石英舟的上下舟自动化输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种石英舟的上下舟自动化输送装置，属于太阳能电池片制造设备技术领域。本石英舟的上下舟自动化输送装置，包括底座和固定在底座上的竖板，其特征在于，所述的竖板上设置有若干推进板，推进板上均固定有水平设置的输送导轨，竖板与每个推进板之间均设置有水平输送机构，所述的底座上设置有输送架，输送架上竖直固定有若干竖向导轨，竖向导轨上均滑动设有竖向滑块，竖向滑块与竖向导轨之间设置有第一推杆电机，竖向滑块上均固定有横向导轨，横向导轨上均滑动设有横向滑块，横向滑块与横向导轨之间设置有第二推杆电机，所述的横向滑块上固定有托舟板。本实用新型专利技术能够将载有太阳能电池片的石英舟准确运送至扩散炉中。

【技术实现步骤摘要】
石英舟的上下舟自动化输送装置
本技术属于太阳能电池片制造设备
，涉及一种输送装置，特别是一种石英舟的上下舟自动化输送装置。
技术介绍
太阳能电池片分为单晶电池片和多晶电池片，多晶电池片被广泛应用于多晶太阳能电池中。太阳能电池片的生产工艺流程较为复杂，一般可分为以下步骤：硅片检测——表面制绒及酸洗——扩散制结——去磷硅玻璃——等离子刻蚀及酸洗——镀减反射膜——丝网印刷——快速烧结等。太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850--900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了N型半导体和P型半导体的交界面，也就是PN结。由于扩散炉的内部温度达到850--900摄氏度，为了保证操作人员的安全，彻底消除安全隐患，太阳能电池片运送到扩散炉内都是采用机械装置进行运送的，同样，太阳能电池片从扩散炉内取出也是采用机械装置进行运送的。但是，现有技术中运送太阳能电池片的机械装置一般都只有推进和取出机构，而扩散炉在扩散制结时，多是采用多个扩散炉一起使用，更多的设置方式是上下层叠设置。在对上下层叠的扩散炉进行运送太阳能电池片时，太阳能电池片的上下运输以及前后定位存在较大不足。所以，对于本领域内的技术人员，还有待对现有技术运输太阳能电池片的装置进行改进，以方便太阳能电池片的垂直运输以及前后定位。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种石英舟的上下舟自动化输送装置，本技术所要解决的技术问题是如何将载有太阳能电池片的石英舟准确运送至扩散炉中。本技术的目的可通过下列技术方案来实现：石英舟的上下舟自动化输送装置，包括底座和固定在底座上的竖板，竖板的一侧设置有若干扩散炉，其特征在于，所述的竖板上设置有若干推进板，推进板与扩散炉对应设置且等高，所述的推进板上均固定有水平设置的输送导轨，所述的竖板与每个推进板之间均设置有能够带动推进板向扩散炉内运动的水平输送机构，所述的底座上设置有输送架，且输送架处于竖板的前侧，输送架上竖直固定有若干竖向导轨，竖向导轨上均滑动设有竖向滑块，所述的竖向滑块与竖向导轨之间设置有能够推动竖向滑块上下升降的第一推杆电机，所述的竖向滑块上均固定有横向导轨，横向导轨上均滑动设有横向滑块，所述的横向滑块与横向导轨之间设置有能够推动横向滑块前后运动的第二推杆电机，所述的横向滑块上固定有用于放置石英舟的托舟板。本石英舟的上下舟自动化输送装置，其工作原理是这样的：首先，在第一推杆电机的作用下，调整托舟板的高度，使托舟板的高度与竖板上推进板的高度相对应；然后，在第二推杆电机的作用下，调整托舟板的前后位置，使托舟板处于输送导轨的上方；接着，使托舟板上的石英舟刚好落入至输送导轨上；最后，在水平输送机构的作用下，将石英舟与输送导轨一起推入至扩散炉中，进行太阳能电池片的扩散制结，实现全自动化。在上述的石英舟的上下舟自动化输送装置中，所述的输送架包括左侧板和右侧板，所述的左侧板和右侧板均固定在底座上，且左侧板和右侧板处于竖板前方的两侧，右侧板上开设有若干与扩散炉相连通的进料孔。在上述的石英舟的上下舟自动化输送装置中，所述的进料孔呈圆形。在上述的石英舟的上下舟自动化输送装置中，所述的左侧板和右侧板均开设有若干竖向设置的安装槽，所述的竖向导轨均通过螺栓螺母固定在安装槽中。在上述的石英舟的上下舟自动化输送装置中，所述的水平输送机构为具有推杆和推块的第三推杆电机，第三推杆电机的机体固定在竖板上，第三推杆电机的推杆水平设置，且第三推杆电机的推块固定在推进板上。在上述的石英舟的上下舟自动化输送装置中，所述的推进板的数量为三个。在上述的石英舟的上下舟自动化输送装置中，所述的竖板上开设有若干呈长条状的滑动孔，所述的推进板的后侧均固定有滑动轴，滑动轴穿设在滑动孔中。与现有技术相比，本技术具有以下优点：首先，在第一推杆电机的作用下，可以调整托舟板的高度；然后，在第二推杆电机的作用下，可以调整托舟板的前后位置；最后，在三推杆电机的作用下，可将石英舟与输送导轨一起推入至扩散炉中，完成石英舟输送至扩散炉中，完全实现自动化。