图像测量装置制造方法及图纸

一种图像测量装置，包括图像拾取单元、安装单元和判断单元。图像拾取单元捕获测量目标。测量目标安装在安装单元上，安装单元能够相对于图像拾取单元移动。判断单元基于与预定时间内图像拾取单元与安装单元之间的相对位置相关的信息来判断图像拾取单元捕获测量图像是否可能。

Image measuring device

An image measuring device includes an image pickup unit, an installation unit and a judgment unit. The image pickup unit captures the measurement target. The measurement target is mounted on the installation unit, which can move relative to the image pickup unit. The judgment unit determines whether it is possible for the image pickup unit to capture the measured image based on the information related to the relative position between the image pickup unit and the installation unit in a predetermined time.

【技术实现步骤摘要】
图像测量装置相关申请的交叉引用本申请要求于2017年7月4日提交的日本优先权专利申请JP2017-130974的权益，其全部内容通过引用结合于此。
本专利技术涉及图像测量装置。
技术介绍
从过去，已知在移动图像拾取范围的同时捕获测量目标的技术。例如，日本专利申请特开2013-171425号(以下称为专利文献1)描述了一种用于通过移动工作台来生成工件的合成图像的图像处理装置。在专利文献1中，其上放置工件的工作台在X轴方向和Y轴方向上适当地移动，并且在相应的移动位置捕获工件。所捕获的工件的图像通过图像匹配处理合成，从而生成工件的合成图像。因此，在比单拍图像拾取范围更宽的范围内生成工件的图像变得可能(专利文献1的说明书中的段落[0010]、[0017]和[0020]，图5等等)。另外，日本专利申请特开平10-31165号(以下称为专利文献2)描述了一种扫描型激光显微镜，其检测其上放置样本的工作台在Z方向上的振动。在专利文献2中，通过激光长度测量设备来测量工作台与物镜之间的相对距离，并且检测Z方向上的振动。通过监视工作台在Z方向上的振动，生成没有图像模糊的图像数据(参见专利文献2的说明书中的段落[0014]、[0024]和[0028]，图1，等等)。
技术实现思路
在移动图像拾取范围的同时捕获测量目标时，避免工作台的振动等的影响是重要的。需要能够在抑制这种振动等的影响的同时准确捕获测量目标的技术。鉴于上述情况，本专利技术的目的是提供一种图像测量装置，该图像测量装置能够在伴随有图像拾取范围的移动的观察中准确地捕获测量目标。为了实现上述目的，根据本专利技术实施例的图像测量装置包括图像拾取单元、安装单元和判断单元。图像拾取单元捕获测量目标。在安装单元上安装测量目标，安装单元能够相对于图像拾取单元移动。判断单元基于预定时间内与图像拾取单元和安装单元之间的相对位置相关的信息来判断由图像拾取单元捕获测量图像是否可能。在该图像测量装置中，图像拾取单元和安装单元可以相对于彼此移动，并且安装在安装单元上的测量目标由图像拾取单元捕获。基于与预定时间内图像拾取单元和安装单元之间的相对位置相关的信息来判断捕获测量图像是否可能。因而，在伴随有图像拾取范围的移动的观察中准确地捕获测量目标变得可能。在预定时间内图像拾取单元和安装单元之间的相对位置的改变落入预定范围内的情况下，判断单元可以判断捕获测量图像是可能的。因而，在图像拾取单元和安装单元之间的相对振动足够小的状态下捕获测量图像变得可能。因此，准确地捕获测量目标变得可能。安装单元可以包括安装表面，测量目标将被安装在安装表面上，并且可以相对于图像拾取单元沿着与安装表面相互正交和平行的第一方向和第二方向移动。因而，沿着安装表面平面地移动图像拾取范围变得可能。因此，例如，容易地生成测量目标的合成图像等变得可能。图像测量装置还可以包括坐标检测单元，该坐标检测单元能够检测指示图像拾取单元和安装单元之间沿着第一方向的相对位置的第一坐标值以及指示图像拾取单元和安装单元之间沿着第二方向的相对位置的第二坐标值。通过基于第一坐标值和第二坐标值判断捕获可能的状态，在伴随有图像拾取范围的移动的观察中以足够的准确度捕获测量目标变得可能。在预定时间内的第一坐标值落入第一范围内并且预定时间内的第二坐标值落入第二范围内的情况下，判断单元可以判断捕获测量图像是可能的。因而，在第一方向和第二方向上的振动足够小的状态下捕获测量图像并且高度准确地捕获测量目标变得可能。第一范围和第二范围中的每一个可以是在使用用于捕获测量图像的图像拍摄位置作为参考时设置的范围。因而，高度准确地对图像拾取位置等执行移动操作变得可能。因此，例如，在期望的图像拾取位置高度准确地捕获测量目标变得可能。第一范围和第二范围可以具有相互相等的大小。这使得容易执行用于确定测量图像的捕获有可能的状态的计算等。因此，可以缩短观察所需的时间。判断单元可以以预定采样率获取第一坐标值和第二坐标值中的每一个，并且在与预定时间对应的数量的所有第一坐标值落入第一范围内并且与预定时间对应的数量的所有第二坐标值落入第二范围内的情况下判断测量图像的捕获是可能的。因而，例如，实时地判断第一方向和第二方向上的振动变得可能。因此，可以充分缩短观察所需的时间。与预定时间对应的数量可以是通过将通过从所述数量中减去1获得的值乘以预定采样速率获得的值变为等于或大于预定时间的数量。因而，例如可以在振动足够小的状态下捕获测量图像，并高度准确地捕获测量目标变得可能。在预定时间内第一坐标值的最大值与最小值之间的差小于第一阈值并且值预定时间内第二坐标值的最大值与最小值之间的差小于第二阈值的情况下，判断单元可以判断测量图像的捕获是可能的。因而，在第一和第二方向上的振动足够小的状态下捕获测量图像并且高度准确地捕获测量目标变得可能。第一和第二阈值可以彼此相等。这使得容易执行用于判断测量图像的捕获有可能的状态的计算等。因此，可以缩短观察所需的时间。在判断测量图像的捕获有可能的情况下，判断单元可以允许图像拾取单元捕获测量图像。因而，防止在不适合捕获测量图像的状态下捕获测量目标变得可能，因此避免由于错误捕获引起的重新拍摄等。判断单元可以在判断测量图像的捕获有可能的情况下输出用于请求图像拾取单元捕获测量图像的请求信号。因而，例如在图像拾取单元和安装单元之间的相对振动足够小的状态下捕获测量图像，并且维持高图像拾取准确度变得可能。图像测量装置还可以包括开关单元，其控制请求信号向图像拾取单元的输入。因而，例如控制图像拾取单元的图像拾取定时变得可能，因此提高装置的可操作性。开关单元可以包括操作开关，该操作开关用于执行图像拾取单元对测量图像的捕获，并且响应于对操作开关进行的操作而将从判断单元输出的请求信号输入到图像拾取单元。通过使用操作开关，在期望的定时捕获测量图像变得可能，因此提高装置的可操作性。图像测量装置还可以包括用于手动移动安装单元的操作机制。在这种情况下，操作开关可以布置在操作机制的附近。因而，执行手边的(athand)移动操作和图像拾取操作，并且因此显著提高设备的可用性。操作开关可以包括照明单元，该照明单元基于作为图像拾取单元和安装单元之间的当前相对位置的当前位置与用于捕获测量图像的图像拾取位置之间的距离以及由判断单元获得的判断结果中的至少一个而改变照明状态。因而，例如，基于照明单元的照明状态来执行移动操作、图像拾取操作等，并且发挥高可操作性变得可能。图像测量装置还可以包括通知单元，该通知单元通知由判断单元获得的判断结果。因而，例如，基于判断结果来执行移动操作和图像拾取操作变得可能，并且发挥高可操作性。通知单元可以通知图像拾取单元捕获测量图像的完成。因而，在确认测量图像的捕获已经完成之后执行移动安装单元的操作变得可能。因此，避免由于错误捕获引起的重新拍摄等，并且提高装置的可靠性。图像拾取单元可以能够捕获用于观察测量目标的观察图像。通过使用观察图像，例如，便于移动测量目标、捕获测量图像等的操作，并且可以提高装置的可操作性。图像测量装置还可以包括能够显示测量图像和观察图像的显示单元，以及控制显示单元的图像显示的显示控制单元。因而，例如在观看观察图像的同时捕获测量图像，并充分提高装置的操作性变得可能。显示控制单元可以生成辅助本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图像测量装置，包括：图像拾取单元，其捕获测量目标；安装单元，所述测量目标被安装在所述安装单元上，所述安装单元能够相对于所述图像拾取单元移动；以及判断单元，其基于在预定时间内与所述图像拾取单元和所述安装单元之间的相对位置相关的信息来判断由所述图像拾取单元捕获测量图像是否可能。

【技术特征摘要】
2017.07.04 JP 2017-1309741.一种图像测量装置，包括：图像拾取单元，其捕获测量目标；安装单元，所述测量目标被安装在所述安装单元上，所述安装单元能够相对于所述图像拾取单元移动；以及判断单元，其基于在预定时间内与所述图像拾取单元和所述安装单元之间的相对位置相关的信息来判断由所述图像拾取单元捕获测量图像是否可能。2.如权利要求1所述的图像测量装置，其中在所述预定时间内所述图像拾取单元与所述安装单元之间的相对位置的改变落入预定范围内的情况下，所述判断单元判断捕获所述测量图像是可能的。3.如权利要求1或2所述的图像测量装置，其中所述安装单元包括安装表面，所述测量目标将被安装在所述安装表面上并且相对于所述图像拾取单元沿着与所述安装表面相互正交和平行的第一方向和第二方向移动。4.如权利要求3所述的图像测量装置，还包括：坐标检测单元，能够检测指示所述图像拾取单元与所述安装单元之间沿着第一方向的相对位置的第一坐标值和指示所述图像拾取单元与所述安装单元之间沿着第二方向的相对位置的第二坐标值。5.如权利要求4所述的图像测量装置，其中在所述预定时间内所述第一坐标值落入第一范围内并且在所述预定时间内所述第二坐标值落入第二范围内的情况下，所述判断单元判断捕获所述测量图像是可能的。6.如权利要求5所述的图像测量装置，其中所述第一范围和所述第二范围中的每一个是在使用用于捕获所述测量图像的图像拾取位置作为参考的同时设置的范围。7.如权利要求6所述的图像测量装置，其中所述第一范围和所述第二范围具有相互相等的大小。8.如权利要求6或7所述的图像测量装置，其中所述判断单元以预定的采样率获取所述第一坐标值和所述第二坐标值中的每一个，并且在与所述预定时间对应的数量的全部所述第一坐标值都落入所述第一范围内并且在与所述预定时间对应的数量的全部所述第二坐标值都落入所述第二范围内的情况下判断捕获所述测量图像是可能的。9.如权利要求4所述的图像测量装置，其中在所述预定时间内所述第一坐标值的最大值与最小值之间的差...

【专利技术属性】
技术研发人员：益田纪彦，中岛优辉，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本,JP