弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制IDT电极中的迁移的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电基板(2)(压电体)和直接地或间接地设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具有第一金属层(4A～4D)、设置在第一金属层(4D)上的第二金属层(5)、以及设置在第二金属层(5)上的第三金属层(6)。第一金属层(4D)、第二金属层(5)、第三金属层(6)具有侧面部(4Da、5a、6a)。侧面部(4Da)包含作为第二金属层(5)侧的端部的第一端部(4Db)。侧面部(6a)包含作为第二金属层(5)侧的端部的第二端部(6c)。在IDT电极(3)的至少一部分中，从第一端部(4Db)经过第二金属层(5)的侧面部(5a)到达第二端部(6c)的沿面距离比连结第一端部(4Db)和第二端部(6c)的距离长。

Elastic wave device

The invention provides an elastic wave device capable of inhibiting migration in IDT electrodes. The elastic wave device (1) has a piezoelectric substrate (2) (piezoelectric body) and an IDT electrode (3) directly or indirectly arranged on the piezoelectric substrate (2). The IDT electrode (3) has a first metal layer (4A-4D), a second metal layer (5) disposed on the first metal layer (4D), and a third metal layer (6) disposed on the second metal layer (5). The first metal layer (4D), the second metal layer (5), and the third metal layer (6) have side parts (4Da, 5a, 6a). The side portion (4Da) comprises a first end portion (4Db) as an end portion of the side of the second metal layer (5). The side portion (6a) includes a second end portion (6c) as an end portion of the side of the second metal layer (5). In at least part of the IDT electrode (3), the distance from the first end (4Db) through the side (5a) of the second metal layer (5) to the second end (6c) is longer than the distance between the first end (4Db) and the second end (6c).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。例如，在下述的专利文献1公开了具有由层叠金属膜构成的IDT电极的弹性波装置。IDT电极是从压电基板侧起依次设置有NiCr层、Pt层、Ti层以及AlCu层的层叠金属膜。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5131117号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1中，在IDT电极中的Pt层与AlCu层之间设置有成为阻挡层的Ti层。然而，AlCu层中的Al原子有时通过表面扩散而在Ti层的侧面移动并到达Pt层。通过这样的迁移，在Pt层中，有时形成Al和Pt的合金。因此，存在弹性波装置的特性劣化的倾向。本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制IDT电极中的迁移的弹性波装置。用于解决课题的技术方案在本专利技术涉及的弹性波装置的某个广泛的方面中，具备压电体和直接地或间接地设置在所述压电体上的IDT电极，所述IDT电极具有第一金属层、设置在所述第一金属层上的第二金属层、以及设置在所述第二金属层上的第三金属层，所述第一金属层具有连结所述压电体侧的面和所述第二金属层侧的面的侧面部，所述第一金属层中的所述侧面部包含作为所述第二金属层侧的端部的第一端部，所述第二金属层具有连结所述第一金属层侧的面和所述第三金属层侧的面的侧面部，所述第三金属层具有连结所述第二金属层侧的面和与所述第二金属层侧相反侧的面的侧面部，所述第三金属层中的所述侧面部包含作为所述第二金属层侧的端部的第二端部，在所述IDT电极的至少一部分中，从所述第一端部经过第二金属层的所述侧面部到达所述第二端部的沿面距离比连结所述第一端部和所述第二端部的距离长。在本专利技术涉及的弹性波装置的某个特定的方面中，跨过所述第三金属层的俯视下的外周的整个区域，从所述第一端部经过所述第二金属层的所述侧面部到达所述第二端部的沿面距离比连结所述第一端部和所述第二端部的距离长。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述第二金属层的所述侧面部在俯视下位于比所述第二端部靠外侧，所述第二金属层的所述第一金属层侧的面包含不与所述第一金属层接触的非接触部。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述非接触部延伸的方向与所述压电体的主面延伸的方向交叉。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述非接触部延伸，使得越接近所述第二金属层的所述侧面部，越远离所述压电体。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述第二金属层具有设置在所述第一金属层上的第一阻挡层和设置在所述第一阻挡层上的第二阻挡层。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述第二阻挡层具有连结所述第一阻挡层侧的面和所述第三金属层侧的面的侧面部，所述第二阻挡层中的所述侧面部的所述第一阻挡层侧的端部的至少一部分位于比所述第二阻挡层与所述第一阻挡层接触的部分靠所述第三金属层侧。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，在所述第一阻挡层与所述第二阻挡层之间设置有金属氧化物层。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述IDT电极具有：第一汇流条以及第二汇流条，相互对置；多根第一电极指，一端与所述第一汇流条连接；以及多根第二电极指，与所述多根第一电极指相互交替插入，且一端与所述第二汇流条连接，在所述IDT电极中，将在从弹性波传播方向观察时所述第一电极指与所述第二电极指相互重叠的区域设为交叉区域，所述交叉区域具有：中央区域，弹性波的声速相对高；以及低声速部，使声速比所述中央区域低，设置在所述中央区域的电极指延伸的方向上的两端部，在所述低声速部设置有所述第三金属层。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，在所述压电体的一个主面上，设置有覆盖所述IDT电极的电介质膜。