一种电阻率检测仪及电阻率检测方法技术

本发明专利技术公开了一种电阻率检测仪及电阻率检测方法，涉及电阻率检测技术领域。包括支撑架，以及设置在支撑架上的上工作台和下工作台，在上工作台上设置有粉末标准容器，在粉末标准容器中心设置有通孔，在下工作台中心设置有与通孔对应的承载杆，承载杆包括座体部，座体部设置在承载杆的底端，在座体部上设置有高度传感器，用于检测通孔预留的深度，在承载杆的上端设置有下电极，支撑架包括上连接板和下连接板，在上连接板上设置有加压机构，加压机构的底端设置有可升降的且与通孔对应的上电极，在下连接板上设置有压力传感器,在压力传感器与座体部之间设置有质量传感器，压力传感器、质量传感器、上电极和下电极分别与显示器电连接。

A Resistivity Detector and Resistivity Detection Method

The invention discloses a resistivity detector and a resistivity detection method, which relates to the technical field of resistivity detection. Including support frame, upper workbench and lower workbench on support frame, powder standard container is set on upper workbench, through hole is set in the center of powder standard container, bearing rod is set in the center of lower workbench corresponding to through hole, bearing rod includes seat body, seat body is set at the bottom of bearing rod, height sensor is set on seat body for inspection. The reserved depth of the through hole is measured. The upper end of the bearing rod is provided with a lower electrode. The support frame includes an upper connecting plate and a lower connecting plate. A pressure mechanism is arranged on the upper connecting plate. The bottom end of the pressure mechanism is provided with an upper electrode which can be lifted and corresponding to the through hole. A pressure sensor is arranged on the lower connecting plate. A mass sensor and a pressure sensor are arranged between the pressure sensor and the seat body. The device, the mass sensor, the upper electrode and the lower electrode are electrically connected with the display respectively.

