一种可调节大尺寸蓝宝石晶棒端面纠角固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种可调节大尺寸蓝宝石晶棒端面纠角固定装置。该装置为方台结构，包括底座、调节基板、六角螺栓、翼形螺钉、滑道、六角螺母、支柱、弧形夹紧装置、特氟龙薄膜。六角螺栓用于调节基板与水平面的角度，六角螺母用于将支柱固定在滑道的特定位置，翼形螺钉连接弧形夹紧装置用于固定晶棒。该装置设置在DX‑8BD400G型定向仪操作台中心点，通过六角螺栓调节晶棒角度。本实用新型专利技术能够快速确定蓝宝石晶棒端面晶向，定向过程中不需要操作人员手持晶棒，且晶向偏差直接通过调节基板调整，免去后续粘胶环节，操作简便、快捷、提高工作效率。

An adjustable angular fixing device for large sapphire crystal rod end face

The utility model provides an adjustable angle correction fixing device for the end face of large size sapphire crystal rod. The device is a square platform structure, including a base, an adjusting substrate, a hexagonal bolt, an airfoil screw, a slideway, a hexagonal nut, a prop, an arc clamping device and a Teflon film. Hexagonal bolts are used to adjust the angle between the base plate and the horizontal plane, hexagonal nuts are used to fix the props in the specific position of the slideway, and airfoil bolts are connected with arc clamping devices to fix the crystal rods. The device is set at the center of DX 8BD400G type directional instrument operating table, and the angle of crystal rod is adjusted by hexagonal bolts. The utility model can quickly determine the crystal orientation of the sapphire crystal bar end face, does not need the operator to hold the crystal bar in the orientation process, and the crystal orientation deviation is directly adjusted by adjusting the substrate, eliminating the follow-up viscose link, so the operation is simple, fast and improves the work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种可调节大尺寸蓝宝石晶棒端面纠角固定装置
本技术涉及蓝宝石加工领域，具体涉及一种可调节大尺寸蓝宝石晶棒端面纠角固定装置。
技术介绍
α-Al2O3单晶又称蓝宝石，俗称刚玉，是一种简单配位型氧化物晶体。由于其六方晶格结构与GaN晶体的晶格匹配好，且蓝宝石具有优异的力学性能、良好的热学性能，目前广泛应用于半导体GaN/Al2O3发光二极管(LED)的衬底材料。半导体行业降低成本最有效的方法是增大衬底尺寸，对于LED芯片来说，大尺寸衬底可以在每个MOCVD轮次中制作更多的芯片。由于LED芯片存在边缘无效区，所以直径越大，芯片数量比与直径比优势越明显，以6英寸蓝宝石衬底为例，表面积是2英寸的9倍，芯片数量确是2英寸的10.9倍。蓝宝石晶体具有各向异性的特点，在不同的方向上晶体的性质不同，在加工过程中要严格控制蓝宝石晶体的晶向。为了更好地与外延层晶格匹配，减少外延层缺陷，对蓝宝石晶棒晶向具有严格的要求，一般晶向偏差要求在3~6分。在定向过程中要手持晶棒保持水平，将端面对准测量板，旋转晶棒测量晶向偏差，随着尺寸的增大，相同长度的6英寸蓝宝石晶棒的重量是4英寸蓝宝石晶棒重量的2.25倍，定向及粘胶工序的工作方式操作难度较大。
技术实现思路
