气缸制造技术

本发明专利技术提供一种气缸。气缸(10)包括缸体(21)、活塞杆(24)、活塞(25)和控制部(11)。活塞杆(24)的一端配置在缸体(21)内，另一端从缸体(21)突出。活塞(25)设置在活塞杆(24)的一端，通过在缸体(21)内的移动而使活塞杆(24)移动。控制部11)对空间(S1)和空间(S2)这两者中的一者的空间内供给被压缩了的气体并从另一者的空间内吸引气体，其中，空间(S1)是比活塞(25)靠活塞杆(24)侧的缸体(21)内的空间，空间(S2)是隔着活塞(25)位于与空间(S1)相反一侧的缸体(21)内的空间。由此能够提高气缸的推力。

Cylinder

The invention provides a cylinder. The cylinder (10) comprises a cylinder block (21), a piston rod (24), a piston (25) and a control section (11). One end of the piston rod (24) is arranged in the cylinder block (21), and the other end is protruded from the cylinder block (21). The piston (25) is arranged at one end of the piston rod (24), and the piston rod (24) is moved by moving within the cylinder block (21). The control unit 11 supplies compressed gas to one of the spaces (S1) and the other (S2) and draws gas from the other. The space (S1) is the space in the cylinder block (21) on the side of the piston rod (24) than the piston (25), and the space (S2) is the space in the cylinder block (21) on the opposite side of the piston (25) and the space (S1). Thus, the thrust of the cylinder can be increased.

