The invention belongs to the technical field of detectors, in particular to a substrate for terahertz wave detectors and a preparation method thereof. The Al-Ga-N/Ga-N high electron mobility field effect transistor (HEMT) is used as the basic structure to fabricate Al-Ga-N/Ga-N layers by substrate design and epitaxy. Then the active area mesa, gate dielectrics, ohmic contact windows and electrodes are fabricated. The two-dimensional electron gas in the field effect transistor has high electron concentration and mobility. The THz wave can be realized at room temperature. A high-speed, high-sensitivity and high signal-to-noise ratio (SNR) detection device is used to detect terahertz wave.
【技术实现步骤摘要】
太赫兹波探测器用衬底及其制备方法本专利技术属于专利技术名称为太赫兹波探测器及其制备方法、申请日为2017年6月26日、申请号为201710495198.9专利技术申请的分案申请,为产品及制备技术部分。
本专利技术属于探测器
,具体涉及一种太赫兹波探测器用衬底及其制备方法。
技术介绍
太赫兹(Terahertz,THz)辐射是对一个特定波段的电磁辐射的统称,通常是指频率在0.1THz~10THz(波长在3mm~30um)范围内的电磁波,它在电磁波谱中位于微波和红外辐射之间。在电子学领域里,这一波段的电磁波又被称做毫米波和亚毫米波;而在光谱学领域,它也被称为远红外线。太赫兹辐射之所以引起我们浓厚的兴趣,是因为它具有很多独特的性质和广泛的应用前景。太赫兹波辐射源具有:宽频性、透视性、安全性等特性,所以它在物理、化学、生物医学等基础领域,以及有无损成像、安全检查、光谱分析和雷达通讯方面有着重要的应用前景。和太赫兹辐射源一样,太赫兹探测也是太赫兹科技中的另一关键技术,也是太赫兹技术应用投入到实际应用的另一关键环节。目前,太赫兹信号探测技术从原理上可分为相干脉冲时域连续波探测技术和非相干直接能量探测技术两类。基于相干技术的太赫兹脉冲时域连续波探测技术采用与太赫兹脉冲生成相类似的方式进行相干探测,一类探测方法称为太赫兹时域光谱技术;另一类在太赫兹波低频端选用超外差式探测器。主要探测方法有热辐射探测法、傅里叶变换光谱法、时域光谱法、外差式探测法以及太赫兹量子阱红外光子探测。在太赫兹波段的开发和利用中,探测太赫兹信号具有举足轻重的意义。因为,一方面,由于太赫兹辐射源输 ...
【技术保护点】
1.一种太赫兹波探测器用衬底的制备方法,包括以下步骤:(1)在氮气保护下,混合六氯铱酸铵、二辛基锡、九水合硝酸铝、乙醇和丙酸;然后回流搅拌5分钟,然后加入氢氧化钾甲醇溶液与过氧苯甲酸叔丁酯;反应10分钟后自然冷却至室温,加入乙酸乙酯聚沉离心;将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系;然后加入乙酸锰、硝酸钴、水,搅拌10分钟加入三茂钐,搅拌1小时,得到支撑层前驱体;(2)在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁,50℃搅拌1小时,然后加入4,4‑二氨苯基甲烷、正硅酸乙酯,回流搅拌10分钟,然后浓缩得到固含量80%的浓缩物;将浓缩物进行超重力处理;然后冷冻干燥,得到纳米粉;所述超重力处理的转速为35000~40000rpm;浓缩物的流量为80~90mL/min;(3)将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮,回流搅拌20分钟后加入单硬脂酸甘油酯与二苯基硅二醇,继续搅拌10分钟,然后加入石蜡,搅拌30分钟,得到隔离层前驱体;(4)将纳米粉加入隔离层前驱体中,搅拌5分钟后加入碳纳米管,搅拌10分钟得到加强层前驱体;(5)在耐热基底上依次涂覆隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体,得到衬底;每次涂 ...
【技术特征摘要】
1.一种太赫兹波探测器用衬底的制备方法,包括以下步骤:(1)在氮气保护下,混合六氯铱酸铵、二辛基锡、九水合硝酸铝、乙醇和丙酸;然后回流搅拌5分钟,然后加入氢氧化钾甲醇溶液与过氧苯甲酸叔丁酯;反应10分钟后自然冷却至室温,加入乙酸乙酯聚沉离心;将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系;然后加入乙酸锰、硝酸钴、水,搅拌10分钟加入三茂钐,搅拌1小时,得到支撑层前驱体;(2)在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁,50℃搅拌1小时,然后加入4,4-二氨苯基甲烷、正硅酸乙酯,回流搅拌10分钟,然后浓缩得到固含量80%的浓缩物;将浓缩物进行超重力处理;然后冷冻干燥,得到纳米粉;所述超重力处理的转速为35000~40000rpm;浓缩物的流量为80~90mL/min;(3)将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮,回流搅拌20分钟后加入单硬脂酸甘油酯与二苯基硅二醇,继续搅拌10分钟,然后加入石蜡,搅拌30分钟,得到隔离层前驱体;(4)将纳米粉加入隔离层前驱体中,搅拌5分钟后加入碳纳米管,搅拌10分钟得到加强层前驱体;(5)在耐热基底...
【专利技术属性】
技术研发人员:班建民,孙云飞,罗恒,田学农,
申请(专利权)人:苏州科技大学,
类型:发明
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。