一种硅片翻转机构制造技术

技术编号:20108275 阅读:46 留言:0更新日期:2019-01-16 10:15
本实用新型专利技术公开了一种硅片翻转机构,包括竖直设置的第一基座、第二基座及水平连接在所述第一基座和第二基座之间的横梁,在所述横梁两端的顶部分别连接有第一提拉气缸和第二提拉气缸,在所述第一提拉气缸和第二提拉气缸的驱动下,所述横梁可相对所述第一基座、第二基座上升或下降;在所述横梁前侧安装有第一支架和第二支架,一心轴连接在所述第一支架和第二支架之间,所述心轴由一旋转气缸驱动转动,在所述心轴上安装有支撑座;在所述支撑座相对的第一表面和第二表面上均设有多个真空吸盘。所述硅片翻转机构,可高效翻转硅片,自动化程度高,克服了现有人工手动翻转硅片效率低下、容易出现二次污染硅片、碎片率高的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片翻转机构
本技术涉及晶体硅太阳能电池领域,具体涉及一种硅片翻转机构。
技术介绍
太阳能光伏发电以其无污染、能源质量高、获取能源花费的时间短和供电系统工作可靠等优点赢得了较好的市场前景。在太阳能电池的生产过程中,对硅片镀膜是提高太阳能电池吸收效率的关键技术,根据硅片的光电转换发电原理,光线照射到硅片上会产生反射,硅片的光学损失会使太阳能电池的输出低于理想值,硅片镀膜技术是提高太阳能电池吸收效率的成熟技术,已在太阳能电池工业化生产中得到广泛应用,PECVD是太阳能电池片等离子体化学沉积镀膜工艺的简称,通过PECVD可在硅片表面形成一层减反射膜。在PECVD环节中,需要将硅片翻转180°以实现对硅片的正反面分别进行镀膜,现有技术中,通常采用的是人工手动翻转硅片的操作方式,效率低下,不利于自动化生产,而且容易出现二次污染硅片、碎片率高等问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于晶体硅太阳能电池制造中的硅片翻转机构,以提高硅片翻转效率。为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:提供一种硅片翻转机构,包括竖直设置的第一基座、第二基座及水平连接在所述第一基座和第二基座之间的横梁,在所述横梁两端的顶部分别连接有第一提拉气缸和第二提拉气缸,在所述第一提拉气缸和第二提拉气缸的驱动下,所述横梁可相对所述第一基座、第二基座上升或下降;在所述横梁前侧安装有第一支架和第二支架,一心轴连接在所述第一支架和第二支架之间,所述心轴由一旋转气缸驱动转动,在所述心轴上安装有支撑座;在所述支撑座相对的第一表面和第二表面上均设有多个真空吸盘,每个所述真空吸盘可吸取一片硅片。作为对上述方案的改进,在所述第一基座、第二基座上竖直设有第一导轨、第二导轨,所述第一导轨、第二导轨上分别连接有第一滑块、第二滑块,所述第一滑块、第二滑块可沿所述第一导轨、第二导轨上下滑行,所述横梁的两端部分别连接在所述第一滑块、第二滑块上。作为对上述方案的改进,所述第一提拉气缸、第二提拉气缸包括固定设置的气缸主体和插装在所述气缸主体内的气缸杆,所述气缸杆的自由端固定连接在所述横梁上,所述气缸主体驱动所述气缸杆缩回或伸出,以带动所述横梁上升或下降。作为对上述方案的改进,在所述横梁的后侧设有连杆,所述连杆的两端分别连接有第一齿轮和第二齿轮,在所述第一基座的后侧竖直设有与所述第一齿轮相啮合的第一齿条,在所述第二基座的后侧竖直设有与所述第二齿轮相啮合的第二齿条,当所述横梁上升或下降时,所述第一齿轮、第二齿轮分别相对于所述第一齿条、第二齿条向上或向下啮合转动。作为对上述方案的改进,在所述横梁的后侧间隔设置有多个支座,所述连杆穿设在所述多个支座上并可相对于所述支座转动。本技术所提供的硅片翻转机构,可高效翻转硅片,自动化程度高,克服了现有人工手动翻转硅片效率低下、容易出现二次污染硅片、碎片率高的缺陷。附图说明图1是本技术实施例中硅片翻转机构的结构示意图;图2是本技术实施例中硅片翻转机构的正视图;图3是本技术实施例中硅片翻转机构的俯视图;图4是图1的A部放大图。附图中各部件的标记如下:100-硅片;11-第一基座;110-第一导轨;111-第一滑块;12-第二基座;120-第二导轨;121-第二滑块;20-横梁;21-支座;31-第一提拉气缸;32-第二提拉气缸;310、320-气缸主体;311、321-气缸杆;41-第一支架;42-第二支架,40-心轴;43-支撑座;431-第一表面;432-第二表面;44-旋转气缸;50-真空吸盘;60-连杆;61-第一齿轮;62-第二齿轮;71-第一齿条;72-第二齿条。