有源矩阵基板、具备其的带触摸面板的显示装置及液晶显示装置制造方法及图纸

提供降低寄生电容且可提高显示品质的有源矩阵基板、具备其的带触摸面板的显示装置以及液晶显示装置。有源矩阵基板(1)具备：多个像素电极(31)；多个对置电极(21)，其与多个像素电极(31)对置设置，并在与多个像素电极(31)之间形成电容；导电层，其相对于多个像素电极(31)而设置于与多个对置电极(21)相反的一侧；第一绝缘层(461)；及第二绝缘层(462)。第一绝缘层(461)配置在像素电极(31)与导电层之间，第二绝缘层(462)配置在像素电极(31)与对置电极(21)之间。导电层与像素电极对置设置，并具有在与像素电极(31)之间形成电容的辅助电容电极部(48)，辅助电容电极部(48)与该辅助电容电极部以外的其他部分(47)分离。

Active Matrix Substrate, Display Device with Touch Panel and LCD Device

An active matrix substrate with reduced parasitic capacitance and improved display quality, a display device with touch panel and a liquid crystal display device are provided. The active matrix substrate (1) has: a plurality of pixel electrodes (31); a plurality of opposite electrodes (21), which are set opposite to the plurality of pixel electrodes (31) and form capacitance between the plurality of pixel electrodes (31); a conductive layer which is opposite to the plurality of opposite electrodes (31); a first insulating layer (461); and a second insulating layer (462). The first insulating layer (461) is arranged between the pixel electrode (31) and the conducting layer, and the second insulating layer (462) is arranged between the pixel electrode (31) and the opposite electrode (21). The conductive layer is positioned opposite to the pixel electrode, and has an auxiliary capacitive electrode part (48) forming a capacitance between the conductive layer and the pixel electrode (31), and the auxiliary capacitive electrode part (48) is separated from other parts (47) other than the auxiliary capacitive electrode part.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有源矩阵基板、具备其的带触摸面板的显示装置及液晶显示装置
本专利技术涉及有源矩阵基板、具备其的带触摸面板的显示装置以及液晶显示装置。
技术介绍
日本特开2009-58913号公报公开有以横向电场方式驱动的液晶显示装置。该液晶显示装置在TFT(ThinFilmTransistor)基板中在像素电极的上下分别经由绝缘膜而配置有共用电极。另外，在配置于像素电极的下侧的共用电极的一部分之上设置有与配置于上侧的共用电极连接的共用电极布线。
技术实现思路
