This application discloses a MEMS structure and a MEMS component. The template layer comprises a first groove for defining the cavity, a stop layer on the template layer, a mask layer on the cavity, a sealing layer on the mask layer, and a plurality of release holes closed by the sealing layer, in which the template layer also includes a plurality of second grooves surrounding the first groove, the plurality of second grooves and the The position of the release hole corresponds to that of the sealing layer, which comprises a plurality of protrusions, in which the first depth of the first groove is greater than the second depth of the second groove, in which a plurality of second grooves correspond to the position of the release hole, and the sealing layer comprises a plurality of protrusions, through which a plurality of protrusions are inserted into a plurality of second grooves, thereby forming embolism to seal multiple releases. Hole openings. In order to improve the stability and reliability of the structure, the embolic structure is used to fill the release hole and close the cavity.
【技术实现步骤摘要】
MEMS结构、MEMS组件
本技术涉及MEMS(微机电系统)技术,更具体地,涉及MEMS结构、MEMS组件。
技术介绍
MEMS(微机电系统)是采用光刻和蚀刻等工艺在半导体衬底上形成的微型系统。MEMS结构内部包括空腔、电极等微结构,已经衍生出多种类型的产品,包括加速度计、压力传感器、湿度传感器、指纹传感器、陀螺仪、麦克风、马达、微泵等。随着手机等移动终端的发展,指纹传感器获得了广泛的应用。指纹是指人的手指末端正面皮肤上凹凸不平的纹路,纹路有规律的排列形成不同的纹型。指纹识别指通过比较不同指纹的细节特征点来进行身份鉴定。由于具有终身不变性、唯一性和方便性,指纹识别的应用越来越广泛。指纹传感器例如是包括压电材料的MEMS结构,利用压电材料的逆压电效应产生超声波。该超声波在接触到指纹时,在指纹的嵴、峪中表现出不同的反射率和透射率。通过扫描一定面积内的超声波束信号即可读取指纹信息。进一步地,指纹传感器可以是MEMS组件,包括集成在一起的MEMS结构和CMOS电路。MEMS结构用于发射和接收超声波,CMOS电路用于为MEMS结构提供驱动信号和处理检测信号。共晶键合是集成CMOS电路和MEMS结构的有效方法。但是,在键合过程中会产生键合浆料溢流现象,导致管芯的结构部件短路而失效,大大的降低了良率。同时,键合工艺对准精度不高,从而导致用于电气连接的共晶键合点的尺寸较大,提高了制造成本。采用键合工艺集成CMOS电路和MEMS结构导致制造工艺复杂化、高成本和低良率。在改进的方法中,可以在CMOS电路上直接制作MEMS结构。然而,由于在CMOS电路上形成MEMS结构的叠层, ...
【技术保护点】
1.一种MEMS结构,包括:模板层,所述模板层包括用于限定空腔的第一凹槽;位于所述模板层上的停止层,所述停止层覆盖所述第一凹槽的底部和侧壁,从而形成与所述第一凹槽相对应的所述空腔;位于所述空腔上的掩模层,所述掩模层包括与所述空腔连通的多个释放孔;以及位于所述掩模层上的封闭层,所述封闭层封闭所述多个释放孔,其特征在于,所述模板层还包括围绕所述第一凹槽的多个第二凹槽,所述多个第二凹槽与所述释放孔的位置相对应,所述封闭层包括多个突出部,所述多个突出部穿过所述多个释放孔插入至所述多个第二凹槽中,从而形成栓塞以封闭所述多个释放孔,其中,所述第一凹槽的第一深度大于第二凹槽的第二深度。
【技术特征摘要】
1.一种MEMS结构,包括:模板层,所述模板层包括用于限定空腔的第一凹槽;位于所述模板层上的停止层,所述停止层覆盖所述第一凹槽的底部和侧壁,从而形成与所述第一凹槽相对应的所述空腔;位于所述空腔上的掩模层,所述掩模层包括与所述空腔连通的多个释放孔;以及位于所述掩模层上的封闭层,所述封闭层封闭所述多个释放孔,其特征在于,所述模板层还包括围绕所述第一凹槽的多个第二凹槽,所述多个第二凹槽与所述释放孔的位置相对应,所述封闭层包括多个突出部,所述多个突出部穿过所述多个释放孔插入至所述多个第二凹槽中,从而形成栓塞以封闭所述多个释放孔,其中,所述第一凹槽的第一深度大于第二凹槽的第二深度。2.根据权利要求1所述的MEMS结构,其特征在于,所述多个第二凹槽分别包括在所述模板层的表面暴露的第一开口,以及在所述第一凹槽的侧壁暴露的第二开口,所述第一开口与所述多个释放孔的相应一个释放孔连通,所述第二开口与所述第一凹槽连通。3.根据权利要求1所述的MEMS结构,其特征在于,还包括:用于支撑所述模板层的支撑层。4.根据权利要求1所述的MEMS结构,其特征在于,所述第一凹槽穿透所述模板层。5.根据权利要求1所述的MEMS结构,其特征在于,所述释放孔的横向尺寸为0.1微米至5微米。6.根据权利要求1所述的MEMS结构,其特征在于,所述模板层由选自金属、半导体、非晶硅、氧化硅和氮化硅任一种的材料组成。7.根据权利要求1所述的MEMS结构,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:季锋,闻永祥,刘琛,刘健,
申请(专利权)人:杭州士兰微电子股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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