一主面侧，并且对第二主面侧进行蚀刻，从而使玻璃基板薄型化的步骤。在玻璃基板上形成有机树脂膜的工序中，例如，通过在现有所使用的支承玻璃上使用狭缝式涂布机等涂覆装置，而在玻璃基板上涂覆有机树脂膜。作为有机树脂膜，优选使用聚酰亚胺。在形成显示元件的工序中，在有机树脂膜上形成包括薄膜晶体管或有机EL的发光层等的功能层。在形成这样的显示元件之后，密封显示元件以使不暴露于外部空气。在密封工序中，通过交替层叠无机膜与有机膜而成的树脂膜来进行密封处理。在密封处理之后，用具有耐蚀刻性的膜或抗蚀剂材料来覆盖树脂膜，并对玻璃基板进行蚀刻。蚀刻处理中，通过使配置有显示装置的玻璃基板的主面与蚀刻液接触来进行蚀刻，从而使玻璃基板的板厚变薄。在本专利技术中，由于玻璃基板不是作为用于使制造工序方便的支承玻璃而使用，而是作为显示装置的构成要素的一部分而使用，因此不需要进行玻璃基板与有机树脂膜的剥离。进一步，由于通过蚀刻使玻璃基板薄型化，因此即使不从支承玻璃剥离树脂膜，也不会产生显示装置的厚度增加的不良状况，并且根据需要使每个玻璃基板自由弯曲。另外，由于通过有机树脂膜和玻璃基板来保护显示元件，因此显示元件暴露在外部空气中而劣化的可能性降低，从而提高了显示装置的可靠性。此外，优选将玻璃基板薄型化至使显示装置能够自由弯曲的程度。优选将玻璃基板薄型化至50～150μm。通过将玻璃基板蚀刻到该范围，从而即使是包括玻璃基板的显示装置，也能够使其弯曲。另外，玻璃基板的蚀刻通过向玻璃基板喷射蚀刻液来进行。通过该构成，蚀刻液非必要接触玻璃基板以外的显示装置的其他区域的情况变少。因此显示元件因水分而劣化的可能性变小。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种无需进行有机树脂膜与玻璃基板的剥离而能以简单的方法进行弯曲的显示装置。附图说明图1是示出根据本专利技术的一个实施方式的显示装置的结构的图。图2是示出显示装置的制造工序的图。图3是示出在该实施方式中使用的蚀刻装置的图。具体实施方式使用图1对根据本专利技术的一个实施方式的显示装置进行说明。图1是有机EL面板10的示意性侧视图。有机EL面板10具有支承玻璃12、聚酰亚胺膜14、透明电极层16、发光层18和密封层20。支承玻璃12配置在与用户观看图像的一侧相反的一侧，并且在一个主面形成有聚酰亚胺膜14。在本实施方式中，聚酰亚胺膜14相当于本专利技术技术方案中的有机树脂膜。在本实施方式中，作为有机树脂膜，使用了聚酰亚胺，但是没有特别限制，只要是能耐受成膜工艺的处理温度的树脂膜，并不特别限定。在聚酰亚胺膜14上依次层叠有透明电极层16和发光层18。作为透明电极层16，优选形成已知的低温多晶硅膜。发光层18包括空穴传输层、有机EL元件和电子传输层等功能层。在本实施方式中，透明电极层16和发光层18相当于本专利技术技术方案中的显示元件。密封层20构成为覆盖发光层18，从而防止发光元件等暴露于外部空气中的水分或氧而劣化。通常，密封层20通过层叠不同组成的树脂膜来形成。在本实施方式中，虽然通过五层的密封层来进行薄膜密封，但是可以适当地变更密封层20的结构。该有机EL面板10是以从配置有密封层20的一侧视觉辨认图像的方式构成的顶部发射型。在此，使用图2的(A)至图2的(D)对有机EL面板10的制造方法进行说明。首先，对在支承玻璃12上形成聚酰亚胺膜14的工序进行说明。将溶解在二甲基乙酰胺或甲基吡咯烷酮的溶剂中的聚酰亚胺前体涂覆在支承玻璃12上(参照图2的(A))。支承玻璃12优选为，能使用在已知制造方法中使用的材料并且具有300～800μm的板厚。聚酰亚胺前体能通过狭缝式涂布机或辊涂机等涂覆装置进行涂覆。在这种情况下，优选涂覆为使聚酰亚胺膜14的厚度为7～30μm。通过将聚酰亚胺前体投入到升温至预定温度的干燥炉内从而进行固化处理。另外，可以在支承玻璃12上涂覆聚酰亚胺膜14之前形成用于增加密接力的底漆层。在形成聚酰亚胺膜14之后，在聚酰亚胺膜14上形成透明电极层16。在本实施方式中，通过溅射等已知方法在聚酰亚胺膜14上形成低温多晶硅膜。在透明电极层16的上部形成发光层18(参照图2的(B))。发光层18可以使用蒸镀方式或喷墨方式等已知方法来形成有机材料。此外，发光层18不仅包括由有机材料构成的发光层，还包括空穴传输层、电子传输层。在本实施方式中，在透明电极层16上依次层叠有空穴传输层、发光层和电子传输层。透明电极层16和发光层18通过层叠多个密封层20而被覆盖(参照图2的(C))。密封层20是具有阻气性的树脂膜，并且以保持发光层18的气密性和水密性的方式构成。密封层20通过交替层叠无机膜和有机膜而能够更有效地保护发光层18。在本实施方式中，虽然通过五层的密封层进行薄膜密封，但是可以适当地变更层叠结构。作为密封层中的无机膜，可以使用氮化硅、氧化硅、氧氮化硅、碳氧化物、氮化碳、氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置制造方法，制造显示装置，所述显示装置使用显示元件显示图像，其特征在于，包括：在玻璃基板的第一主面上形成有机树脂膜的步骤；在所述有机树脂膜上形成包括显示元件的层的步骤；以及通过由耐蚀刻性部件覆盖包括所述有机树脂膜的所述玻璃基板的第一主面侧，并且对第二主面侧进行蚀刻，从而使所述玻璃基板薄型化的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.16 JP 2016-0975611.一种显示装置制造方法，制造显示装置，所述显示装置使用显示元件显示图像，其特征在于，包括：在玻璃基板的第一主面上形成有机树脂膜的步骤；在所述有机树脂膜上形成包括显示元件的层的步骤；以及通过由耐蚀刻性部件覆盖包括所述有...

【专利技术属性】
技术研发人员：田村达彦，
申请(专利权)人：株式会社NSC，
类型：发明
国别省市：日本,JP