附图说明图1是本技术的结构示意图。图中，1、底座；2、竖板；3、推进板；4、输送导轨；5、左侧板；6、右侧板；7、竖向导轨；8、竖向滑块；9、第一推杆电机；10、横向导轨；11、横向滑块；12、第二推杆电机；13、托舟板；14、第三推杆电机。具体实施方式以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。如图1所示，石英舟的上下舟自动化输送装置，包括底座1和固定在底座1上的竖板2，竖板2的一侧设置有三个扩散炉，底座1上设置有输送架，且输送架处于竖板2的前侧，输送架包括左侧板5和右侧板6，左侧板5和右侧板6均固定在底座1上，且左侧板5和右侧板6处于竖板2前方的两侧，右侧板6上开设有若干与扩散炉相连通的进料孔，进料孔呈圆形。输送架上竖直固定有两根竖向导轨7，具体的，左侧板5和右侧板6均开设有一个竖向设置的安装槽，竖向导轨7均通过螺栓螺母固定在安装槽中。两根竖向导轨7上均滑动设有竖向滑块8，两个竖向滑块8与竖向导轨7之间均设置有能够推动竖向滑块8沿着竖向导轨7上下升降的第一推杆电机9，第一推杆电机9的机体均通过螺钉固定在底座1上。两个竖向滑块8上均固定有横向导轨10，两根横向导轨10上均滑动设有横向滑块11，两个横向滑块11与横向导轨10之间均设置有能够推动横向滑块11沿着横向导轨10前后运动的第二推杆电机12，第二推杆电机12的机体均通过螺钉固定在底座1上。由上描述，两个横向滑块11上固定有用于放置石英舟的托舟板13，托舟板13呈舟状，用于放置石英舟。竖板2上设置有三个推进板3，推进板3与扩散炉对应设置且等高，推进板3上均固定有水平设置的输送导轨4，竖板2与每个推进板3之间均设置有能够带动推进板3向扩散炉内运动的水平输送机构。水平输送机构为具有推杆和推块的第三推杆电机14，三个第三推杆电机14的机体均固定在竖板2上，三个第三推杆电机14的推杆均水平设置，且三个第三推杆电机14的推块均固定在推进板3上。竖板2上开设有三个呈长条状的滑动孔，推进板3的后侧均固定有滑动轴，滑动轴穿设在滑动孔中。石英舟包括舟身和处于舟身两端的立板，舟身包括两条呈圆柱状的底柱和两条呈圆柱状的侧柱，底柱的两端固定在立板的底边处，侧柱的两端固定在立板的侧边处，底柱和侧柱上均开有直线排列的卡槽，底柱的卡槽开口朝上，侧柱的卡槽开口朝内，立板呈长方体状且在立板底部两侧连接有支撑脚，立板的中部具有呈椭圆状或长条状的定位通孔，立板的外侧均固定有具有可供抓取的横杆，横杆的中部贯穿有抓取孔。底柱和侧柱的外径相同，立板上开有与底柱等径的固定孔，底柱和侧柱的两端分别嵌入在固定孔内，底柱和侧柱上开有128格卡槽，卡槽的宽度为1m本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.石英舟的上下舟自动化输送装置，包括底座和固定在底座上的竖板，竖板的一侧设置有若干扩散炉，其特征在于，所述的竖板上设置有若干推进板，推进板与扩散炉对应设置且等高，所述的推进板上均固定有水平设置的输送导轨，所述的竖板与每个推进板之间均设置有能够带动推进板向扩散炉内运动的水平输送机构，所述的底座上设置有输送架，且输送架处于竖板的前侧，输送架上竖直固定有若干竖向导轨，竖向导轨上均滑动设有竖向滑块，所述的竖向滑块与竖向导轨之间设置有能够推动竖向滑块上下升降的第一推杆电机，所述的竖向滑块上均固定有横向导轨，横向导轨上均滑动设有横向滑块，所述的横向滑块与横向导轨之间设置有能够推动横向滑块前后运动的第二推杆电机，所述的横向滑块上固定有用于放置石英舟的托舟板。

【技术特征摘要】
1.石英舟的上下舟自动化输送装置，包括底座和固定在底座上的竖板，竖板的一侧设置有若干扩散炉，其特征在于，所述的竖板上设置有若干推进板，推进板与扩散炉对应设置且等高，所述的推进板上均固定有水平设置的输送导轨，所述的竖板与每个推进板之间均设置有能够带动推进板向扩散炉内运动的水平输送机构，所述的底座上设置有输送架，且输送架处于竖板的前侧，输送架上竖直固定有若干竖向导轨，竖向导轨上均滑动设有竖向滑块，所述的竖向滑块与竖向导轨之间设置有能够推动竖向滑块上下升降的第一推杆电机，所述的竖向滑块上均固定有横向导轨，横向导轨上均滑动设有横向滑块，所述的横向滑块与横向导轨之间设置有能够推动横向滑块前后运动的第二推杆电机，所述的横向滑块上固定有用于放置石英舟的托舟板。2.根据权利要求1所述的石英舟的上下舟自动化输送装置，其特征在于，所述的输送架包括左侧板和右侧板，所述的左侧板和右侧板均固定在底座上，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪佳，张华东，何志林，周冬，崔佳利，吴伟法，张小建，李磊，吕柯林，张延君，陈鹏，栗庆义，吴孙第，
申请(专利权)人：浙江德西瑞新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33