本技术是针对蓝宝石晶棒尺寸增加所产生定向及粘胶操作难度大等问题，提供一种可调节大尺寸蓝宝石晶棒端面纠角固定装置。本技术的目的是这样实现的，它为方台结构，包括底座、调节基板、六角螺栓、翼形螺钉、滑道、六角螺母、支柱、弧形夹紧装置和特氟龙薄膜，调节基板包裹在底座内侧，弧形夹紧装置通过翼形螺钉固定在支柱上，六角螺栓设置在底座的四边中点上，特氟龙薄膜设置在弧形夹紧装置内侧，六角螺栓连接调节基板，支柱通过六角螺母固定在滑道上，翼形螺钉连接弧形夹紧装置用于固定晶棒，晶棒放置在弧形夹紧装置内侧，通过翼形螺钉将晶棒固定在底座上。本技术设置在DX-8BD400G型定向仪操作台上。六角螺栓用于调节基板与水平面的角度，用于调节蓝宝石晶棒端面角度的偏差。六角螺母用于将支柱固定在滑道的特定位置，满足更大尺寸蓝宝石晶棒的使用需求。翼形螺钉连接弧形夹紧装置用于固定晶棒，弧形夹紧装置内侧设置特氟龙薄膜用于保护晶棒柱面，避免划伤，使夹具与晶棒贴合效果好，利于夹紧晶棒。在定向过程中采用DX-8BD400G型定向仪，该定向仪可竖直方向上确定端面晶向，避免手持晶棒水平定向操作难度大的问题。采用夹具固定，定向后通过调节六角螺栓调节晶向偏差后可直接过转到平面磨床进行加工。本技术还有这样一些特征：1、所述调节基板包裹在底座内侧，避免操作过程中异物进入基板和底座之间，产生误差。2、所述弧形夹紧装置通过翼形螺钉固定在支柱上，弧形夹紧装置的曲率半径与夹持晶棒的半径保持一直。3、所述六角螺栓设置在底座的四边中点上，能够更直接有效的调节基板角度。本技术的有益效果有：1、避免了水平定向由于大尺寸蓝宝石晶棒过重产生较大的操作难度，该方法及夹具在定向过程中无需手持晶棒，有效的节省人力。2、采用该固定装置，用DX-8BD400G型定向仪能够竖直方向上确定晶向偏差，同时调节六角螺栓将端面中心点的晶向调为正c向，可直接运转到平面磨床加工，节省粘胶工序，提高工作效率。3、弧形夹紧装置内侧设置一层特氟龙薄膜，能够有效防止柱面划伤。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为图1俯视图。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术进行详细说明。结合附图，本实施例一种可调节大尺寸蓝宝石晶棒端面纠角固定装置。该装置设置在DX-8BD400G型定向仪操作台上。六角螺栓3用于调节基板2与水平面的角度，用于调节蓝宝石晶棒端面角度的偏差。六角螺母6用于将支柱7固定在滑道5的特定位置，满足更大尺寸蓝宝石晶棒的使用需求。翼形螺钉4连接弧形夹紧装置8用于固定晶棒，弧形夹紧装置内侧设置特氟龙薄膜9用于保护晶棒柱面，避免划伤，使夹具与晶棒贴合效果好，利于夹紧晶棒。在定向过程中可竖直方向上确定端面晶向，避免手持晶棒水平定向操作难度大的问题。采用夹具固定，定向后通过调节六角螺栓调节晶向偏差后可直接过转到平面磨床进行加工。本实施例具体步骤如下：（1）调节六角螺母使支柱调整到所需加工晶棒尺寸的位置并固定。（2）将晶棒放置在弧形夹紧装置内侧，调节翼形螺钉将晶棒固定在底座1上。（3）将固定装置放置在DX-8BD400G型定向仪操作台上。（4）将定向仪指针落至蓝宝石晶棒中心点，调整衍射角度及接收器角度。（5）调整六角螺栓以调节基板角度，直到衍射仪电流指针偏转，顺时针旋转操作台90°，调节相应的六角螺栓直到电流指针偏转，然后将旋转操作台一周，观察电流指针偏转请款，并做出相应调节。（6）晶棒中心晶向确定后，将晶棒及固定装置运转至平面磨床进行粗磨及细磨加工。（7）完成上端面加工后，将晶棒拆卸，基板角度调至水平，对下断面进行粗磨及细磨加工。以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所做的进一步详细说明，不能认定本技术的具体实施只限于这些说明。对于具有本技术所属领域基础知识的人员来讲，可以很容易对本技术进行变更和修改，这些变更和修改都应当视为属于本技术所提交的权利要求书确定的专利保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调节大尺寸蓝宝石晶棒端面纠角固定装置，其特征在于它为方台结构，包括底座、调节基板、六角螺栓、翼形螺钉、滑道、六角螺母、支柱、弧形夹紧装置和特氟龙薄膜，调节基板包裹在底座内侧，弧形夹紧装置通过翼形螺钉固定在支柱上，六角螺栓设置在底座的四边中点上，特氟龙薄膜设置在弧形夹紧装置内侧，六角螺栓连接调节基板，支柱通过六角螺母固定在滑道上，翼形螺钉连接弧形夹紧装置用于固定晶棒，晶棒放置在弧形夹紧装置内侧，通过翼形螺钉将晶棒固定在底座上。

【技术特征摘要】
1.一种可调节大尺寸蓝宝石晶棒端面纠角固定装置，其特征在于它为方台结构，包括底座、调节基板、六角螺栓、翼形螺钉、滑道、六角螺母、支柱、弧形夹紧装置和特氟龙薄膜，调节基板包裹在底座内侧，弧形夹紧装置通过翼形螺钉固定在支柱上，六角螺栓设置在底座的四边中点上，特氟龙薄膜设置在弧形夹紧装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，李铁，阎哲华，
申请(专利权)人：哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：黑龙江,23