晶圆充气负载平台的控制方法技术

本发明专利技术公开了一种晶圆充气负载平台的控制方法，包括：接收一主控端的充气命令；判断载体是否设置在负载平台上；开阀以执行充气动作；判断开阀是否成功；若开阀成功，回报一事件至主控端；以及等待所述主控端的一关阀命令。本发明专利技术的晶圆负载平台的控制方法，是利用检测多个传感器的感测信号以确认载体是否设置在负载平台上。并且通过晶圆负载平台系统中的各个传感器以及调控装置，对充气系统进行稳定且有效的控制。

【技术实现步骤摘要】
晶圆充气负载平台的控制方法
本专利技术涉及一种晶圆充气负载平台的控制方法，尤其涉及一种利用多种传感器进行控制的晶圆负载平台的控制方法。
技术介绍
传统晶圆负载平台，是搭配制程设备作为整套设备进行交易贩卖，所以在晶圆负载的检测与控制，都必须搭配原厂设备进行使用，所以大多只有相当基本的控制方式，无法根据实际需求进行检测以及控制，也无法检测不同态样载体，在制程上无法灵活运用。因此，提供一种具有可有效检测充气过程的各种状况的晶圆负载平台的控制方法，则是现在业界的一个重要课题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例公开了一种晶圆负载平台的控制方法，包括：接收一主控端的充气命令；判断载体是否设置在负载平台上；开阀以执行充气动作；判断开阀是否成功；若开阀成功，回报一事件至主控端；以及等待所述主控端的一关阀命令。优选地，还包括：若判断开阀并没有成功，则判断是否超过一失败次数设定；若并未超过所述失败次数设定，则重新执行开阀动作；以及若超过所述失败次数设定，则提供一警示信息。优选地，还包括：若负载平台上没有设置所述载体，则拒绝所述充气命令，并提供一警示信息。优选地，还包括：根据其他判定条件上报至少一事件至主控端。优选地，所述根据其他判定条件上报至少一事件至主控端的步骤中，包括：判断载体是否设置在负载平台上；判断供气流量；判断湿度；判断温度；判断进气压力；判断出气压力；以及等待主控端关阀命令。优选地，所述根据其他判定条件上报至少一事件至主控端的步骤中，还包括下列步骤：提供一无载体的警示信号；以及提供一警示信息。优选地，所述负载平台还包括一控制模块，所述控制模块通过至少二传感器信号对所述载体进行检测。优选地，所述负载平台上设置有所述载体，当所述载体被移除时，经过一缓冲时间后，所述负载平台检测所述负载平台上并无设置所述载体，则对所述负载平台喷气至少一次。优选地，所述负载平台上没有设置所述载体时，每间隔一设定间隔时间后，所述负载平台喷气至少一次。综上所述，本专利技术的晶圆负载平台的控制方法，是利用检测多个传感器的感测信号以确认载体是否设置在负载平台上。并且通过晶圆负载平台系统中的各个传感器以及调控装置，对充气系统进行稳定且有效的控制。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。附图说明图1为本专利技术实施例的晶圆充气系统的示意图。图2为本专利技术实施例的晶圆负载平台的控制方法的流程图。图3为本专利技术实施例的晶圆负载平台的控制方法的另一流程图。图4为本专利技术实施例的晶圆负载平台的控制方法的另一流程图。图5为图4所示的晶圆负载平台的控制方法的示意图。具体实施方式以下将参看随附图式更充分地描述各种示例性实施例，在随附图式中展示一些示例性实施例。然而，本专利技术概念可能以许多不同形式来体现，且不应解释为限于本文中所阐述的示例性实施例。确切而言，提供此等示例性实施例使得本专利技术详尽且完整，且将向熟习此项技术者充分传达本专利技术概念的范畴。在诸图式中，可为了清楚而放大层及区的大小及相对大小。类似数字始终指示类似组件。应理解，虽然本文中可能使用术语第一、第二、第三等来描述各种组件，但此等组件不应受此等术语限制。此等术语乃用以区分一组件与另一组件。因此，下文论述的第一组件可称为第二组件而不偏离本专利技术概念的教示。如本文中所使用，术语“及/或”包括相关联的列出项目中的任一者及一或多者的所有组合。以下将以至少一种实施例配合图式来说明所述晶圆充气负载平台的控制方法，然而，下述实施例并非用以限制本揭露内容。〔本专利技术晶圆充气系统的实施例〕请参照图1，图1所示为本专利技术实施例的晶圆充气系统的示意图。晶圆充气系统100的进气端连接一供气装置IN，而出气端则连接一负载平台O；所述供气装置IN能选择性地持续输出一特定气体(可依据实际需求加以变化)，所述供气装置IN实际的型态(例如钢瓶、中央供气管路)于此不加以限制，所述负载平台O则可以是选择性的气体，并稳定对欲充气的装置或是空间进行充气作业。在本实施例中，则是针对一载体进行充气，载体是用于容纳晶圆以进行在制程设备之间的移动，避免各种污染。