源液进气恒压装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种源液进气恒压装置，在原有的源液进气装置基础上，设计了可为主源瓶补液的副源瓶，可有效稳定源瓶内饱和蒸气压，精准控制通源量，同时源瓶更换方便，无需反复拆接主源瓶，减少源瓶接口处可能存在的漏气隐患。

【技术实现步骤摘要】
源液进气恒压装置
本技术涉及太阳能电池片低压扩散反应装置
，尤其涉及一种源液进气恒压装置。
技术介绍
在太阳能电池片生产过程中，采用低压扩散炉进行低压扩散处理。低压扩散炉通源方式为通过氮气鼓泡,携带源瓶中的磷源进入反应炉管。现有进气方式只有一个源瓶，源瓶中源液在使用过程中，源液具有逐渐减少的渐变过程，导致源瓶中饱和蒸气压产生渐变过程，从而导致进入反应炉管的实际源量存在区别，从而导致方阻不稳定。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术之不足，本技术提供一种稳定源瓶内饱和蒸气压，精准控制通源量，同时源瓶更换方便，减少漏气隐患的源液进气恒压装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种源液进气恒压装置，包括主源瓶，所述主源瓶内盛有源液，所述的主源瓶上设有伸入主源瓶内源液液位下方的进气管，所述的主源瓶上对应源液液位以上具有出气管路，所述出气管路依次经过压力控制器、单向阀与炉管进气口气路连通，所述的进气管一端伸入源液液位下方、另一端连接有氮气进气装置，所述的氮气进气装置包括依次连接的小氮流量计、小氮气动阀和单向阀，所述氮气进气装置的单向阀一端与小氮气动阀管路连通、另一端与进气管管路连通，所述的进气管与出气管路连接压力控制器端间管路连接有主防腐气动阀，所述的主源瓶内设有主液位传感器，所述主液位传感器线路连接有PLC控制器，所述的主源瓶对应源液液位以上还设有补液装置；所述的补液装置包括副源瓶，所述副源瓶内盛有源液，所述副源瓶上还设有伸入副源瓶源液液位下方的进液管路，所述进液管路一端伸入副源瓶源液液位下方、另一端进入主源瓶并位于主源瓶源液液位以上；所述的副源瓶内设有与PLC控制器线路连接的副液位传感器，所述的副源瓶对应源液液位以上具有向副源瓶内补充源液的补液管路，所述的补液管路、进液管路分别与PLC控制器连接并由PLC控制器控制。本方案对现有进气方式进行升级，增加了一个副源瓶，在主源瓶液位低于下限时，主源瓶内主液位传感器侦测并将信号反馈给PLC控制器，PLC控制器给补液装置传递指令，将副源瓶内源液补充至主源瓶。主源瓶液位达到上限时，主源瓶内液位传感器侦测并将信号反馈给PLC控制器，PLC控制器给补液装置传递指令，停止补液。在工艺时，主副源瓶之间隔绝，避免互相干扰。整套系统保证了主源瓶内源液维持在一个稳定的液位，达到稳定源瓶内饱和蒸气压，精准控制通源量的目的。补液管路包括补液流量计、管路连接在补液流量计后的补液气动阀和管路连接在补液气动阀后的单向阀，所述补液管路的单向阀管路连通有固定在副源瓶上的补液管，所述补液管一端与单向阀管路连通、另一端对应进入副源瓶内并位于副源瓶内源液液位上方；进液管路上依次设有副防腐气动阀和单向阀。补液气动阀、主防腐气动阀、副防腐气动阀、小氮气动阀、压力控制器和单向阀分别与PLC控制器连接并由PLC控制器控制开闭。本技术的有益效果是，本技术提供的源液进气恒压装置，设计了可为主源瓶补液的副源瓶，稳定源瓶内饱和蒸气压，精准控制通源量，同时源瓶更换方便，无需反复拆接主源瓶，减少源瓶接口处可能存在的漏气隐患。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术最优实施例的结构示意图。图2是传统源液进气装置的结构示意图。图中1、主源瓶2、进气管3、出气管路4、压力控制器5、单向阀6、炉管进气口7、小氮流量计8、小氮气动阀9、主防腐气动阀10、主液位传感器11、副源瓶12、进液管路13、副液位传感器14、补液气动阀15、补液管16、副防腐气动阀17、补液流量计。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图1所示的一种源液进气恒压装置，是本技术最优实施例，包括主源瓶1。所述主源瓶1内盛有源液，所述的主源瓶1上设有伸入主源瓶1内源液液位下方的进气管2，所述的主源瓶1上对应源液液位以上具有出气管路3，所述出气管路3依次经过压力控制器4、单向阀5与炉管进气口6气路连通，所述的进气管2一端伸入源液液位下方、另一端连接有氮气进气装置，所述的氮气进气装置包括依次连接的小氮流量计7、小氮气动阀8和单向阀5，所述氮气进气装置的单向阀5一端与小氮气动阀8管路连通、另一端与进气管2管路连通，所述的进气管2与出气管路3连接压力控制器4端间管路连接有主防腐气动阀9。主源瓶1内设有主液位传感器10，所述主液位传感器10线路连接有PLC控制器，所述的主源瓶1对应源液液位以上还设有补液装置。