晶圆传输机构制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆传输机构，晶圆传输机构包括：支架；至少一个晶圆传输装置，其在支架的垂直方向间隔设置；所述晶圆传输装置包括晶圆托架及平移滑轨，平移滑轨设置在支架上，晶圆托架可移动的设置在平移滑轨上，所述晶圆托架在垂直方向上间隔设置。根据本发明专利技术的晶圆传输机构，结构简单，传输效率高，稳定性好。

Wafer transmission mechanism

The invention discloses a wafer transmission mechanism, which comprises a support; at least one wafer transmission device, which is arranged in the vertical direction interval of the support; the wafer transmission device includes a wafer bracket and a smooth rail, the smooth rail is arranged on the support, the wafer bracket is movably arranged on the smooth rail, and the wafer bracket is arranged in the vertical direction interval. \u3002 According to the invention, the wafer transmission mechanism has simple structure, high transmission efficiency and good stability.

【技术实现步骤摘要】
晶圆传输机构
本专利技术涉及化学机械抛光领域，尤其是涉及一种晶圆传输机构。
技术介绍
相关技术中，晶圆的传输一般采用机械手来完成，而机械手的结构复杂，制造成本高，且传输效率低。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种晶圆传输机构，该晶圆传输机构的结构简单，传输效率高，稳定性好。根据本专利技术的晶圆传输机构包括支架；支架；至少一个晶圆传输装置，其在支架的垂直方向间隔设置；所述晶圆传输装置包括晶圆托架及平移滑轨，平移滑轨设置在支架上，晶圆托架可移动的设置在平移滑轨上，所述晶圆托架在垂直方向上间隔设置。根据本专利技术的晶圆传输机构，每个晶圆托架的移动可以独立运动，不同的晶圆托架可以朝向不同的方向移动，由于多个晶圆传输机构在垂直方向上间隔设置，使不同的晶圆托架在移动过程中不会发生干涉，使晶圆传输机构可以同时传输多个晶圆，且多个晶圆的传输过程相互独立不受影响，提高了晶圆传输机构的传输效率，且晶圆传输结构的可靠性高。根据本专利技术的一个实施例，所述晶圆传输装置包括至少一对晶圆托架。根据本专利技术的一个实施例，每个所述晶圆托架上设置有连接件，所述连接件的自由端可滑动地设置在对应的所述平移滑轨上。根据本专利技术的一个实施例，所述平移滑轨上设置有滑槽，每个所述连接件的自由端设置有与对应的所述滑槽配合的滑块。根据本专利技术的一个实施例，所述移动滑轨的一端构造为停放端，所述晶圆传输机构还包括：保湿组件，所述保湿组件设置在所述支架上且适于在所述晶圆托架移动至所述停放端时对所述晶圆托架上的晶圆进行保湿。根据本专利技术的一个实施例，所述保湿组件包括：安装架，所述安装架固定在所述支架上；喷液模块，所述喷液模块设置在所述安装架上且所述喷液模块的喷液口朝上设置。根据本专利技术的一个实施例，所述喷液口为多个，且多个所述喷液口中的至少部分的朝向不同。根据本专利技术的一个实施例，多个所述喷液口中的至少部分朝向所述平移滑轨上远离所述停放端的一端。根据本专利技术的一个实施例，所述安装架的上表面上设置有接水槽。根据本专利技术的一个实施例，每个所述晶圆传输装置的上侧设置有防尘板，每个所述晶圆传输装置的下侧设置有挡水板。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是根据本专利技术实施例的晶圆传输机构的结构示意图；图2是根据本专利技术实施例的晶圆托架与导轨的连接示意图；图3是根据本专利技术实施例的晶圆托架的结构示意图；图4是根据本专利技术实施例的保湿组件的结构示意图。附图标记：晶圆传输机构100，支架110，平移滑轨120，导轨121，晶圆托架总成130，晶圆托架131，支撑件132，导柱132晶圆托架，连接件133，支撑托盘134，保湿组件140，安装架141，接水槽141晶圆托架，喷液模块142，喷液口142晶圆托架，防尘板150，挡水板160，停放端101。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。下面参考图1-图4描述根据本专利技术实施例的晶圆传输机构100。如图1所示，晶圆传输机构100包括支架110和至少一个晶圆传输装置，多个晶圆传输装置在支架110的垂直方向上间隔设置，晶圆传输装置包括晶圆托架131和平移滑轨120，平移滑轨120设置在支架110上，晶圆托架131可移动地设置在平移滑轨120上，晶圆托架31在垂直方向上间隔设置。