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个广泛的方面中，具备压电体和设置在所述压电体上的IDT电极，所述IDT电极具有位于所述压电体侧的第一金属层、设置在所述第一金属层上的第二金属层、以及设置在所述第二金属层上的第三金属层，所述第二金属层具有从所述第一金属层的外缘向外侧鼓出的鼓出部，所述鼓出部在与所述压电体的主面延伸的方向平行或远离所述压电体的方向上延伸。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述第二金属层具有设置在所述第一金属层上的第一阻挡层和设置在所述第一阻挡层上的第二阻挡层。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述第二阻挡层具有连结所述第一阻挡层侧的面和所述第三金属层侧的面的侧面部，所述第二阻挡层中的所述侧面部的所述第一阻挡层侧的端部的至少一部分位于比所述第二阻挡层与所述第一阻挡层接触的部分靠所述第三金属层侧。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，在所述第一阻挡层与所述第二阻挡层之间设置有金属氧化物层。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述IDT电极具有：第一汇流条以及第二汇流条，相互对置；多根第一电极指，一端与所述第一汇流条连接；以及多根第二电极指，与所述多根第一电极指相互交替插入，且一端与所述第二汇流条连接，在所述IDT电极中，将在从弹性波传播方向观察时所述第一电极指与所述第二电极指相互重叠的区域设为交叉区域，所述交叉区域具有：中央区域，弹性波的声速相对高；以及低声速部，使声速比所述中央区域低，设置在所述中央区域的电极指延伸的方向上的两端部，在所述低声速部设置有所述第三金属层。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种能够抑制IDT电极中的迁移的弹性波装置。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。图2是本专利技术的第一实施方式中的IDT电极的第一电极指的第二低声速部处的横截面图。图3是图2的放大图。图4是比较例的IDT电极的电极指的横截面图。图5是本专利技术的第一实施方式的变形例中的IDT电极的第一电极指的横截面图。图6的(a)～图6的(c)是用于说明本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的主视剖视图。图7的(a)～图7的(d)是用于说明本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的主视剖视图。图8是本专利技术的第二实施方式涉及的弹性波装置中的IDT电极的第一电极指的横截面图。图9是本专利技术的第二实施方式的变形例涉及的弹性波装置中的IDT电极的第一电极指的横截面图。图10是本专利技术的第三实施方式涉及的弹性波装置中的IDT电极的第一电极指的横截面图。图11是本专利技术的第四实施方式涉及的弹性波装置中的IDT电极的第一电极指的横截面图。图12是本专利技术的第四实施方式的变形例涉及的弹性波装置中的IDT电极的第一电极指的横截面图。图13的(a)以及图13的(b)是用于说明本专利技术的第四实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的主视剖视图。具体实施方式以下，通过参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，从而明确本专利技术。另外，需要指出的是，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。另外，在图1中，省略了后述的电介质层。弹性波装置1具有作为压电体的压电基板2。压电基板2由LiNbO3构成。另外，压电基板2也可以由LiTaO3等LiNbO3以外的压电单晶构成，或者还可以由AlN、ZnO、PZT、铌酸钾钠等适当的压电材料构成。弹性波装置1的压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：压电体；以及IDT电极，直接地或间接地设置在所述压电体上，所述IDT电极具有第一金属层、设置在所述第一金属层上的第二金属层、以及设置在所述第二金属层上的第三金属层，所述第一金属层具有连结所述压电体侧的面和所述第二金属层侧的面的侧面部，所述第一金属层中的所述侧面部包含作为所述第二金属层侧的端部的第一端部，所述第二金属层具有连结所述第一金属层侧的面和所述第三金属层侧的面的侧面部，所述第三金属层具有连结所述第二金属层侧的面和与所述第二金属层侧相反侧的面的侧面部，所述第三金属层中的所述侧面部包含作为所述第二金属层侧的端部的第二端部，在所述IDT电极的至少一部分中，从所述第一端部经过所述第二金属层的所述侧面部到达所述第二端部的沿面距离比连结所述第一端部和所述第二端部的距离长。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.07 JP 2016-1133321.一种弹性波装置，具备：压电体；以及IDT电极，直接地或间接地设置在所述压电体上，所述IDT电极具有第一金属层、设置在所述第一金属层上的第二金属层、以及设置在所述第二金属层上的第三金属层，所述第一金属层具有连结所述压电体侧的面和所述第二金属层侧的面的侧面部，所述第一金属层中的所述侧面部包含作为所述第二金属层侧的端部的第一端部，所述第二金属层具有连结所述第一金属层侧的面和所述第三金属层侧的面的侧面部，所述第三金属层具有连结所述第二金属层侧的面和与所述第二金属层侧相反侧的面的侧面部，所述第三金属层中的所述侧面部包含作为所述第二金属层侧的端部的第二端部，在所述IDT电极的至少一部分中，从所述第一端部经过所述第二金属层的所述侧面部到达所述第二端部的沿面距离比连结所述第一端部和所述第二端部的距离长。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，跨过所述第三金属层的俯视下的外周的整个区域，从所述第一端部经过所述第二金属层的所述侧面部到达所述第二端部的沿面距离比连结所述第一端部和所述第二端部的距离长。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述第二金属层的所述侧面部在俯视下位于比所述第二端部靠外侧，所述第二金属层的所述第一金属层侧的面包含不与所述第一金属层接触的非接触部。4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，所述非接触部延伸的方向与所述压电体的主面延伸的方向交叉。5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，所述非接触部延伸，使得越接近所述第二金属层的所述侧面部，越远离所述压电体。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述第二金属层具有设置在所述第一金属层上的第一阻挡层和设置在所述第一阻挡层上的第二阻挡层。7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，所述第二阻挡层具有连结所述第一阻挡层侧的面和所述第三金属层侧的面的侧面部，所述第二阻挡层中的所述侧面部的所述第一阻挡层侧的端部的至少一部分位于比所述第二阻挡层与所述第一阻挡层接触的部分靠所述第三金属层侧。8.根据权利要求6或7所述的弹性波装置，其中，在所述第一阻挡层与所述第二阻挡层之间设置有金属氧化物层。9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：木间智裕，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP