【技术实现步骤摘要】
一种基于蓝紫光半导体激光倍频的紫外激光产生装置
本技术专利涉及紫外激光
,尤其涉及一种基于蓝紫光半导体激光倍频的紫外激光产生装置。
技术介绍
紫外、深紫外激光光源由于波长短、单光子能量高等特点,被广泛应用于机械微加工、微电子学、紫外光谱学、信息学以及医学等领域。获得紫外、深紫外激光有效的方法是采用全固态激光器进行频率变换。申请号为200810071340.8的专利技术专利,采用半导体激光泵浦激光增益介质,再通过倍频晶体以及紫外倍频晶体倍频后获得紫外激光输出。申请号为201210308980.2的专利技术专利采用波长为320~340nm的全固态紫外激光作为泵浦源,经过深紫外倍频晶体后实现了波长160~170nm的全固态深紫外激光。申请号为201320861743.9的技术专利,采用Pr3+离子激光晶体产生可见光,采用紫外倍频晶体倍频获得紫外激光。由于全固态激光成本高、结构复杂,因此采用全固态激光倍频方法获得的紫外激光器也具有成本高、结构复杂的缺点。
技术实现思路
为了解决目前全固态激光倍频获得紫外激光成本高、结构复杂的缺点,我们提出了一种成本低、结构简单的紫外激光产生装置。采用蓝紫光半导体激光器作为泵浦源,通过透镜准直和聚焦后,采用紫外倍频晶体进行倍频获得紫外激光输出。本技术提出一种基于蓝紫光半导体激光倍频的紫外激光产生装置,其特征在于沿光路方向依次设有蓝紫光半导体激光器(1)、快轴准直透镜(2)、慢轴准直透镜(3)、聚焦透镜(4)和紫外倍频晶体(5),采用蓝紫光半导体激光器作为泵浦源,沿光路方向经过快轴准直透镜对蓝紫光半导体激光的快轴进行准直,慢轴准直透镜对 ...
【技术保护点】
1.一种基于蓝紫光半导体激光倍频的紫外激光产生装置,其特征在于沿光路方向依次设有蓝紫光半导体激光器(1)、快轴准直透镜(2)、慢轴准直透镜(3)、聚焦透镜(4)和紫外倍频晶体(5),采用蓝紫光半导体激光器作为泵浦源,沿光路方向经过快轴准直透镜对蓝紫光半导体激光的快轴进行准直,慢轴准直透镜对蓝紫光半导体激光的慢轴进行准直,再经过聚焦透镜聚焦到紫外倍频晶体上,倍频后获得紫外激光输出。
【技术特征摘要】
1.一种基于蓝紫光半导体激光倍频的紫外激光产生装置,其特征在于沿光路方向依次设有蓝紫光半导体激光器(1)、快轴准直透镜(2)、慢轴准直透镜(3)、聚焦透镜(4)和紫外倍频晶体(5),采用蓝紫光半导体激光器作为泵浦源,沿光路方向经过快轴准直透镜对蓝紫光半导体激光的快轴进行准直,慢轴准直透镜对蓝紫光半导体激光的慢轴进行准直,再经过聚焦透镜聚焦到紫外倍频晶体上,倍频后获得紫外激光输出。2.如权利要求1所述的一种基于蓝紫光半导体激光倍频的紫外激光产生装置,其特征在于所述蓝紫光半导体激光器(1)作为泵浦源,波长范围为400~460nm。3.如权利要求1所述的一种基于蓝紫光半导体激光倍频的紫外激光产生装置,其特征在于所述快轴准直透镜(2)是采用一定焦距的非球面透镜或柱面透镜对蓝紫光半导体激光的快轴进行准直,快轴准直透镜(2)镀有对蓝紫光半导体激光器(1)波长范围40...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨亮,姜中元,
申请(专利权)人:华芯科技天津有限公司,
类型:新型
国别省市:天津,12
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