在本实施例中，供气装置IN设置在进气端，其后设置一压力阀12、一气压侦测单元13，而在气压侦测单元13之后则连接气动开关单元11、电动开关单元21以及压力调整阀22。在本实施例中，气动开关单元11还连接一流量检控单元14。流量检控单元14则是连接气体过滤单元15。供气装置IN提供的气体经过诸多设备之后则经会经过气体过滤单元15对负载平台O进行充气，以维持负载平台O上的载体内部的状态。而负载平台O则是连接一湿度检测单元31、一电磁阀32、一气压检测单元33、一真空产生器34以及一排气装置OUT。其中，一气压检测单元33则是连接在电磁阀32以及真空产生器34之间。在本实施例中，所述气动开关单元11可以是保持常闭状态(阻断进气端与出气端的连通)，而气动开关单元11在有特定压力的气体注入的情况下，才会对应开启进气端与出气端之间的连通。在本实施例中，电动开关单元21以及压力调整阀22是设置在气压侦测单元13以及气动开关单元11连接管路的一支路上，其能依据通电模式，而选择性地阻断支路两端的连通。电动开关单元21可以包含有一第一通电模式及一第二通电模式。所述第一通电模式为电动开关单元21使支路两端相互连通的状态；第二通电模式则为电动开关单元21使支路两端不相互连通的状态。亦即，气动开关单元11的启闭，将依据电动开关单元21的通电模式不同而改变。进一步来说，晶圆充气系统100在初始状态下，电动开关单元21可以是处于第二通电模式，而气动开关单元11将可以对应使支路两端呈现为彼此不相互连通的状态，如此，供气装置IN所输出气体将无法通过支路驱动气动开关单元11，而使供气装置IN所输出的气体将无法流通至负载平台O，进而让负载平台O不会对载体进行充气作业。具体来说，所述电动开关单元21可以是双线圈电磁阀，所述第一通电模式可以是双线圈电磁阀的第一线圈通电且第二线圈不通电的状态，而所述第二通电模式则可以是双线圈电磁阀的第二线圈通电而第一线圈不通电的状态。当然，在实际应用中所述电动开关单元21不局限于双线圈电磁阀，在特殊的应用中，亦可以是单线圈的电磁阀，而透过改变通入电流的方向，来达到由第一通电模式改变为第二通电模式的效果。在本实施例中，晶圆充气系统100的主进气管路邻近于进气端处，更可以设置有一压力阀12及一气压侦测单元13；所述压力阀12用以限制主进气管路的气体压力，以调整主进气管路供应的气体压力，且于实际应用中，所述压力阀12能调节主进气管路中的气体压力；所述气压侦测单元13可用以检测通过压力阀12的气体压力。支路更可以设置有一压力调节阀22，其能于支路中的气体压力低于一预定值时，阻断主进气管路与支路的连通，借此透过气压侦测单元13及压力调节阀22的相互配合，可确保通过电动开关单元21的气体，能有足够的压力推动气动开关单元11。另外，主进气管路邻近于出气端更可以设置有流量检控单元14，以实时检测通过气动开关单元11的气体流量，从而确保负载平台O输出额定的气体量。在实际应用中，所述主进气管路邻近于出气端亦可依据需求增设有至少一个气体过滤单元15，以过滤通过气动开关单元11的气体中的特本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆充气负载平台的控制方法，其特征在于，包括：接收一主控端的充气命令；判断一载体是否设置在一负载平台上；开阀以执行一充气动作；判断开阀是否成功；若开阀成功，回报一事件信息至所述主控端；以及等待所述主控端的一关阀命令。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆充气负载平台的控制方法，其特征在于，包括：接收一主控端的充气命令；判断一载体是否设置在一负载平台上；开阀以执行一充气动作；判断开阀是否成功；若开阀成功，回报一事件信息至所述主控端；以及等待所述主控端的一关阀命令。2.如权利要求1所述的晶圆充气负载平台的控制方法，其特征在于，还包括：若判断开阀并没有成功，则判断是否超过一失败次数设定；若并未超过所述失败次数设定，则重新执行开阀动作；以及若超过所述失败次数设定，则拒绝所述充气命令，并提供一警示信息。3.如权利要求1所述的晶圆充气负载平台的控制方法，其特征在于，还包括：若所述负载平台上没有设置所述载体，则拒绝所述充气命令，并提供一警示信息。4.如权利要求1所述的晶圆充气负载平台的控制方法，其特征在于，还包括：根据其他判定条件上报至少一事件至所述主控端。5.如权利要求4所述的晶圆充气负载平台的控制方法，其特征在于，其中所述根据其他判定条件上报至少一事件至所述主...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕思纬，陈勇州，古伊钧，林祺浩，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71