具体实施方式在本技术的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述,以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。本技术提供了一种硅片翻转机构,设置于硅片输送带上方,用于自动将太阳能电池硅片的正反面翻转,以便于在PECVD环节中,对硅片的正反面分别进行镀膜操作,提高生产效率。请参阅图1,图1示出了本实施例中所述硅片翻转机构的立体结构,所述硅片翻转机构包括竖直设置的第一基座11、第二基座12及水平连接在所述第一基座11和第二基座12之间的横梁20,所述横梁20可相对所述第一基座11、第二基座12竖直上升或下降。在所述横梁20两端的顶部分别连接有第一提拉气缸31和第二提拉气缸32,所述第一提拉气缸31和第二提拉气缸32从两端对所述横梁20施加竖直向上的拉力或竖直向下的推力,以使所述横梁20竖直上升或下降,可以理解的,所述第一提拉气缸31和第二提拉气缸32同步驱动所述横梁上升或下降。进一步的,请参阅图2,图2示出了所述硅片翻转机构的正视结构,在所述第一基座11、第二基座21上分别竖直设有第一导轨110、第二导轨120,所述第一导轨110、第二导轨120上分别连接有第一滑块111、第二滑块121,所述第一滑块111、第二滑块121可沿所述第一导轨110、第二导轨120上下滑行,所述横梁20的两端部分别连接在所述第一滑块111和第二滑块121上。更进一步的,所述第一提拉气缸31、第二提拉气缸32包括固定设置的气缸主体310、320和插装在所述气缸主体310、320内的气缸杆311、321,所述气缸杆311、321的自由端固定连接在所述横梁20上,所述气缸主体310、320可驱动所述气缸杆311、321缩回或伸出。具体的,当所述气缸杆311、321伸出时,从两端对所述横梁20施加竖直向下的推力,使所述横梁20竖直下降;当所述气缸杆311、321缩回时,从两端对所述横梁20施加竖直向上的拉力,使所述横梁20竖直上升。请一并参阅图1、图2和图3,图3示出了所述硅片翻转机构的俯视结构,本实施例中,在所述横梁20的前侧安装有第一支架41和第二支架42,一心轴40连接在所述第一支架41和第二支架42之间,在所述心轴40上安装有支撑座43,所述心轴40由一旋转气缸44驱动转动,以带动所述支撑座43旋转。在所述支撑座43相对的第一表面431和第二表面432上均设有多个真空吸盘50,每个所述真空吸盘50可吸取本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片翻转机构,其特征在于,包括竖直设置的第一基座、第二基座及水平连接在所述第一基座和第二基座之间的横梁,在所述横梁两端的顶部分别连接有第一提拉气缸和第二提拉气缸,在所述第一提拉气缸和第二提拉气缸的驱动下,所述横梁可相对所述第一基座、第二基座上升或下降;在所述横梁前侧安装有第一支架和第二支架,一心轴连接在所述第一支架和第二支架之间,所述心轴由一旋转气缸驱动转动,在所述心轴上安装有支撑座;在所述支撑座相对的第一表面和第二表面上均设有多个真空吸盘,每个所述真空吸盘可吸取一片硅片。

【技术特征摘要】
1.一种硅片翻转机构,其特征在于,包括竖直设置的第一基座、第二基座及水平连接在所述第一基座和第二基座之间的横梁,在所述横梁两端的顶部分别连接有第一提拉气缸和第二提拉气缸,在所述第一提拉气缸和第二提拉气缸的驱动下,所述横梁可相对所述第一基座、第二基座上升或下降;在所述横梁前侧安装有第一支架和第二支架,一心轴连接在所述第一支架和第二支架之间,所述心轴由一旋转气缸驱动转动,在所述心轴上安装有支撑座;在所述支撑座相对的第一表面和第二表面上均设有多个真空吸盘,每个所述真空吸盘可吸取一片硅片。2.根据权利要求1所述的硅片翻转机构,其特征在于,在所述第一基座、第二基座上竖直设有第一导轨、第二导轨,所述第一导轨、第二导轨上分别连接有第一滑块、第二滑块,所述第一滑块、第二滑块可沿所述第一导轨、第二导轨上下滑行,所述横梁的两端部分别连接在所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:潘加永戴秋喜
申请(专利权)人:苏州映真智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1