多个晶圆传输装置在垂直方向上间隔设置，减小了晶圆传输机构100所占用的空间，一个晶圆传输机构100上可以设置有多个晶圆传输装置，提高了晶圆传输机构100的传输效率。其中，每个晶圆传输装置中的晶圆托架131可以为独立移动，每个晶圆传输装置之间的移动互不影响，保证了晶圆传输装置的移动可靠性，提高了晶圆传输机构的晶圆传输效率。根据本专利技术的一个实施例，每个晶圆传输装置包括至少一对晶圆托架131，在每个晶圆传输装置中的多个晶圆托架131可以位于同一水平层内，且每个晶圆托架131均可移动地设置在平移滑轨120的同一侧，例如多个晶圆托架131均设置在平移滑轨120的下侧，以便于晶圆托架131的制造和安装，多个晶圆托架131在垂直方向上间隔设置以使多个晶圆托架131可在垂直方向上重叠。晶圆放置在晶圆托架131上，并随着晶圆托架131的移动而移动，多个晶圆托架131均在支架110的同一水平层内移动，以减小晶圆传输机构100所占用的空间，并且多个支撑件132可以在垂直方向上重叠，使多个晶圆托架131在移动过程中不会相互干涉，提高了晶圆传输机构100的可靠性。进一步地，每一个晶圆托架131的移动独立，不同的晶圆托架131的移动方向可以不同，以将晶圆传输到指定的位置，使晶圆的传输更加高效，简化了生产线的布置。根据本专利技术的晶圆托架131包括支撑件132，支撑件132的形状可以与晶圆的形状相同，以适于对晶圆进行支撑，使晶圆可以稳定地设置在晶圆托架总成131上。根据本专利技术的晶圆传输机构100中，每个晶圆托架131的移动可以独立运动，不同的晶圆托架131可以朝向不同的方向移动，由于多个晶圆传输装置在垂直方向上间隔设置，使不同的晶圆托架131在移动过程中不会发生干涉，使晶圆传输机构100可以同时传输多个晶圆，且多个晶圆的传输过程相互独立不受影响，提高了晶圆传输机构100的传输效率，且晶圆传输结构100的可靠性高。根据本专利技术的一个实施例，晶圆传输机构100还包括平移滑轨120，平移滑轨120设置在支架110上，晶圆托架131上设置有连接件133，连接件133的自由端可滑动地设置在平移滑轨上，平移滑轨120上设置有滑槽，每个连接件133的自由端设置有与对应的滑槽配合的滑块。根据本专利技术的一个实施例，晶圆输送装置为多组，且多组晶圆输送装置在垂直方向上间隔设置。多组晶圆传输装置在支架的垂直方向上间隔设置可以使每组晶圆传输装置的工作流程独立，避免晶圆传输装置之间的相互干涉，提高了晶圆传输机构的传输效率，使晶圆传输机构可以实现多个组的晶圆传输。根据本专利技术的一个实施例，每个晶圆托架上131上设置有连接件133，连接件133的自由端可滑动地设置在对应的平移滑轨120上，在支架110上设置有多组平移滑轨120，每组平移滑轨120上设置有多个导轨121，多个导轨121与晶圆托架131一一对应，且每个晶圆托架131可移动地设置在对应的导轨121上，每组平移滑轨120中的多个导轨121处于同一水平层内，支架110是本专利技术的晶圆传输机构100的框架结构，支架110可以有效地支撑平移滑轨120，每个晶圆托架131可以在对应的导轨121上移动，以实现晶圆的高效传输。进一步地，在每个连接件133的自由端设置有与对应的导轨配合的滑块，以适于连接件133可以在导轨121上移动，具体地，滑块可以与导轨121构造为伺服导轨，在连接件133的自由端设置有与滑块固定连接的支撑托盘134，支撑托盘134适于与滑块固定连接，以使晶圆托架131与平移滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆传输机构，其特征在于，包括：支架；至少一个晶圆传输装置，其在支架的垂直方向间隔设置；所述晶圆传输装置包括晶圆托架及平移滑轨，平移滑轨设置在支架上，晶圆托架可移动的设置在平移滑轨上，所述晶圆托架在垂直方向上间隔设置。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传输机构，其特征在于，包括：支架；至少一个晶圆传输装置，其在支架的垂直方向间隔设置；所述晶圆传输装置包括晶圆托架及平移滑轨，平移滑轨设置在支架上，晶圆托架可移动的设置在平移滑轨上，所述晶圆托架在垂直方向上间隔设置。2.根据权利要求1所述的晶圆传输机构，其特征在于，所述晶圆传输装置包括至少一对晶圆托架。3.根据权利要求2所述的晶圆传输机构，其特征在于，每个所述晶圆托架上设置有连接件，所述连接件的自由端可滑动地设置在对应的所述平移滑轨上。4.根据权利要求3所述的晶圆传输机构，其特征在于，所述平移滑轨上设置有滑槽，每个所述连接件的自由端设置有与对应的所述滑槽配合的滑块。5.根据权利要求1所述的晶圆传输机构，其特征在于，所述移动滑轨的一端构造为停放端，所述晶圆传输机构还包括：保湿组件，所述保湿...

【专利技术属性】
技术研发人员：王剑，许振杰，王同庆，赵德文，路新春，
申请(专利权)人：清华大学，天津华海清科机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11