微波装置制造方法及图纸

一种微波装置，包括一第一基板、一第一金属层、一第二基板、一第二金属层、一密封壁、一调制材料、以及至少一填充材。第一基板具有一第一表面。第一金属层设置于第一表面上，且第一金属层包含多个开口。第二基板具有一第二表面，且与第一基板对应设置。第二金属层设置于第二表面上，第二金属层包含多个电极，电极对应开口设置。密封壁位于第一基板以及第二基板之间。密封壁、第一基板与第二基板之间形成一有源区。调制材料填充于有源区内。至少一填充材设置于有源区内。填充材的厚度大于0.3微米且小于密封壁的高度。

Microwave device

A microwave device comprises a first substrate, a first metal layer, a second substrate, a second metal layer, a sealing wall, a modulating material and at least one filling material. The first substrate has a first surface. The first metal layer is arranged on the first surface, and the first metal layer comprises a plurality of openings. The second substrate has a second surface and is set corresponding to the first substrate. The second metal layer is arranged on the second surface. The second metal layer comprises a plurality of electrodes, and the electrodes correspond to the opening. The sealing wall is located between the first substrate and the second substrate. An active region is formed between the sealing wall, the first substrate and the second substrate. The modulation material is filled in the active region. At least one filling material is arranged in the active area. The thickness of the filler is greater than 0.3 micron and less than the height of the sealing wall.