如日本特开2009-58913号公报那样，成为经由绝缘膜而由共用电极夹着像素电极的上下构造，从而与只设置其中一者的共用电极的情况相比能够增大像素电容。然而，越增大像素电容，则与像素电容对应地提高TFT的驱动能力，因此需要增大TFT的尺寸，但若增大TFT的尺寸则TFT的寄生电容增加。本专利技术目的在于提供减少寄生电容并可提高显示品质的有源矩阵基板、具备其的带触摸面板的显示装置以及液晶显示装置。本专利技术的一实施方式的有源矩阵基板具备：多个像素电极；多个对置电极，其与上述多个像素电极对置设置，并在与上述多个像素电极之间形成电容；导电层，其相对于上述多个像素电极而配置于与上述多个对置电极相反的一侧；第一绝缘层；以及第二绝缘层，所述第一绝缘层配置在一个像素电极与上述导电层之间，所述第二绝缘层配置在该一个像素电极与一个对置电极之间，上述导电层与像素电极对置设置，并具有与上述像素电极重叠而形成电容的辅助电容电极部，上述辅助电容电极部与该辅助电容电极部以外的其他部分分离。根据本专利技术，能够减少寄生电容，提高显示品质。附图说明图1是第一实施方式的带触摸面板的显示装置的剖视图。图2是表示形成于图1所示的有源矩阵基板的对置电极的配置的一个例子的示意图。图3是将图1所示的有源矩阵基板的一部分区域放大的示意图。图4A是信号线连接区域的有源矩阵基板的简要剖视图。图4B是区域的有源矩阵基板的简要剖视图。图4C是区域的有源矩阵基板的简要剖视图。图5A是对图1所示的有源矩阵基板的制造方法进行说明的图，且是表示形成有TFT、源极布线、无机绝缘膜以及有机绝缘膜的状态的剖视图。图5B是表示在图5A所示的有源矩阵基板的表面进行等离子体处理的工序的剖视图。图5C是表示在图5B所示的有机绝缘膜上成膜透明电极膜的工序的剖视图。图5D是表示从图5C所示的状态起形成导电膜和辅助电容电极的工序的剖视图。图5E是表示在图5D所示的辅助电容电极之上形成掩模，并成膜金属膜的工序的剖视图。图5F是表示从图5E所示的状态起形成信号线的工序的剖视图。图5G是表示在图5F所示的状态下成膜第一绝缘膜的工序的剖视图。图5H是表示在图5G所示的状态下形成用于连接像素电极与TFT的漏电极的开口部的工序的剖视图。图5I是表示在图5H所示的第一绝缘膜之上成膜透明电极膜的工序的剖视图。图5J是表示从图5I所示的状态起形成与漏电极连接的像素电极的工序的剖视图。图5K是表示在图5J所示的像素电极以及第一绝缘膜之上成膜第二绝缘膜的工序的剖视图。图5L是表示在图5K所示的第一绝缘膜和第二绝缘膜形成开口部的工序的剖视图。图5M是表示在图5L所示的第二绝缘膜之上成膜透明电极膜的工序的剖视图。图5N是表示从图5M所示的状态起形成对置电极的工序的剖视图。图6A是表示第一实施方式的辅助电容电极的其他的构成例的剖视图。图6B是表示第一实施方式的辅助电容电极的其他的构成例的剖视图。图7是表示有源矩阵基板的对置电极的配置的简要俯视图。图8A是用于对第二实施方式的分段的边界的像素所产生的亮度差的原因进行说明的图，且是示出各像素的充电状况的转变的图。图8B是表示图8A所示的像素的充电时的电压波形的图。图9是第三实施方式的有源矩阵基板的简要剖视图。具体实施方式本专利技术的一实施方式的有源矩阵基板具备：多个像素电极；多个对置电极，其与上述多个像素电极对置设置，并在与上述多个像素电极之间形成电容；导电层，其相对于上述多个像素电极而设置于与上述多个对置电极相反的一侧；第一绝缘层；以及第二绝缘层，上述第一绝缘层配置在一个像素电极与上述导电层之间，上述第二绝缘层配置在该一个像素电极与一个对置电极之间，上述导电层与像素电极对置设置，并具有与上述像素电极重叠而形成电容的辅助电容电极部，上述辅助电容电极部、与该辅助电容电极部以外的其他部分分离(第一个结构)。根据第一个结构，与像素电极对置而设置有导电层。导电层具有设置于与像素电极对置的位置的辅助电容电极部，且在导电层中，分离配置为辅助电容电极部和除此以外的部分。因此，与导电层未分离为辅助电容电极部和除此以外的部分的情况相比，能够防止像素电极与辅助电容电极部之间的电容必要以上地变得过大。作为其结果，能够成为与显示控制元件的驱动能力对应的适当的像素电容，能够提高显示品质。在第一个结构中，也可以设为，上述有源矩阵基板具备：多根栅极线、和与上述多根栅极线交叉的多根数据线，上述其他部分与上述数据线局部重叠，且具有比上述数据线宽的宽度(第二个结构)。根据第二个结构，与数据线重叠的导电层的部分具有比数据线宽的宽度，因此像素电极与数据线之间被导电层的部分遮挡。作为其结果，可抑制像素电极与数据线之间的电容耦合，从而能够抑制阴影等显示不良。