一种基于伽马能谱仪的自动换样设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于伽马能谱仪的自动换样设备，包括滑动机构与检修机构，所述滑动机构包括底板与自动换样机，所述底板表面开设有一体式结构的滑道，所述滑道两侧开设有限位槽，所述限位槽顶部相对于滑道两侧开设有滑动槽，且所述滑动槽内侧连接有辊轮，所述滑道顶部连接有样品托盘，所述样品托盘两侧固定有限位块；通过在滑道内开设有限位槽与滑动槽，便于使用者在存取样品时，将样品托盘移动到合适的位置进行摆放后再推入自动换样机中，避免样品摔落或受到碰撞，有效的保护了样品的安全性，在自动换样机表面连接有滑动检修门，避免自动换样机发生故障时，维修人员因检修口较小，或未能及时打开检修门导致自动换样机发生不可逆的损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种基于伽马能谱仪的自动换样设备
本技术属于换样设备
，具体涉及一种基于伽马能谱仪的自动换样设备。
技术介绍
能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用，而晶圆所用的换样设备则是基于伽马能谱仪，便于在工作的过程中，准确的将八英寸的晶圆与十二英寸的晶圆区分开并自动转换样品，节省了大量的人力资源。然而现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用的过程中仍存在一些不足之处，现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用时：1.现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用的过程中，由于样品托盘处于换样机内部，在存取样品时，可能会导致样品不慎掉落或受到碰撞，给使用者造成一定程度的麻烦。2.现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用的过程中，由于检修门较小，且不便于检修人员打开，在自动换样设备出现故障时，不便于检修人员对故障进行排查、检修，且耽误了检修进度，降低了检修人员的工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于伽马能谱仪的自动换样设备，以解决上述
技术介绍
中提出现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用的过程中，由于样品托盘处于换样机内部，在存取样品时，可能会导致样品不慎掉落或受到碰撞，给使用者造成一定程度的麻烦，现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用的过程中，由于检修门较小，且不便于检修人员打开，在自动换样设备出现故障时，不便于检修人员对故障进行排查、检修，且耽误了检修进度，降低了检修人员的工作效率的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于伽马能谱仪的自动换样设备，包括滑动机构与检修机构，所述滑动机构包括底板与自动换样机，所述底板表面开设有一体式结构的滑道，所述滑道两侧开设有限位槽，所述限位槽顶部相对于滑道两侧开设有滑动槽，且所述滑动槽内侧连接有辊轮，所述滑道顶部连接有样品托盘，所述样品托盘两侧固定有限位块，所述限位块之间相对于样品托盘内部连接有弹簧a，所述限位块顶部相对于样品托盘两侧固定有夹块，所述夹块相对于样品托盘内部的一端与限位块相接。所述自动换样机内部开设有一体式结构的横向滑轨，所述横向滑轨一侧相对于自动换样机内部连接有活动臂，所述活动臂表面开设有纵向滑轨，且所述纵向滑轨一侧连接有取样臂，所述取样臂底部相对于底板表面连接有样品托盘。优选的，所述检修机构包括滑动检修门，所述滑动检修门两侧边缘处固定有滑块，所述滑动检修门表面连接有把手，且所述滑动检修门背离把手的一面连接有密封块，所述密封块相对于滑动检修门背部固定有弹簧b，且所述把手一端与密封块相接。优选的，所述辊轮等距离排列在滑动槽内部，且所述限位块与限位槽、滑动槽相适配。优选的，所述自动换样机表面开设有一体式结构的滑槽，且所述滑槽与滑块相适配。优选的，所述滑槽之间开设有一体式结构的检修口，且所述密封块与检修口相适配。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1.通过在滑道内开设有限位槽与滑动槽，便于使用者在存取样品时，将样品托盘移动到合适的位置进行摆放后再推入自动换样机中，避免样品摔落或受到碰撞，有效的保护了样品的安全性。2.通过在自动换样机表面连接有滑动检修门，避免自动换样机发生故障时，维修人员因检修口较小或未能及时打开检修门导致自动换样机发生不可逆的损伤，有效的提高了维修人员的工作效率。