一种蚀刻结构的检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蚀刻结构的检测装置，涉及检测设备技术领域。该蚀刻结构的检测装置包括底座、平台、平移组件、探针组件及升降组件，所述平移组件设置于所述底座和所述平台之前，并能够驱动所述平台沿水平面上的第一方向和第二方向移动；所述探针组件设置于所述平台的上方；所述升降组件与所述探针连接，用于驱动所述探针上下移动。待检测的工件固定在平台上，平台可以相对底座在水平面上移动，探针组件设置于平台上方，通过移动平台，可以使探针组件与平台上的任一位置相对，以便对待检测工件的多处标记检测，实现对不良产品的提前拦截，避免不良产品流至客户导致客户投诉。

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻结构的检测装置
本技术涉及检测设备
，尤其涉及一种蚀刻结构的检测装置。
技术介绍
在液晶显示行业，在生产大批量的产品后，为保证品质需求，有必要增加检测装置。激光打码机是一种精密设备，为保证蚀刻的标记及图形质量满足生产需求，需要通过检测装置进行实际测量。液晶显示器中一般包括ITO(IndiumTinOxide，氧化铟锡)导电玻璃，ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡膜加工而成。在液晶显示器的加工过程中，需要通过激光打码机在ITO导电玻璃上蚀刻标记。现有的检测装置中，只能对ITO导电玻璃的指定位置处的标记进行检测，无法进行ITO导电玻璃的全幅面检测，不能保证产品蚀刻效果，一旦出现批量性不良问题，无法及时拦截产品，有流至客户以及客户投诉的风险。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种蚀刻结构的检测装置，可以对多处标记进行检测，实现对不良产品提前拦截。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种蚀刻结构的检测装置，包括底座和平台，还包括：平移组件，所述平移组件设置于所述底座和所述平台之间，并能够驱动所述平台沿水平面上的第一方向和第二方向移动；探针组件，所述探针组件设置于所述平台的上方；及升降组件，所述升降组件与所述探针连接，用于驱动所述探针上下移动。其中，所述探针组件包括两根探针。其中，两个所述探针之间的距离可调。其中，所述探针组件还包括固定板，所述固定板包括可拆卸连接的第一板和第二板，所述探针夹持固定于所述第一板和所述第二板之间。其中，所述第一板和所述第二板之间设置有多个安装孔，所述探针能选择性地与一个所述安装孔配合。其中，所述底座上设置有支撑架，所述升降组件设置于所述支撑架上，所述探针组件与所述升降组件的输出端连接。其中，所述升降组件包括气缸。其中，所述平移组件包括第一平移机构和第二平移机构，所述第一平移机构设置于所述底座，所述第一平移机构能够驱动所述平台沿所述第一方向移动，所述第二平移机构能够驱动所述平台沿所述第二方向移动。其中，所述第一平移机构包括沿所述第一方向设置于所述底座上的第一滑轨，所述第二平移机构能够沿所述第一滑轨滑动；所述第二平移机构包括沿所述第二方向设置的第二滑轨，所述平台能够沿所述第二滑轨滑动。其中，所述蚀刻结构的检测装置还包括控制组件，所述控制组件分别与所述升降组件和所述平移组件电连接。有益效果：本技术提供了一种蚀刻结构的检测装置，待检测的工件固定在平台上，平台可以相对底座在水平面上移动，探针组件设置于平台上方，通过移动平台，可以使探针组件与平台上的任一位置相对，以便对待检测工件的多处标记检测，实现对不良产品的提前拦截，避免不良产品流至客户导致客户投诉。附图说明图1是本技术提供的蚀刻结构的检查装置的结构示意图；图2是本技术提供的升降组件和探针组件的结构示意图；图3是本技术提供的固定板的爆炸图。其中：1、底座；11、支撑架；2、平台；3、探针组件；31、探针；32、第一板；321、第一凹槽；322、螺纹孔；33、第二板；331、第二凹槽；332、通孔；4、升降组件；41、输出端；5、平移组件；51、第一平移机构；52、第二平移机构。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图1所示，本实施例提供了一种蚀刻结构的检测装置，可以用于检测工件上蚀刻结构的效果，蚀刻结构可以为工件上通过激光蚀刻等方法形成的图案、文字等标记，本实施例中，以待检测工件为ITO导电玻璃为例介绍。具体地，蚀刻结构的检测装置包括底座1、设置于底座1上的平台2、升降组件4及探针组件3，升降组件4与探针组件3连接，用于驱动探针组件3上下移动。使用时，ITO导电玻璃固定在平台2上，通过升降组件4驱动探针组件3向下，使得探针组件3与ITO导电玻璃上指定的标记位置接触，以便标记位置的绝缘性能进行检测。由于ITO导电玻璃上存在多处蚀刻的标记，仅靠探针组件3的上下运动，只能对一处指定的标记进行检测，无法全幅面的检测标记，容易出现不良品入流客户而引发客户投诉的问题。为解决上述问题，本实施例中的蚀刻结构的检测装置还包括平移组件5，平移组件5设置于底座1和平台2之间，用于驱动平台2在底座1上沿水平面上的第一方向和第二方向移动。