本专利技术的一实施方式的带触摸面板的显示装置具备：第一个结构的有源矩阵基板；对置基板，其与上述有源矩阵基板对置配置；以及液晶层，其被上述有源矩阵基板与上述对置基板夹持，上述有源矩阵基板还具备：信号线，该信号线在上述导电层之上，分别与上述多个对置电极连接，并对连接的对置电极供给触摸检测用的驱动信号(第三个结构)。根据第三个结构，能够通过在辅助电容电极部与像素电极之间产生的电容而增大像素电容，因此与未设置有辅助电容电极部的情况相比，难以受到信号线与像素电极之间的寄生电容的影响。另外，导电层分离为辅助电容电极部和除此以外的部分，因此像素电极与辅助电容电极部之间的电容不会必要以上地变得过大。作为其结果，能够成为与显示控制元件的驱动能力对应的适当的像素电容，能够提高显示品质。在第三个结构中，也可以设为，上述有源矩阵基板具备：多根栅极线、和与上述多根栅极线交叉的多根数据线，上述多个对置电极在栅极线和数据线分别延伸的延伸方向上排列配置，一个辅助电容电极部经由上述第一绝缘层而与上述一个像素电极对置，并与数据线大致平行地配置(第四个结构)。根据第四个结构，相对于在栅极线和数据线的各延伸方向上排列配置的对置电极，辅助电容电极部以成为与数据线大致平行的方式与像素电极对置配置。因此，即使在数据线的延伸方向上排列的对置电极间存在电压的波动量不同的情况，也能够通过形成于像素电极与辅助用对置电极之间的电容，而减少施加于各像素的电压差。在第三或者第四个结构中，也可以设为，上述信号线的比电阻比上述导电层的比电阻小(第五个结构)。根据第五个结构，能够提高触摸位置的检测精度。在第三～第五个中的任一个结构中，也可以设为，上述有源矩阵基板具有：设置有上述多个像素电极的显示区域，一个对置电极在上述显示区域内，与一个辅助电容电极部连接(第六个结构)。根据第六个结构，能够增大像素电容。在第六个结构中，也可以设为，上述有源矩阵基板具备：形成于上述第一绝缘层和上述第二绝缘层的接触孔，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有源矩阵基板，其特征在于，具备：多个像素电极；多个对置电极，其与所述多个像素电极对置设置，并在与所述多个像素电极之间形成电容；导电层，其相对于所述多个像素电极而设置于与所述多个对置电极相反的一侧；第一绝缘层；以及第二绝缘层，所述第一绝缘层配置在一个像素电极与所述导电层之间，所述第二绝缘层配置在该一个像素电极与一个对置电极之间，所述导电层与像素电极对置设置，并具有与所述像素电极重叠而形成电容的辅助电容电极部，所述辅助电容电极部与该辅助电容电极部以外的其他部分分离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.09 JP 2016-1155651.一种有源矩阵基板，其特征在于，具备：多个像素电极；多个对置电极，其与所述多个像素电极对置设置，并在与所述多个像素电极之间形成电容；导电层，其相对于所述多个像素电极而设置于与所述多个对置电极相反的一侧；第一绝缘层；以及第二绝缘层，所述第一绝缘层配置在一个像素电极与所述导电层之间，所述第二绝缘层配置在该一个像素电极与一个对置电极之间，所述导电层与像素电极对置设置，并具有与所述像素电极重叠而形成电容的辅助电容电极部，所述辅助电容电极部与该辅助电容电极部以外的其他部分分离。2.根据权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于，所述有源矩阵基板具备：多根栅极线、和与所述多根栅极线交叉的多根数据线，所述其他部分与所述数据线局部重叠，且具有比所述数据线宽的宽度。3.一种带触摸面板的显示装置，其特征在于，具备：权利要求1所记载的有源矩阵基板；对置基板，其与所述有源矩阵基板对置配置；以及液晶层，其被所述有源矩阵基板与所述对置基板夹持，所述有源矩阵基板还具备：信号线，该信号线在所述导电层之上，分别与所述多个对置电极连接，并对连接的对置电极供给触摸检测用的驱动信号。4.根据权利要求3所述的带触摸面板的显示装置，其特征在于，所述有源矩阵基板具备：多根栅极线、和与所述多根栅极线交叉的多根数据线，所述多个对置电极在栅极线和数据线分别延伸的延伸方向上排列配置，一个辅助电容电极部经由所述第一绝缘层而与所述一个像素电极对置，并与数据线大致平行地配置。5.根据权利要求3或权利要求4所述的带触摸面板的显示装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：冨永真克，前野训子，纸谷晋吾，原义仁，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP