一种AlN纳米线的制备方法技术

技术编号:20214975 阅读:22 留言:0更新日期:2019-01-28 16:21
本发明专利技术提出一种AlN纳米线的制备方法,包括步骤1、混料:将Ti粉、Al粉和C粉进行混合;步骤2、研磨:在球磨罐中加入研磨球,将步骤1所得原料放入球磨罐中,在球磨罐中倒入酒精直至将原料完全盖住,把球磨罐放入球磨机中固定,湿磨8h~12h;步骤3、烘干:将研磨后的物质在水浴环境下进行烘干,烘干温度为50℃~60℃;步骤4、过筛:将烘干后的物质进行过筛,以将研磨球与原料进行分离;步骤5、烧结与取料:将步骤4所得的原料在氮气环境下进行烧结,烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,通过气相沉积法制备AlN纳米线,当温度下降后,即可取出烧结产物,即AlN纳米线。通过上述制备方法制备的纳米线为AlN单晶,其直径范围在100‑200nm,长度范围以5‑10μm居多。

【技术实现步骤摘要】
一种AlN纳米线的制备方法
本专利技术涉及纳米材料制备
,尤其涉及一种AlN纳米线的制备方法。
技术介绍
AlN是典型的三族氮化物半导体功能材料,在电子、冶金、化工和功能陶瓷等高性能要求的领域有着广阔的应用前景。AlN作为重要的第三代半导体材料,具有最高的直接带隙、高热导率、高熔点、高硬度、优良的化学稳定性和无毒性等特点,在深紫外发光、紫外探测器二极管、平板显示器和深紫外激光器等光电器件中有重要的应用,因此研究一维AlN纳米线的制备及性能具有重要意义。但现有的一维AlN纳米材料的制备工艺仍不完善,单一的制备方法无法满足直径分布均匀、生长取向一致、大的生成量等要求。因此一维AlN纳米线的制备工艺需要继续研究,产量需要提高。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题,本专利技术提出了一种AlN纳米线的制备方法,以便在简化工艺流程、缩短制备时间的前提下,使AlN纳米线仍保持较高的纯度和转化率,使生产成本显著降低,具有大规模量产的潜力。为了实现上述目的,本专利技术提出了一种AlN纳米线的制备方法,包括以下步骤:步骤1、混料:将Ti粉、Al粉和C粉进行混合,其中,Ti粉的摩尔百分含量为50%~60%,Al粉的摩尔百分含量为25%~30%,C粉的摩尔百分含量为10%~25%;步骤2、研磨:在球磨罐中加入研磨球,将步骤1所得的原料放入球磨罐中,在球磨罐中倒入酒精直至将原料完全盖住,把球磨罐放入球磨机中进行固定,湿磨8h~12h;步骤3、烘干:将研磨后的球磨罐中的物质在水浴环境下进行烘干,烘干温度为50℃~60℃,烘干时间为12h~18h;步骤4、过筛:将步骤3中烘干后的物质倒入筛子中进行过筛,以将研磨球与原料进行分离;步骤5、烧结与取料:将步骤4所得的原料在氮气环境下进行烧结,烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,即保温时间为0.5h~4h,通过气相沉积法制备AlN纳米线,之后当温度下降后,即可取出烧结产物,即AlN纳米线。优选的是,在所述步骤2中,采用两个或者四个球磨罐,每个球磨罐中放入等量的研磨球,将步骤1所得的原料平均的放入球磨罐中,将球磨罐放入球磨机中进行固定,各球磨罐沿对角线放置在球磨机中。优选的是,在所述步骤3中,采用水浴锅进行烘干。优选的是,在所述步骤5中,将步骤4所得的原料置于容器中,将该容器置于炉中在氮气环境下进行烧结,烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,通过气相沉积的方法使AlN在螺位错界面上的露头点所形成的台阶上生长,从而得到AlN纳米线。优选的是,所述容器采用刚玉舟。优选的是,采用真空管式炉或可控气氛真空电子炉。优选的是,在所述步骤1中加入辅助剂,所述辅助剂采用B2O3。优选的是,当加入辅助剂B2O3后,步骤5中的保温时间取1h。本专利技术的该方案的有益效果在于通过上述AlN纳米线的制备方法制备的纳米线为AlN单晶,其直径范围在100-200nm,长度范围以5-10μm居多。本专利技术采用化学气相沉积法使AlN纳米线生长,避免了C纳米管模板法所需要的苛刻反应条件,省略了辅助生长法繁琐的步骤。本专利技术所涉及的AlN纳米线的制备方法能够在简化工艺流程、缩短制备时间的前提下,使AlN纳米线仍保持较高的纯度和转化率,使生产成本显著降低,具有大规模量产的潜力。附图说明图1示出了通过本专利技术所涉及的制备方法制备的AlN纳米线的拉曼光谱。图2示出了制备的AlN纳米线的TEM图,其中图(a)、(b)、(c)、(d)为低分辨的AlN纳米线的TEM图,图(e)为高分辨的AlN纳米线的TEM图,图(f)为选区电子衍射花样图。图3示出了AlN纳米线的元素分布结果图,其中图(a)为元素分布结果的测试位置图,图(b)为N元素分布图,图(c)为Al元素分布图。图4示出了AlN纳米线的能谱图,其中C元素来自于C膜。图5示出了不同保温时间制备产物的XRD图谱,其中图(a)的保温时间是0.5h,图(b)的保温时间是1h,图(c)的保温时间是2h,图(d)的保温时间是4h。图6示出了有/无辅助剂B2O3、保温时间不同的情况下,AlN纳米线的SEM图,其中图(a)为有辅助剂B2O3、保温时间是0.5h的情况下,图(b)为有辅助剂B2O3、保温时间是1h的情况下,图(c)为有辅助剂B2O3、保温时间是2h的情况下,图(d)为有辅助剂B2O3、保温时间是4h的情况下,图(e)为无辅助剂B2O3、保温时间是0.5h的情况下,图(f)为无辅助剂B2O3、保温时间是1h的情况下,图(g)为无辅助剂B2O3、保温时间是2h的情况下,图(h)为无辅助剂B2O3、保温时间是4h的情况下。图7示出了有/无辅助剂B2O3的情况下,制备产物的XRD图谱,其中图(a)为有B2O3的情况下,图(b)为无B2O3的情况下。具体实施方式下面结合具体实施例对本专利技术作进一步的说明。本专利技术所涉及的AlN纳米线的制备方法包括以下步骤:步骤1、混料:将Ti粉、Al粉和C粉进行混合,其中,Ti粉的摩尔百分含量为50%~60%,Al粉的摩尔百分含量为25%~30%,C粉的摩尔百分含量为10%~25%。本专利技术在步骤1中混入C粉和Ti粉,其中C粉能够增加AlN纳米线的产量,有效的消除纯Al粉烧结出现的陶瓷化现象,Ti粉能均匀化AlN纳米线的直径,也能够消除纯Al粉烧结出现的陶瓷化现象。步骤2、研磨:在球磨罐中加入研磨球,将步骤1所得的原料放入球磨罐中,在球磨罐中倒入酒精直至将原料完全盖住,把球磨罐放入球磨机中进行固定,湿磨8h~12h。在本实施例中,采用两个或者四个球磨罐,每个球磨罐中放入等量的研磨球,将步骤1所得的原料平均的放入球磨罐中,将球磨罐放入球磨机中进行固定,各球磨罐沿对角线放置在球磨机中。步骤3、烘干:将研磨后的球磨罐中的物质在水浴环境下进行烘干,烘干温度为50℃~60℃,烘干时间为12h~18h。在本实施例中,采用水浴锅进行烘干。步骤4、过筛:将步骤3中烘干后的物质倒入筛子中进行过筛,以将研磨球与原料进行分离,所述筛子采用80~200目的筛子。步骤5、烧结与取料:将步骤4所得的原料在氮气环境下进行烧结,烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,即保温时间为0.5h~4h,通过气相沉积法制备AlN纳米线,之后当温度下降后,即可取出烧结产物,即AlN纳米线。具体的烧结与取料过程如下:将步骤4所得的原料置于容器中,所述容器可采用耐高温的刚玉舟,将该容器置于炉中在氮气环境下进行烧结,在本实施例中,可采用真空管式炉或可控气氛真空电子炉。烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,具体的实施例中,保温时间可取0.5h、1h、2h、4h,通过气相沉积的方法使AlN在螺位错界面上的露头点所形成的台阶上生长,从而得到AlN纳米线;之后自然降温至100℃以下即可取出烧结产物。为了改善产物的缠结情况,使AlN纳米线外表粗糙趋向延缓,在步骤1中可加入辅助剂B2O3。当加入辅助剂B2O3后,保温时间取1h为最佳。通过本专利技术所涉及的AlN纳米线的制备方法制备的纳米线为AlN单晶,其直径范围在100-200nm,长度范围以5-10μm居多。本专利技术采用化学气相沉积法使AlN纳米线生长,避免了C纳米管模板法所需要的苛刻反应条件,省略本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种AlN纳米线的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤1、混料:将Ti粉、Al粉和C粉进行混合,其中,Ti粉的摩尔百分含量为50%~60%,Al粉的摩尔百分含量为25%~30%,C粉的摩尔百分含量为10%~25%;步骤2、研磨:在球磨罐中加入研磨球,将步骤1所得的原料放入球磨罐中,在球磨罐中倒入酒精直至将原料完全盖住,把球磨罐放入球磨机中进行固定,湿磨8h~12h;步骤3、烘干:将研磨后的球磨罐中的物质在水浴环境下进行烘干,烘干温度为50℃~60℃,烘干时间为12h~18h;步骤4、过筛:将步骤3中烘干后的物质倒入筛子中进行过筛,以将研磨球与原料进行分离;步骤5、烧结与取料:将步骤4所得的原料在氮气环境下进行烧结,烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,即保温时间为0.5h~4h,通过气相沉积法制备AlN纳米线,之后当温度下降后,即可取出烧结产物,即AlN纳米线。

【技术特征摘要】
1.一种AlN纳米线的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤1、混料:将Ti粉、Al粉和C粉进行混合,其中,Ti粉的摩尔百分含量为50%~60%,Al粉的摩尔百分含量为25%~30%,C粉的摩尔百分含量为10%~25%;步骤2、研磨:在球磨罐中加入研磨球,将步骤1所得的原料放入球磨罐中,在球磨罐中倒入酒精直至将原料完全盖住,把球磨罐放入球磨机中进行固定,湿磨8h~12h;步骤3、烘干:将研磨后的球磨罐中的物质在水浴环境下进行烘干,烘干温度为50℃~60℃,烘干时间为12h~18h;步骤4、过筛:将步骤3中烘干后的物质倒入筛子中进行过筛,以将研磨球与原料进行分离;步骤5、烧结与取料:将步骤4所得的原料在氮气环境下进行烧结,烧结温度达到1300℃或以上时,保持该温度0.5h~4h,即保温时间为0.5h~4h,通过气相沉积法制备AlN纳米线,之后当温度下降后,即可取出烧结产物,即AlN纳米线。2.根据权利要求1所述的AlN纳米线的制备方法,其特征在于:在所述步骤2中,采用两个或者四个球磨罐,每个球...

【专利技术属性】
技术研发人员:钟博王猛王春雨王华涛夏龙张涛
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学威海威海云山科技有限公司
类型:发明
国别省市:山东,37

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