【技术实现步骤摘要】
气缸
本专利技术的各个方面和实施方式涉及一种气缸。
技术介绍
动力源使用空气压的气缸用于机械臂等的各种装置的动力。在半导体的制造装置和输送装置中，作为各部位的动力也能够使用气缸。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2003－322109号公报专利技术要解决的技术问题但是，伴随近年来的制造装置和输送装置的多功能化和动作的复杂化，在这些装置设置有多个驱动装置。因此，制造装置和输送装置存在大型化的倾向，要求装置的小型化。为了实现装置的小型化，气缸的小型化也是重要的。但是，当使气缸小型化时，活塞的截面积变小，导致活塞的推力降低。因此，为了确保必须的推力，难以使气缸小型化。
技术实现思路
用于解决技术问题的技术方案本专利技术的一个方面的气缸包括缸体、活塞杆、活塞和气体控制部。活塞杆的一端配置在缸体内，另一端从缸体突出。活塞设置在活塞杆的一端，通过在缸体内的移动而使活塞杆移动。气体控制部对第一空间和第二空间这两者中的一者的空间内供给被压缩了的气体并从另一者的空间内吸引气体，其中，第一空间是比活塞靠活塞杆侧的缸体内的空间，第二空间是隔着活塞位于与第一空间相反一侧的缸体内的空间。专利技术的效果根据本专利技术的各个方面和实施方式，能够提高气缸的推力。附图说明图1是表示实施例1的气缸的一个例子的块图。图2是表示实施例1的气缸主体的一个例子的截面图。图3是表示在实施例1中推出活塞杆的情况下的压缩空气的供给和吸引方法的一个例子的图。图4是表示在实施例1中推出活塞杆的情况下的压缩空气的压力与推力的关系的一个例子的图。图5是表示在实施例1中拉回活塞杆的情况下的压缩空气的供给和吸引方法的一个例子的图。图6是表示实施例2的气缸的一个例子的块图。图7是表示实施例2的气缸主体的一个例子的截面图。图8是表示在实施例2中推出活塞杆的情况下的压缩空气的供给和吸引方法的一个例子的图。图9是表示在实施例2中推出活塞杆的情况下的压缩空气的压力与推力的关系的一个例子的图。图10是表示在实施例2中拉回活塞杆的情况下的压缩空气的供给和吸引方法的一个例子的图。图11是表示实施例2中的气缸主体的另一例的截面图。附图标记说明S1、S2、S3空间10气缸11控制部12空气供给部120调节器121除湿器122空气过滤器123罐124压缩机13排气装置14阀门20气缸主体21缸体22端口23端口24活塞杆24a一端24b另一端25活塞26密封部件27密封部件30气缸主体31缸体32端口33端口34活塞杆34a一端34b另一端35活塞36密封部件37密封部件38分隔壁39密封部件。具体实施方式本专利技术的气缸在一个实施方式中，包括缸体、活塞杆、活塞和气体控制部。活塞杆的一端配置在缸体内，另一端从缸体突出。活塞设置在活塞杆的一端，通过在缸体内的移动而使活塞杆移动。气体控制部对第一空间和第二空间这两者中的一者的空间内供给被压缩了的气体并从另一者的空间内吸引气体，其中，第一空间是比活塞靠活塞杆侧的缸体内的空间，第二空间是隔着活塞位于与第一空间相反一侧的缸体内的空间。另外，本专利技术的气缸的一个实施方式中，可以在活塞杆上沿着活塞杆设置有多个活塞。另外，还可以在缸体内的相邻的每2个活塞之间设置有分隔壁，该分隔壁在活塞杆的延伸方向上划分由该2个活塞和缸体的内壁围成的第三空间。另外，在各第三空间中，隔着分隔壁位于活塞杆的一端侧的缸体内的空间为第一空间，隔着分隔壁位于活塞杆的另一端侧的缸体内的空间为第二空间。另外，在本专利技术的气缸的一个实施方式中，气体控制部可以在使活塞杆在活塞杆的另一端离开缸体的方向上移动的情况下，从第一空间内吸引气体，向第二空间内供给被压缩了的气体。另外，在本专利技术的气缸的一个实施方式中，气体控制部可以在使活塞杆在活塞杆的另一端靠近缸体的方向上移动的情况下，向第一空间供给被压缩了的气体，从第二空间内吸引气体。另外，在本专利技术的气缸的一个实施方式中，气体控制部可以通过真空泵从缸体内的空间吸引气体。另外，在本专利技术的气缸的一个实施方式中，气体可以为干燥空气。以下，基于附图详细说明本专利技术的气缸的实施例。此外，本专利技术的气缸不限于以下的实施例。【实施例1】[气缸10的结构]图1是表示实施例1中的气缸(空气气缸)10的一个例子的块图。本实施例中的气缸10例如图1所示，包括控制部11、空气供给部12、多个阀门14－1、14－2和气缸主体20。此外，以下，在不将阀门14－1和14－2各自区别而进行统称的情况下，仅记载为阀门14。本实施例的气缸10例如在半导体晶片的处理装置中的输送半导体晶片的输送系统的驱动部、或在处理装置内使半导体晶片相对于载置台升降的推升销的驱动部等中使用。气缸(空气气缸)10是气缸的一个例子。空气供给部12包括调节器120、除湿器121、空气过滤器122、罐123和压缩机124。压缩机124将大气吸入，并将吸入的空气压缩，生成压缩空气。罐123存积由压缩机124生成的压缩空气。空气过滤器122除去存积在罐123内的压缩空气中的颗粒。除湿器121从通过空气过滤器122除去了颗粒的压缩空气中除去水分而生成干燥空气。调节器120将水分被除湿器121除去且向各自的阀门14供给的干燥空气的压力调整为规定的压力。以下，将从空气供给部12向各自的阀门14输出的干燥空气记载为压缩空气。气缸主体20具有缸体21和活塞杆24。在缸体21设置有端口22和端口23，从端口22和端口23中的一端口向缸体21内供给压缩空气，从另一端口吸引缸体21内的空气。本实施例中，缸体21内的空气被排气装置13吸引。图1的例子中，从端口22吸引缸体21内的空气，从端口23向缸体21内供给压缩空气，由此，活塞杆24被从缸体21推出。另一方面，从端口22向缸体21内供给压缩空气，从端口23吸引缸体21内的空气，由此，活塞杆24被拉回缸体21内。排气装置13例如包括DP(DryPump：干泵)、TMP(TurboMolecularPump：涡轮分子泵)等的真空泵。排气装置13能够使用在半导体晶片的处理装置中使用的真空泵。各个阀门14具有3个端口和控制端子。在各个阀门14中，一个端口与空气供给部12连接，另一个端口与排气装置13连接，剩下的一个端口与气缸主体20连接。另外，各个阀门14的控制端子与控制部11连接。各个阀门14基于从控制部11向控制端子供给的控制信号，切换第一状态和第二状态。第一状态是使与空气供给部12连接的端口和与气缸主体20连接的端口连通的状态。第二状态是使与排气装置13连接的端口和与气缸主体20连接的端口连通的状态。控制部11孔向各个阀门14的控制端子供给的控制信号，由此，控制活塞杆24相对于缸体21的推出和拉回。控制部11和多个阀门14使气体控制部的一个例子。[气缸主体20的结构]图2是表示实施例1中的气缸主体20的一个例子的截面图。本实施例中的气缸主体20包括缸体21和活塞杆24。在缸体21设置有端口22和端口23。例如图2所示，活塞杆24的一端24a配置在缸体21内，活塞杆24的另一端24b从缸体21突出。在缸体21与活塞杆24之间配置例如O环等的密封部件27，通过密封部件27，即使在活塞杆24的移动中也能够维持缸体21内的空间的气密性。在活塞杆24的一端24a设置有活塞25。活塞25通过在缸体21内移动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气缸，其特征在于，包括：缸体；活塞杆，其一端配置在所述缸体内，另一端从所述缸体突出；活塞，其设置在所述活塞杆的一端，通过所述活塞在所述缸体内的移动而使所述活塞杆移动；和气体控制部，其对第一空间和第二空间这两者中的一者的空间内供给被压缩了的气体并从另一者的空间内吸引气体，其中，所述第一空间是比所述活塞靠所述活塞杆侧的所述缸体内的空间，所述第二空间是隔着所述活塞位于与所述第一空间相反一侧的所述缸体内的空间。

【技术特征摘要】
2017.07.07 JP 2017-1338121.一种气缸，其特征在于，包括：缸体；活塞杆，其一端配置在所述缸体内，另一端从所述缸体突出；活塞，其设置在所述活塞杆的一端，通过所述活塞在所述缸体内的移动而使所述活塞杆移动；和气体控制部，其对第一空间和第二空间这两者中的一者的空间内供给被压缩了的气体并从另一者的空间内吸引气体，其中，所述第一空间是比所述活塞靠所述活塞杆侧的所述缸体内的空间，所述第二空间是隔着所述活塞位于与所述第一空间相反一侧的所述缸体内的空间。2.如权利要求1所述的气缸，其特征在于：在所述活塞杆上沿着所述活塞杆设置有多个所述活塞，在所述缸体内的相邻的每2个所述活塞之间设置有分隔壁，所述分隔壁在所述活塞杆的延伸方向上划分由该2个活塞和所述缸体的内壁围成的第三空...

【专利技术属性】
技术研发人员：上田雄大，赤尾健司，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP