一种晶圆用托盘的合金抗静电材料及其制备方法技术

本发明专利技术涉及热塑性工程塑料技术领域，特指一种晶圆用托盘的合金抗静电材料及其制备方法；按重量份组成为：聚苯醚30～50份，高抗冲击聚苯乙烯10～40份，导电炭黑8～12份，苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物3～6份，硅烷偶联剂0.3～0.5份，苯乙烯‑马来酸酐共聚物1～3份，导电碳黑8～12份，润滑剂0.4～1份,磷酸三苯酯3～4份，抗氧剂0.3～0.6份；本发明专利技术在具有良好的机械性能的同时，更加增加了PPO/HIPS合金的永久抗静电性，使其在晶圆的包装、测试、运输用更加安全。

An Antistatic Alloy Material for Wafer Pallets and Its Preparation Method

The invention relates to the technical field of thermoplastic engineering plastics, in particular to an alloy antistatic material for pallets for wafers and its preparation method; according to weight components, the alloy antistatic material consists of 30-50 copies of polyphenyl ether, 10-40 copies of high impact polystyrene, 8-12 copies of conductive carbon black, 3-6 copolymers of styrene-butadiene-styrene block copolymer, 0.3-0.5 copolymers of silane coupling agent and 1 copolymer of styrene-maleic anhydride. The invention not only has good mechanical properties, but also increases the permanent antistatic property of PPO/HIPS alloy, making it safer for wafer packaging, testing and transportation.