为了方便介绍，本实施例中，第一方向为图1所示左右方向，第二方向为图1所示前后方向。使用前，探针组件3位于平台2的上方，并位于底座1的中心位置。使用时，平台2通过左右和前后移动，使得平台2上蚀刻有标记的位置位于探针组件3的正下方，之后通过升降组件4驱动探针组件3下降，与ITO导电玻璃接触，以便进行检测。当需要检测其他位置的标记时，通过升降组件4将探针组件3抬起，并再次移动平台2，使得待检测的标记位置与探针组件3对齐，通过升降组件4驱动探针组件3下降实现检测。本实施例中，通过平台2的移动，可以使探针组件3与平台2上的任一位置相对，以便对待检测工件的多处标记检测，检测更加全面，实现对不良产品的提前拦截，避免不良产品流至客户导致客户投诉。具体地，平移组件5包括第一平移机构51和第二平移机构52，第一平移机构51可以实现平台2沿左右方向的移动，第二平移机构52可以实现平台2沿前后方向的移动，通过第一平移机构51和第二平移机构52可以实现平台2的两个方向的移动，从而将探针组件3与ITO导电玻璃上的任一坐标对齐。可选地，第一平移机构51和第二平移机构52可以为滑台滑轨组件、丝杠螺母机构或齿轮齿条机构等。以滑台滑轨组件为例，第一平移机构51可以包括第一滑轨，第一滑轨沿底座1的左右方向设置；第二平移机构52可以沿第一滑轨滑动，第二平移机构52可以包括沿前后方向设置的第二滑轨，第二滑轨可以与第一滑轨滑动连接，即第二滑轨作为与第一滑轨配合的滑块，平台2与第二滑轨连接。当第二滑轨沿第一滑轨滑动时，可以带动平台2沿左右方向移动；同样地，平台作为第二滑轨的滑块与第二滑轨滑动连接，即可实现平台2沿前后方向的移动。在其他实施例中，平台2相对底座1的移动也可以通过丝杠螺母机构实现。具体地，第一平移机构51包括沿左右方向设置的第一丝杠、与第一丝杠配合的第一螺母，第二平移机构52包括沿前后方向设置的第二丝杠以及与第二丝杠配合的第二螺母。其中，第一螺母可以连接有支撑板，第二丝杠设置于支撑板上，平台2与第二螺母连接。第一丝杠与第二丝杠垂直设置，通过第一丝杠的转动带动第一螺母沿左右方向移动，从而通过支撑板带动平台2沿左右方向移动；第二丝杠转动，带动第二螺母沿前后方向移动，从而带动平台2左右移动。本实施例中，探针组件3包括两根探针31，两根探针31之间可以设置有检测组件，例如电流表征件。当两根探针31与标记的两个接触点接触时，ITO导电玻璃、两根探针31和电流表征件之间形成闭合回路，通过电流表证件检测闭合回路中是否存在电流，来检测标记位置的绝缘性。其中，电流表征件可以为电流表或灯泡。本实施例中，底座1上设置有支撑架11，升降组件4固定在支撑架11上，探针组件3与升降组件4的输出端41连接，以便带动探针组件3上下移动。其中，如图2所示，升降组件4可以包括气缸，在其他本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蚀刻结构的检测装置，包括底座(1)和平台(2)，其特征在于，还包括：平移组件(5)，所述平移组件(5)设置于所述底座(1)和所述平台(2)之间，并能够驱动所述平台(2)沿水平面上的第一方向和第二方向移动；探针组件(3)，所述探针组件(3)设置于所述平台(2)的上方；及升降组件(4)，所述升降组件(4)与所述探针组件(3)连接，用于驱动所述探针组件(3)上下移动。

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻结构的检测装置，包括底座(1)和平台(2)，其特征在于，还包括：平移组件(5)，所述平移组件(5)设置于所述底座(1)和所述平台(2)之间，并能够驱动所述平台(2)沿水平面上的第一方向和第二方向移动；探针组件(3)，所述探针组件(3)设置于所述平台(2)的上方；及升降组件(4)，所述升降组件(4)与所述探针组件(3)连接，用于驱动所述探针组件(3)上下移动。2.如权利要求1所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述探针组件(3)包括两根探针(31)。3.如权利要求2所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，两个所述探针(31)之间的距离可调。4.如权利要求3所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述探针组件(3)还包括固定板，所述固定板包括可拆卸连接的第一板(32)和第二板(33)，所述探针(31)夹持固定于所述第一板(32)和所述第二板(33)之间。5.如权利要求4所述的蚀刻结构的检测装置，其特征在于，所述第一板(32)和所述第二板(33)之间设置有多个安装孔，所述探针(31)能选择性地与一个所述安装孔配合。6.如权利要求1所述的蚀刻结构的检...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋标，卢光辉，金忠盛，
申请(专利权)人：张家港康得新光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32