【技术实现步骤摘要】
微波装置
本公开主要关于一种微波装置，尤指一种可减少调制材料用量的微波装置。
技术介绍
在微波装置中，可使用液晶天线单元(Liquid-CrystalAntennaunit)，利用液晶的双介电系数特性，经由电场控制液晶的转动方向，会产生不同的介电系数，再经由电信号控制各液晶天线单元中液晶的排列，改变微波系统中各单元的介电参数，借以控制微波装置中微波信号的相位或振幅，经搭配后此微波装置辐射出来的波前直进方向，即为微波装置辐射方向。借由微波装置辐射方向控制，可搜寻最强微波信号，随信号来源调整收发辐射角度，增强通讯质量。此信号的来源可以是太空的卫星、地面的基站、或其他的信号源。微波装置的无线通信可应用在各种交通工具上，如飞机、游艇船只、火车、汽车、机车等，亦或是物联网、自动驾驶、无人载具等。与传统机械式相比，电子式微波装置具平整、轻薄、反应速度快等优点。然而，虽然目前的微波装置符合了其使用的目的，但尚未满足许多其他方面的要求。因此，需要提供微波装置的改进方案。
技术实现思路
本公开提供了一种微波装置，包括一第一基板、一第一金属层、一第二基板、一第二金属层、一密封壁、一调制材料、至少一填充材。第一基板具有一第一表面。第一金属层设置于第一表面上，且第一金属层包含多个开口。第二基板具有一第二表面，且与第一基板对应设置，其中第二表面邻近第一表面。第二金属层设置于第二表面上，第二金属层包含多个电极，电极对应开口设置。密封壁，位于第一基板以及第二基板之间。密封壁、第一基板与第二基板之间形成一有源区。调制材料，填充于有源区内。至少一填充材设置于有源区内。填充材的厚度大于0.3微米且小于密封壁的高度，且填充材于第一表面的投影面积与有源区于第一表面的投影面积的比值介于0.02到0.83之间。本揭露提供了一种微波装置，包括一第一基板、一第一金属层、一第二基板、一第二金属层、一密封壁、一调制材料、以及至少一填充材。第一基板具有一第一表面。第一金属层设置于第一表面上，第一金属层更包含多个开口。第二基板具有一第二表面，且与第一基板对应设置，其中第二表面邻近第一表面。第二金属层设置于第二表面上。第二金属层包含多个电极。电极对应开口设置，电极与第一金属层重叠的部分形成至少一调制区，调制区具有一第一间距d。密封壁位于第一基板以及第二基板之间。且密封壁、第一基板与第二基板之间形成一有源区。调制材料，填充于有源区内。至少一填充材设置于有源区内。填充材的厚度大于0.3微米且小于密封壁的高度。有源区于第一表面的投影面积为A，填充材的体积除以(A*d)介于0.02～0.86之间。本揭露提供了一种微波装置，包括一第一基板、一第一金属层、一第二基板、一第二金属层、一密封壁、一调制材料、以及至少一填充材。第一基板具有一第一表面。第一金属层设置于第一表面上，第一金属层更包含多个开口。第二基板具有一第二表面，且与第一基板对应设置，其中第一表面朝向第二表面。第二金属层设置于第二表面上。第二金属层包含多个电极，电极对应开口设置，且电极与第一金属层重叠的部分形成至少一调制区。密封壁位于第一基板以及第二基板之间，且密封壁、第一基板与第二基板之间形成一有源区。调制材料，填充于有源区内。填充材设置于第一基板与第二基板之间。有源区的面积为A，调制区的间距为d，调制材料的体积除以(A*d)介于0.14～0.98之间。附图说明为让本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，以下结合附图对本专利技术的具体实施方式作详细说明，其中：图1为本揭露的第一实施例的微波装置的剖视图。图2为本揭露的第一实施例的微波装置的示意图。图3为图4的BB’剖面的剖视图。图4为本揭露的第二实施例的微波装置的示意图。图5为本揭露的第三实施例的微波装置的示意图。图6A为本揭露的第四实施例的微波装置的示意图。图6B为本揭露的第四实施例的微波装置的示意图。图7为本揭露的第五实施例的微波装置的示意图。图8为本揭露的第六实施例的微波装置的示意图。图9为本揭露的第七实施例的微波装置的示意图。图10为依据图2的AA’剖面，本揭露的第八实施例的微波装置的示意图。图中元件标号说明：微波装置1辐射体10基板11传递层12支撑结构20辐射体30传递层31基板32下表面321第一表面322第一辐射信号层33第一金属层331第一保护层332调制材料40调制分子41密封壁50间隔结构60辐射体70第二辐射信号层71第二金属层711第二保护层712支撑垫713电极714基板72第二表面721第三表面722第一电路层73第一绝缘层74第二电路层75第二绝缘层76支撑结构80、80a投影面积A、a41、a42、a3、a5间距d11、d12、d3、d5叠置方向D1禁置区边缘E1突出部M1参考平面R1微波传导层S1开口S2开口S3最大厚度T13、T14最大厚度T23、T24间隙G1宽度W有源区Z1调制区Z2禁置区Z3泄漏区Z4第一区Z41第二区Z42填充区Z5非工作区Z6具体实施方式以下的说明提供了许多不同的实施例、或是例子，用来实施本揭露的不同特征。以下特定例子所描述的组件和排列方式，仅用来精简的表达本揭露，其仅作为例子，而并非用以限制本揭露。例如，第一特征在一第二特征上或上方的结构的描述包括了第一和第二特征之间直接接触，或是以另一特征设置于第一和第二特征之间，以致于第一和第二特征并不是直接接触。本说明书的第一以及第二等词汇，仅作为清楚解释的目的，并非用以对应于以及限制专利范围。此外，第一特征以及第二特征等词汇，并非限定是相同或是不同的特征。于此使用的空间上相关的词汇，例如上方或下方等，仅用以简易描述图式上的一组件或一特征相对于另一组件或特征的关系。除了图式上描述的方位外，包括于不同的方位使用或是操作的装置。图式中的形状、尺寸、厚度、以及倾斜的角度可能为了清楚说明的目的而未依照比例绘制或是被简化，仅提供说明之用。图1为本公开的第一实施例的微波装置1的剖视图。微波装置1可为一液晶天线装置。微波装置1可用以发射或接收微波信号。微波信号的频率范围可为300MHz至300GHz之间。于另一实施例中，微波信号的频率范围可为10GHz至40GHz之间。微波装置1可包括一辐射体10、多个支撑结构20、一基板32、一第一辐射信号层33、一调制材料40、一密封壁50、多个间隔结构60、一第二辐射信号层71以及一基板72。辐射体10沿一参考平面R1延伸。支撑结构20设置于辐射体10上。基板32设置于支撑结构20上。基板32可平行辐射体10。辐射体10与基板32之间具有一微波传导层S1，且微波传导层S1用以供一微波信号进行传输。于一些实施例中，微波传导层S1为气体、实质上真空、液体、绝热材料或其他适合作为微波传导层的介质或其组合。辐射体10包括一基板11以及一传递层12。基板11沿参考平面R1延伸。基板11可由刚性材质所制成。于一些实施例中，基板11的材质可为玻璃材质、金属材质、塑料材质或其他绝缘材质，但不以此为限。传递层12设置于基板11上。传递层12可为一薄层结构。传递层12可由金属材质、导电材质或其他适合作为传导层材料或其组合所制成。于一些实施例中，传递层12可覆盖基板11超过1/2或是1/3的面积。于一些实施例中，传递层12可覆盖基板11超过4/5本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微波装置，其特征在于，包括：一第一基板，具有一第一表面；一第一金属层，该第一金属层设置于该第一表面上，且该第一金属层包含多个开口；一第二基板，具有一第二表面，且与该第一基板对应设置，其中该第二表面邻近该第一表面；一第二金属层，该第二金属层设置于该第二表面上，该第二金属层包含多个电极，该多个电极对应该多个开口设置；一密封壁，位于该第一基板以及该第二基板之间，且该密封壁、该第一基板与该第二基板之间形成一有源区；以及一调制材料，填充于该有源区内；以及至少一填充材，设置于该有源区内，其中，该填充材的厚度大于0.3微米且小于该密封壁的高度，且该填充材于该第一表面的投影面积与该有源区于该第一表面的投影面积的比值介于0.02到0.83之间。