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术滑动槽的结构示意图；图3为本技术样品托盘的平面图；图4为本技术滑动检修门的平面图；图中：1、自动换样机；2、滑槽；3、横向滑轨；4、活动臂；5、样品托盘；6、取样臂；7、纵向滑轨；8、底板；9、把手；10、滑动检修门；11、滑动槽；12、辊轮；13、限位槽；14、滑道；15、夹块；16、限位块；17、弹簧a；18、弹簧b；19、滑块；20、密封块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例一请参阅图1-图4，本技术提供一种技术方案：一种基于伽马能谱仪的自动换样设备，包括滑动机构与检修机构，滑动机构包括底板8与自动换样机1，底板8表面开设有一体式结构的滑道14，滑道14两侧开设有限位槽13，限位槽13顶部相对于滑道14两侧开设有滑动槽11，且滑动槽11内侧通过转轴连接有辊轮12，滑道14顶部通过滑动卡合有样品托盘5，样品托盘5两侧通过螺栓连接有限位块16，限位块16之间相对于样品托盘5内部通过螺栓连接有弹簧a17，限位块16顶部相对于样品托盘5两侧焊接有夹块15，夹块15相对于样品托盘5内部的一端与限位块16相接。自动换样机1内部开设有一体式结构的横向滑轨3，横向滑轨3一侧相对于自动换样机1内部通过卡合连接有活动臂4，活动臂4表面开设有纵向滑轨7，且纵向滑轨7一侧通过卡合连接有取样臂6，取样臂6底部相对于底板8表面通过卡合连接有样品托盘5。为了便于滑动检修门10移动，本实施例中，优选的，检修机构包括滑动检修门10，滑动检修门10两侧边缘处焊接有滑块19，滑动检修门10表面焊接有把手9，且滑动检修门10背离把手9的一面通过螺栓连接有密封块20，密封块20相对于滑动检修门10背部通过螺栓固定有弹簧b18，且把手9一端与密封块20相接。为了便于移动样品托盘5，本实施例中，优选的，辊轮12等距离排列在滑动槽11内部，且限位块16与限位槽13、滑动槽11相适配。为了便于将滑动检修门10与自动换样机1连接，本实施例中，优选的，自动换样机1表面开设有一体式结构的滑槽2，且滑槽2与滑块19相适配。为了便于检修口密封，本实施例中，优选的，滑槽2之间开设有一体式结构的检修口，且密封块20与检修口相适配。实施例二请参阅图1-图4，本技术提供一种技术方案：一种基于伽马能谱仪的自动换样设备，包括滑动机构与检修机构，滑动机构包括底板8与自动换样机1，底板8表面开设有一体式结构的滑道14，滑道14两侧开设有限位槽13，限位槽13顶部相对于滑道14两侧开设有滑动槽11，且滑动槽11内侧通过连接杆连接有辊轮12，滑道14顶部通过滑动卡合有样品托盘5，样品托盘5两侧焊接有限位块16，限位块16之间相对于样品托盘5内部焊接有弹簧a17，限位块16顶部相对于样品托盘5两侧通过卡合固定有夹块15，夹块15相对于样品托盘5内部的一端与限位块16相接。自动换样机1内部开设有一体式结构的横向滑轨3，横向滑轨3一侧相对于自动换样机1内部通过卡合连接有活动臂4，活动臂4表面开设有纵向滑轨7，且纵向滑轨7一侧通过卡合连接有取样臂6，取样臂6底部相对于底板8表面通过卡合连接有样品托盘5。为了便于滑动检修门10移动，本实施例中，优选的，检修机构包括滑动检修门10，滑动检修门10两侧边缘处通过螺栓连接有滑块19，滑动检修门10表面通过卡合固定有把手9，且滑动检修门10背离把手9的一面通过粘贴有密封块20，密封块20相对于滑动检修门10背部粘贴有弹簧b18，且把手9一端与密封块20相接。为了便于移动样品托盘5，本实施例中，优选本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于伽马能谱仪的自动换样设备，包括滑动机构与检修机构，其特征在于：所述滑动机构包括底板（8）与自动换样机（1），所述底板（8）表面开设有一体式结构的滑道（14），所述滑道（14）两侧开设有限位槽（13），所述限位槽（13）顶部相对于滑道（14）两侧开设有滑动槽（11），且所述滑动槽（11）内侧连接有辊轮（12），所述滑道（14）顶部连接有样品托盘（5），所述样品托盘（5）两侧固定有限位块（16），所述限位块（16）之间相对于样品托盘（5）内部连接有弹簧a（17），所述限位块（16）顶部相对于样品托盘（5）两侧固定有夹块（15），所述夹块（15）相对于样品托盘（5）内部的一端与限位块（16）相接；所述自动换样机（1）内部开设有一体式结构的横向滑轨（3），所述横向滑轨（3）一侧相对于自动换样机（1）内部连接有活动臂（4），所述活动臂（4）表面开设有纵向滑轨（7），且所述纵向滑轨（7）一侧连接有取样臂（6），所述取样臂（6）底部相对于底板（8）表面连接有样品托盘（5）。

【技术特征摘要】
1.一种基于伽马能谱仪的自动换样设备，包括滑动机构与检修机构，其特征在于：所述滑动机构包括底板（8）与自动换样机（1），所述底板（8）表面开设有一体式结构的滑道（14），所述滑道（14）两侧开设有限位槽（13），所述限位槽（13）顶部相对于滑道（14）两侧开设有滑动槽（11），且所述滑动槽（11）内侧连接有辊轮（12），所述滑道（14）顶部连接有样品托盘（5），所述样品托盘（5）两侧固定有限位块（16），所述限位块（16）之间相对于样品托盘（5）内部连接有弹簧a（17），所述限位块（16）顶部相对于样品托盘（5）两侧固定有夹块（15），所述夹块（15）相对于样品托盘（5）内部的一端与限位块（16）相接；所述自动换样机（1）内部开设有一体式结构的横向滑轨（3），所述横向滑轨（3）一侧相对于自动换样机（1）内部连接有活动臂（4），所述活动臂（4）表面开设有纵向滑轨（7），且所述纵向滑轨（7）一侧连接有取样臂（6），所述取样臂（6）底部相对于底板（8）表面连接有样品托盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱红伟，刘少丽，李锋，张慧，孙健，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32