所述的补液装置包括副源瓶11，所述副源瓶11内盛有源液，所述副源瓶11上还设有伸入副源瓶11源液液位下方的进液管路12，所述进液管路12一端伸入副源瓶11源液液位下方、另一端进入主源瓶1并位于主源瓶1源液液位以上；所述的副源瓶11内设有与PLC控制器线路连接的副液位传感器13，所述的副源瓶11对应源液液位以上具有向副源瓶11内补充源液的补液装置，所述的补液装置、进液管路12分别与PLC控制器连接并由PLC控制器控制。补液管路包括补液流量计17、管路连接在补液流量计17后的补液气动阀14和管路连接在补液气动阀14后的单向阀5，所述补液管路的单向阀5管路连通有固定在副源瓶11上的补液管15，所述补液管15一端与单向阀5管路连通、另一端对应进入副源瓶11内并位于副源瓶11内源液液位上方；进液管路12上依次设有副防腐气动阀16和单向阀5。补液气动阀14、主防腐气动阀9、副防腐气动阀16、小氮气动阀8、压力控制器4和单向阀5分别与PLC控制器连接并由PLC控制器控制开闭。本方案对现有进气方式进行升级，增加了一个副源瓶11，在主源瓶1液位低于下限时，主源瓶1内主液位传感器10侦测并将信号反馈给PLC控制器，PLC控制器给补液装置传递指令，将副源瓶11内源液补充至主源瓶1。主源瓶1液位达到上限时，主源瓶1内主液位传感器10侦测并将信号反馈给PLC控制器，PLC控制器给补液装置传递指令，停止补液。在工艺时，主副源瓶11之间隔绝，避免互相干扰。如此设计的源液进气恒压装置，设计了可为主源瓶1补液的副源瓶11，整套系统保证了主源瓶1内源液维持在一个稳定的液位，稳定了源瓶内饱和蒸气压，精准控制通源量，提升工艺稳定性，达到稳定方阻的目的；同时可统一各炉管之间的源瓶内蒸汽压，方便于各管之间工艺统一；源瓶更换方便，避免了反复拆接主源瓶1，减少主源瓶1接口处漏气隐患。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种源液进气恒压装置，包括主源瓶(1)，所述主源瓶(1)内盛有源液，所述的主源瓶(1)上设有伸入主源瓶(1)内源液液位下方的进气管(2)，所述的主源瓶(1)上对应源液液位以上具有出气管路(3)，所述出气管路(3)依次经过压力控制器(4)、单向阀(5)与炉管进气口(6)气路连通，所述的进气管(2)一端伸入源液液位下方、另一端连接有氮气进气装置，所述的氮气进气装置包括依次连接的小氮流量计(7)、小氮气动阀(8)和单向阀(5)，所述氮气进气装置的单向阀(5)一端与小氮气动阀(8)管路连通、另一端与进气管(2)管路连通，所述的进气管(2)与出气管路(3)连接压力控制器(4)端间管路连接有主防腐气动阀(9)，其特征在于：所述的主源瓶(1)内设有主液位传感器(10)，所述主液位传感器(10)线路连接有PLC控制器，所述的主源瓶(1)对应源液液位以上还设有补液装置；所述的补液装置包括副源瓶(11)，所述副源瓶(11)内盛有源液，所述副源瓶(11)上还设有伸入副源瓶(11)源液液位下方的进液管路(12)，所述进液管路(12)一端伸入副源瓶(11)源液液位下方、另一端进入主源瓶(1)并位于主源瓶(1)源液液位以上；所述的副源瓶(11)内设有与PLC控制器线路连接的副液位传感器(13)，所述的副源瓶(11)对应源液液位以上具有向副源瓶(11)内补充源液的补液管路，所述的补液管路、进液管路(12)分别与PLC控制器连接并由PLC控制器控制。...

【技术特征摘要】
1.一种源液进气恒压装置，包括主源瓶(1)，所述主源瓶(1)内盛有源液，所述的主源瓶(1)上设有伸入主源瓶(1)内源液液位下方的进气管(2)，所述的主源瓶(1)上对应源液液位以上具有出气管路(3)，所述出气管路(3)依次经过压力控制器(4)、单向阀(5)与炉管进气口(6)气路连通，所述的进气管(2)一端伸入源液液位下方、另一端连接有氮气进气装置，所述的氮气进气装置包括依次连接的小氮流量计(7)、小氮气动阀(8)和单向阀(5)，所述氮气进气装置的单向阀(5)一端与小氮气动阀(8)管路连通、另一端与进气管(2)管路连通，所述的进气管(2)与出气管路(3)连接压力控制器(4)端间管路连接有主防腐气动阀(9)，其特征在于：所述的主源瓶(1)内设有主液位传感器(10)，所述主液位传感器(10)线路连接有PLC控制器，所述的主源瓶(1)对应源液液位以上还设有补液装置；所述的补液装置包括副源瓶(11)，所述副源瓶(11)内盛有源液，所述副源瓶(11)上还设有伸入副源瓶(11)源液液位下方的进液管路(12)，所述进液管路(12)一端伸入副源瓶(11)...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴俊，张凯胜，姚伟忠，孙铁囤，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32