【技术特征摘要】
2017.07.06 US 62/528,999;2018.01.30 CN 201810090981.一种微波装置，其特征在于，包括：一第一基板，具有一第一表面；一第一金属层，该第一金属层设置于该第一表面上，且该第一金属层包含多个开口；一第二基板，具有一第二表面，且与该第一基板对应设置，其中该第二表面邻近该第一表面；一第二金属层，该第二金属层设置于该第二表面上，该第二金属层包含多个电极，该多个电极对应该多个开口设置；一密封壁，位于该第一基板以及该第二基板之间，且该密封壁、该第一基板与该第二基板之间形成一有源区；以及一调制材料，填充于该有源区内；以及至少一填充材，设置于该有源区内，其中，该填充材的厚度大于0.3微米且小于该密封壁的高度，且该填充材于该第一表面的投影面积与该有源区于该第一表面的投影面积的比值介于0.02到0.83之间。2.如权利要求1所述的微波装置，还包含：一第一保护层及一第一配向层依序设置于该第一金属层上；一第二保护层及一第二配向层依序设置于该第二金属层上，其中该填充材与该第一配向层及该第二配向层至少其中之一连接。3.如权利要求1所述的微波装置，更包含一第一保护层设置于该第一金属层上，以及一第二保护层设置于该第二金属层上，至少部分该填充材设置于该第一保护层与该第一金属层之间，或该第二保护层与该第二金属层之间。4.如权利要求1所述的微波装置，其特征在于，该填充材的材料包含氮化硅、单一或复合有机材料、玻璃胶、聚乙烯对苯二甲酸酯、聚酰亚胺、聚醚、聚酯薄膜、聚乙烯、聚碳酸酯、压克力、聚酸甲酯或是其组合。5.如权利要求1所述的微波装置，更包含：一第一电路层，设置在第二表面上；一第二电路层，设置在该第一电路层上；一第一绝缘层，设置在该第一电路层与该第二电路层之间；一第二保护层，设置在该第一绝缘层上；以及一第二绝缘层，设置在该第二保护层与该第一绝缘层之间，其中该填充材的厚度大于该第二保护层、该第一绝缘层与该第二绝缘层的厚度总合。6.如权利要求1所述的微波装置，其特征在于，该有源区包括:多个调制区，该多个调制区为该多个电极与该第一金属层重叠的区域；多个泄漏区，该多个泄漏区为该多个开口于一叠置方向上所对应的区域，每一该多个泄漏区包含一第一区与至少一第二区，该第一区为该多个开口的一与对应的该多个电极的一重叠的部分，该第二区为该多个开口的一与对应的该多个电极的一不重叠的部分；以及一非工作区，该非工作区为该有源区内扣除该多个调制区、该多个泄漏区及该多个间隙结构的部分；其中，该填充材包括多个间隙结构及多个突出部，设置于该有源区内，且位于该第一基板与该第二基板之间，其中，该多个第一区的投影面积为a41，该多个第二区的投影面积为a42，该多个调制区的投影面积为a3，该非工作区的投影面积为a5，该多个第一区的间距为d11，该多个第二区的间距为d12，该多个调制区的间距为d3，该多个突出部设置于该非工作区中，该非工作区的最小间距d5位于下列公式范围内。7.一种微波装置，其特征在于，包括：一第一基板，具有一第一表面；一第一金属层，设置于该第一表面上，该第一金属层更包含多个开口；一第二基板，具有一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宜音，丁景隆，何家齐，林宜宏，
申请(专利权)人：群创光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71