一种蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置，该辅助装置包括带动晶棒旋转工装、压力传感器、激光器和支架。带动晶棒旋转工装具有两种结构，分别为支撑式和滚筒式，支撑式适用于长度较长的蓝宝石晶棒，滚筒式适用于长度较短的蓝宝石晶棒。带动晶棒旋转工装下安装压力感应器，通过外接电路与激光器连接，当晶棒放入该装置后激光器可自动打开，进入工作状态。本实用新型专利技术可实现大尺寸蓝宝石晶棒棒身在固定位置的旋转和激光器的自动启动，在晶棒缺陷检测过程中可节省人力并提高检测效率，有效地解决了传统手动旋转时产生的端面崩边问题。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置
本技术涉及一种蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置，具体涉及蓝宝石晶棒加工领域。
技术介绍
由于蓝宝石衬底基片的质量对后续GaN外延层的生长以及制备蓝光二极管的性能和成品率有很大的影响，因此超高亮度的LED要求蓝宝石衬底材料达到理想状态，即晶格完整，无任何加工缺陷。在实际生产中使用的蓝宝石晶片，都是由晶棒经过切割然后再进行研磨抛光加工制成，由于蓝宝石具有较高的硬度，其抛光速率也很低，加工需数小时，且加工后有约20%的晶片表面有较深痕迹或内部缺陷，导致返工，甚至报废。为降低加工成本，在晶棒进行多线切割前需对晶棒进行缺陷检测并标记，以便更好地对晶棒进行规划切片。传统的晶棒缺陷检测完全依靠人工手动移动晶棒和激光器，使激光束穿透整个棒身，找出缺陷位置后，使用签字笔标记，工人需不断重复拿起和放下晶棒、激光器和签字笔，严重影响检测效率。且由于现阶段晶棒发展趋向于大尺寸，导致晶棒棒身质量不断增大，更加增大检测难度。因此，设计一种用于蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置是十分必要的。
技术实现思路
本技术针对传统蓝宝石晶棒缺陷检测效率低，易导致断面崩边等问题进行研究，提供了一种蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置。本技术的目的是这样实现的：它包括带动晶棒旋转工装、压力传感器、激光器激和支架，带动晶棒旋转工装包括底座和滚动轴承，滚动轴承连接底座，压力传感器安装于带动晶棒旋转工装下方，通过外接电路连接激光器，激光器通过可以上下移动的支架支撑；带动晶棒旋转工装有两种结构形式，分别为支撑式和滚筒式，支撑式带动晶棒旋转工装底座为“凹”字型结构，并且四角连接滚动轴承轴颈，轴颈与滚动轴承内圈固定，滚动轴承外圈可转动；滚筒式带动晶棒旋转工装底座为“凹”字型结构，滚动轴承为长圆柱滚子轴承，“凹”字型底座两侧的上方连接长圆柱滚子轴承内圈，且轴承外圈可转动。本技术还有这有一些技术特征：1、所述的支撑式带动晶棒旋转工装底座长度为150mm-200mm，宽度为80mm-120mm，滚动轴承轴颈为圆柱体，长度大于滚动轴承内圈宽度10-15mm；2、所述的滚筒式带动晶棒旋转工装底座长度为100-120mm，宽度为80-120mm，长圆柱滚子轴承长度为80-100mm；3、所述的支架的上下移动幅度为100-150mm，激光束的高度高于带动晶棒旋转工装60-80mm。本技术具有两种结构形式，分别为支撑式和滚筒式，支撑式蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置：底座为“凹”字型结构，并且四角连接滚动轴承轴颈，轴颈与滚动轴承内圈固定，滚动轴承外圈可转动，带动晶棒旋转工装下安装压力传感器，该传感器通过外接电路连接激光器。该辅助装置适用于直径为4英寸-6英寸，长度大于150mm的蓝宝石晶棒。滚筒式蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置：底座为“凹”字型结构，并且在“凹”字型底座两侧的上方连接长圆柱滚子轴承内圈，且轴承外圈可转动，带动晶棒旋转工装下安装压力传感器，该传感器通过外接电路连接激光器。该辅助装置适用于直径为4英寸-6英寸，长度小于150mm的蓝宝石晶棒。该辅助装置使用时：将蓝宝石晶棒放于带动晶棒旋转工装上，通过压力传感器感应触动外接电路开关，使激光器进入工作状态，发射激光束垂直蓝宝石晶棒端面摄入晶棒棒身内，工人轻触棒身利用滚动轴承或长圆柱滚子轴承的外圈转动带动棒身转动，并上下移动激光器，达到检测到整个晶棒棒身的目的，找出缺陷位置后，使用签字笔标记。本技术的有益效果在于：（1）可实现蓝宝石晶棒棒身在固定位置的旋转和激光器的自动工作，提高晶棒检测效率。（2）可避免传统手工转动晶棒时引起的端面崩边，表面划伤等缺陷。该辅助装置更适用于大尺寸晶棒的缺陷检测。附图说明图1为本技术结构示意图；图2-4为支撑式带动晶棒旋转工装结构示意图；图5-7为滚筒式带动晶棒旋转工装结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和实施例对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。结合图1，蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置包括带动晶棒旋转工装1、压力传感器2、外接电路3、激光器4和支架5，激光器4通过可以上下移动的支架5支撑。该辅助装置使用时：将蓝宝石晶棒放于带动晶棒旋转工装上，通过压力传感器感应触动外接电路开关，使激光器进入工作状态，发射激光束垂直蓝宝石晶棒端面摄入晶棒棒身内，工人轻触棒身利用滚动轴承或长圆柱滚子轴承的外圈转动带动棒身转动，并上下移动激光器，达到检测到整个晶棒棒身的目的，找出缺陷位置后，使用签字笔标记。实施例1：结合图2-4，本实施例为支撑式带动晶棒旋转工装，结构主要包括：为“凹”字型的底座6结构，并且四角连接滚动轴承轴颈7，轴颈为圆柱体，可将滚动轴承5的轴承内圈9固定于底座上，滚动轴承外圈8可转动，带动晶棒旋转工装下安装压力传感器，该传感器通过外接电路连接激光器。支撑式带动晶棒旋转工装底座长度为180mm，宽度为100mm，滚动轴承轴颈为圆柱体，长度大于滚动轴承内圈宽度12mm；支架的上下移动幅度为120mm，激光束的高度高于带动晶棒旋转工装70mm。实施例2：结合图5-7，本实施例为滚筒式带动晶棒旋转工装，结构主要包括：为“凹”字型的底座10结构，并且在“凹”字型底座两侧的上方连接长圆柱滚子轴承11的轴承内圈13，且轴承外圈12可转动，带动晶棒旋转工装下安装压力传感器，该传感器通过外接电路连接激光器。滚筒式带动晶棒旋转工装底座长度为110mm，宽度为100mm，长圆柱滚子轴承长度为90mm；支架的上下移动幅度为140mm，激光束的高度高于带动晶棒旋转工装65mm。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置，其特征在于它包括带动晶棒旋转工装、压力传感器、激光器激和支架，带动晶棒旋转工装包括底座和滚动轴承，滚动轴承连接底座，压力传感器安装于带动晶棒旋转工装下方，通过外接电路连接激光器，激光器通过可以上下移动的支架支撑；带动晶棒旋转工装有两种结构形式，分别为支撑式和滚筒式，支撑式带动晶棒旋转工装底座为“凹”字型结构，并且四角连接滚动轴承轴颈，轴颈与滚动轴承内圈固定，滚动轴承外圈可转动；滚筒式带动晶棒旋转工装底座为“凹”字型结构，滚动轴承为长圆柱滚子轴承，“凹”字型底座两侧的上方连接长圆柱滚子轴承内圈，且轴承外圈可转动。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置，其特征在于它包括带动晶棒旋转工装、压力传感器、激光器激和支架，带动晶棒旋转工装包括底座和滚动轴承，滚动轴承连接底座，压力传感器安装于带动晶棒旋转工装下方，通过外接电路连接激光器，激光器通过可以上下移动的支架支撑；带动晶棒旋转工装有两种结构形式，分别为支撑式和滚筒式，支撑式带动晶棒旋转工装底座为“凹”字型结构，并且四角连接滚动轴承轴颈，轴颈与滚动轴承内圈固定，滚动轴承外圈可转动；滚筒式带动晶棒旋转工装底座为“凹”字型结构，滚动轴承为长圆柱滚子轴承，“凹”字型底座两侧的上方连接长圆柱滚子轴承内圈，且轴承外圈可转动。2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒缺陷检测的辅助装置，其特征在于所述的支撑式带动晶棒旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，李铁，王芳，
申请(专利权)人：哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：黑龙江,23