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆用托盘的合金抗静电材料及其制备方法
本专利技术涉及热塑性工程塑料
，特指一种晶圆用托盘的合金抗静电材料及其制备方法。
技术介绍
聚苯醚(PPO)材料作为世界五大通用工程塑料之一，是一种性能优异的热塑性工程塑料。未经改性的聚苯醚树脂具有良好的力学性能、电性能、耐热性、阻燃性以及化学稳定性等，因此，聚苯醚是应用广泛的工程塑料。然而，聚苯醚的熔融流动性较差，加工较为困难。通过相关研究发现，普通的聚苯醚、高抗冲击聚苯乙烯(HIPS)合金具有突出的电绝缘性。PPO/HIPS合金的优异电性能使其广泛应用于生产电器产品，尤其是耐高压的部件，如彩电的行输出变压器等。但PPO/HIPS合金表面电阻高达1016Ω，容易产生静电，易引起爆炸和火灾，提高PPO/HIPS合金材料的抗静电能力，可大大提高其使用时的安全性，并拓宽其在化工、煤矿、电子等领域更大的应用。因此，基于上述现有的按键材料的缺陷，需要对现有的按键材料进行改进。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术的不足提供一种免涂油的按键材料，该免涂油的按键材料解决了现有的按键材料所存在的：寿命短等缺陷。为实现上述目的，本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种晶圆用托盘的合金抗静电材料，按重量份组成为：聚苯醚30～50份，高抗冲击聚苯乙烯10～40份，导电炭黑8～12份，苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物3～6份，硅烷偶联剂0.3～0.5份，苯乙烯-马来酸酐共聚物1～3份，导电碳黑8～12份，润滑剂0.4～1份,磷酸三苯酯3～4份，抗氧剂0.3～0.6份。抗氧剂包括抗氧剂1010和抗氧剂168，按重量组分为抗氧剂1010：0.1～0.2份，抗氧剂168：0.2～0.4份。聚苯醚为浅黄色粉体，粒径50μm，粘度为40cm3/g。一种晶圆用托盘的合金抗静电材料的制备方法，按重量份组成为：聚苯醚30～50份，高抗冲击聚苯乙烯10～40份，导电炭黑8～12份，苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物3～6份，硅烷偶联剂0.3～0.5份，苯乙烯-马来酸酐共聚物1～3份，导电碳黑8～12份，润滑剂0.4～1份,磷酸三苯酯3～4份，抗氧剂0.3～0.6份；先将聚苯醚20份、苯乙烯-马来酸酐共聚物、导电碳黑、润滑剂、抗氧剂，在高速搅拌机搅拌分散均匀；再加入聚苯醚10～30份、高抗冲击聚苯乙烯10～40份、苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物3～6份、磷酸三苯酯3～4份和硅烷偶联剂0.3～0.5份搅拌均匀；最后通过挤出机挤出造粒。挤出机设定温度：喂料段至机头分别为240℃、240℃、245℃、250℃、255℃、260℃、260℃、260℃、260℃、265℃，螺杆转速350rpm。本专利技术的有益效果在于：在具有良好的机械性能的同时，更加增加了PPO/HIPS合金的永久抗静电性，使其在晶圆的包装、测试、运输用更加安全。具体实施方式本专利技术一种晶圆用托盘的合金抗静电材料，按重量份组成为：聚苯醚30～50份，高抗冲击聚苯乙烯10～40份，导电炭黑8～12份，苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物3～6份，硅烷偶联剂0.3～0.5份，苯乙烯-马来酸酐共聚物1～3份，导电碳黑8～12份，润滑剂0.4～1份,磷酸三苯酯3～4份，抗氧剂0.3～0.6份。本专利技术材料在具有良好的机械性能的同时，更加增加了PPO/HIPS合金的永久抗静电性，使其在晶圆的包装、测试、运输用更加安全。其中，抗氧剂包括抗氧剂1010和抗氧剂168，按重量组分为抗氧剂1010：0.1～0.2份，抗氧剂168：0.2～0.4份。其中，聚苯醚为浅黄色粉体，粒径50μm，粘度为40cm3/g。其中，苯乙烯-马来酸酐共聚物所含的马来酸酐含量为18％。本专利技术一种晶圆用托盘的合金抗静电材料的制备方法如下：先将聚苯醚20份、苯乙烯-马来酸酐共聚物、导电碳黑、润滑剂、抗氧剂，在高速搅拌机搅拌分散均匀；再加入聚苯醚10～30份、高抗冲击聚苯乙烯10～40份、苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物3～6份、磷酸三苯酯3～4份和硅烷偶联剂0.3～0.5份搅拌均匀；最后通过挤出机挤出造粒。其中，挤出机设定温度：喂料段至机头分别为240℃、240℃、245℃、250℃、255℃、260℃、260℃、260℃、260℃、265℃，螺杆转速350rpm。在双螺杆挤出机挤出造粒后，在烘干机110度、2H干燥，再通过注塑成型为托盘，该托盘具有永久的抗静电性，阻止静电的团聚，有效保护晶圆不受污染，供晶圆的包装、测试、运输用。测试本专利技术抗静电材料做的晶圆托盘表面电阻达105Ω。添加8份导电碳黑使晶圆托盘的表面电阻达107Ω，添加12份导电碳黑使晶圆托盘的表面电阻达105Ω。实施例1聚苯醚50份、高抗冲击聚苯乙烯33份、导电炭黑8份、苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物4份、硅烷偶联剂0.3份、苯乙烯-马来酸酐共聚物1份、润滑剂0.4份、磷酸三苯酯3份、抗氧剂0.3份。先将聚苯醚20份，苯乙烯-马来酸酐共聚物1份、导电碳黑8份、润滑剂0.4份、抗氧剂0.3份、先在高速搅拌机搅拌分散均匀。再加入聚苯醚30份、高抗冲击聚苯乙烯33份、磷酸三苯酯3份、SBS4份和硅烷偶联剂0.3份搅拌均匀，再挤出造粒。实施例2聚苯醚40份、高抗冲击聚苯乙烯43份、导电炭黑8份、苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物4份、硅烷偶联剂0.3份、苯乙烯-马来酸酐共聚物1份、导电碳黑8份、润滑剂0.3份、抗氧剂0.3份。实施例3聚苯醚50份、高抗冲击聚苯乙烯29份、导电炭黑12份、苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物4份、硅烷偶联剂0.3份、苯乙烯-马来酸酐共聚物1份、润滑剂0.4份、磷酸三苯酯3份、抗氧剂0.3份。实施例4聚苯醚40份、高抗冲击聚苯乙烯39份、导电炭黑12份、苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物4份、硅烷偶联剂0.3份、苯乙烯-马来酸酐共聚物1份、导电碳黑8份、润滑剂0.3份、抗氧剂0.3份。将各实施例1～4制备的材料注塑成标准试样，注塑温度设置为280-260度，实施例试样性能测试数据见下表。冲击強度拉伸強度弯曲強度弯曲模量比重表面电阻率实施例14.5578108032711.11107实施例24.0545107031531.10107实施例35.2586111031871.09105实施例44.8556109030331.10105本专利技术所述的合金抗静电材料制备的复合材料，可以降低合金材料的表面电阻，增加复合材料整体的电导率，使得所制备的材料综合性能好，强度高，表面电阻率达到了永久抗静电性。可以应用于晶圆的托盘，满足晶圆的包装、测试、运输的要求。同时对材料电阻率有一定要求的相关领域，防止静电现象产生火灾等事故的发生领域有很好的应用效果。当然，以上所述之实施例，只是本专利技术的较佳实例而已，并非限制本专利技术实施范围，故凡依本专利技术申请专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括于本专利技术申请专利范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆用托盘的合金抗静电材料，其特征在于：按重量份组成为：聚苯醚30～50份，高抗冲击聚苯乙烯10～40份，导电炭黑8～12份，苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物3～6份，硅烷偶联剂0.3～0.5份，苯乙烯‑马来酸酐共聚物1～3份，导电碳黑8～12份，润滑剂0.4～1份,磷酸三苯酯3～4份，抗氧剂0.3～0.6份。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆用托盘的合金抗静电材料，其特征在于：按重量份组成为：聚苯醚30～50份，高抗冲击聚苯乙烯10～40份，导电炭黑8～12份，苯乙烯丁二烯苯乙烯嵌段共聚物3～6份，硅烷偶联剂0.3～0.5份，苯乙烯-马来酸酐共聚物1～3份，导电碳黑8～12份，润滑剂0.4～1份,磷酸三苯酯3～4份，抗氧剂0.3～0.6份。2.根据权利要求1所述的一种晶圆用托盘的合金抗静电材料，其特征在于：抗氧剂包括抗氧剂1010和抗氧剂168，按重量组分为抗氧剂1010：0.1～0.2份，抗氧剂168：0.2～0.4份。3.根据权利要求1所述的一种晶圆用托盘的合金抗静电材料，其特征在于：聚苯醚为浅黄色粉体，粒径50μm，粘度为40cm3/g。4.一种晶圆用托盘的合金抗静电材料的制备方法，其特征在于：按重量份组成为：聚苯醚30～50份，高抗冲...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖坚俊，莫贵锋，张湘孟，
申请(专利权)人：东莞市国亨塑胶科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44