【技术实现步骤摘要】
一种电阻率检测仪及电阻率检测方法
本专利技术涉及电阻率检测
，具体而言，涉及一种电阻率检测仪及电阻率检测方法。
技术介绍
电阻率是半导体材料的重要电学参数之一，常用的半导体电阻率测试方法包括两探针法、四探针法、单探针扩展电阻法、范德堡法。四探针法可以消除电极与样品接触电阻以及电极、连接导线体电阻产生的误差，克服了传统的二端法测量粉末电阻率仪器的弊端，可以更准确地测量粉末样品的电阻率。现有的四探针法半导体电阻率检测仪对环境要求比较高，为提高试验的精度，通常要进行重复性试验3次左右。半导体电阻率测试过程中，通常所需样品质量较轻，样品呈粉末或晶体状。在加料过程中，易产生静电，导致半导体材料会飞溅吸附在加料台面上，造成重复性试验加料质量不一致，测试结果不准确，误差偏大等问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种电阻率检测仪及电阻率检测方法，能够提高重复性试验时添加的待测试样品质量的统一性，减小重复性试验测试误差，提升测试的精度。本专利技术的实施例是这样实现的：本专利技术实施例的一方面，提供一种电阻率检测仪，包括支撑架，以及设置在所述支撑架上的上工作台和下工作台，在所述上工作台上设置有粉末标准容器，在所述粉末标准容器中心设置有通孔，在所述下工作台中心设置有与所述通孔对应的承载杆，所述承载杆包括座体部，所述座体部设置在所述承载杆的底端，在所述座体部上设置有高度传感器，用于检测所述通孔预留的深度，在所述承载杆的上端设置有下电极，所述支撑架包括上连接板和下连接板，在所述上连接板上设置有加压机构，所述加压机构的底端设置有可升降的且与所述通孔对应的上电极，在所述下连接板上设置有压力传感器,在所述压力传感器与所述座体部之间设置有质量传感器，所述压力传感器、所述质量传感器、所述上电极和所述下电极均与显示器电连接。可选地，所述加压机构包括用于调节所述上电极升降的调节旋钮，所述调节旋钮上设置有卡接部，在所述卡接部上设置有可拆卸的拨杆。可选地，所述电阻率检测仪还包括设置在所述上连接板上表面的刻度盘，以及设置在所述卡接部上表面的指向针。可选地，所述加压机构包括固定座，所述固定座设置在所述上连接板的下表面。可选地，在所述下连接板上固定设置有调节螺杆，所述调节螺杆穿过所述上工作台和所述下工作台，在所述调节螺杆上设置有调节螺母，所述调节螺母抵持在所述上工作台的上表面，用于调节所述上工作台在所述支撑架上的高度。可选地，所述电阻率检测仪还包括套设在所述调节螺杆上的第一弹簧，所述第一弹簧的一端与所述上工作台的下表面抵接，另一端与所述下连接板的上表面抵接。可选地，所述粉末标准容器的制作材料包括聚氯乙烯或三氧化二铁。可选地，在所述上连接板与所述下连接板之间设置有导向杆，所述上工作台通过导滑套与所述导向杆滑动连接，所述下工作台与所述导向杆固定连接。可选地，在所述承载杆上套设有第二弹簧，所述第二弹簧抵持在所述上工作台与所述下工作台之间。本专利技术实施例的另一方面，提供一种电阻率检测方法，包括：抬起上电极，使上电极远离粉末标准容器，显示器示值调零，其中，所述显示器示值包括压力值和质量值；在通孔内加入待检测粉末样品；压下上电极，使所述上电极靠近粉末标准容器；接通所述上电极和下电极电源，微调加压机构，压下所述上电极，对待检测粉末样品施压；获取测得的电阻率值；取出压制的料片。本专利技术实施例的有益效果包括：本专利技术实施例提供的电阻率检测仪及电阻率检测方法，通过在下工作台中心设置的与通孔对应的承载杆，使待测试粉末样品滞留在通孔内，不会洒落，方便进行测试，也使承载杆更加稳定，减小了承载杆的晃动。通过设置在承载杆底端的座体部，使承载杆与质量传感器的连接更加稳定，测量结果更精确。通过与显示器电连接的压力传感器、质量传感器、上电极和下电极，使测试电阻率的过程更加直观，方便操作人员参考，减小了操作难度，使测试结果更加精确。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术实施例提供的电阻率检测仪的结构示意图之一；图2为本专利技术实施例提供的显示器的结构示意图；图3为图1的俯视图；图4为本专利技术实施例提供的电阻率检测仪的结构示意图之二。图标：100-电阻率检测仪；110-支撑架；113-导向杆；115-上连接板；117-下连接板；120-上工作台；123-粉末标准容器；130-下工作台；135-导滑套；140-承载杆；143-座体部；145-高度传感器；147-下电极；149-第二弹簧；150-加压机构；151-固定座；152-上电极；154-调节旋钮；155-卡接部；156-拨杆；157-刻度盘；158-指向针；160-压力传感器；170-质量传感器；180-显示器；182-显示区；184-控制区；190-调节螺杆；192-调节螺母；194-第一弹簧。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。请参照图1和图2，本实施例提供一种电阻率检测仪100，包括支撑架110，以及设置在支撑架110上的上工作台120和下工作台130，在上工作台120上设置有粉末标准容器123，在粉末标准容器123中心设置有通孔，在下工作台130中心设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电阻率检测仪，其特征在于，包括支撑架，以及设置在所述支撑架上的上工作台和下工作台，在所述上工作台上设置有粉末标准容器，在所述粉末标准容器中心设置有通孔，在所述下工作台中心设置有与所述通孔对应的承载杆，所述承载杆包括座体部，所述座体部设置在所述承载杆的底端，在所述座体部上设置有高度传感器，用于检测所述通孔预留的深度，在所述承载杆的上端设置有下电极，所述支撑架包括上连接板和下连接板，在所述上连接板上设置有加压机构，所述加压机构的底端设置有可升降的且与所述通孔对应的上电极，在所述下连接板上设置有压力传感器,在所述压力传感器与所述座体部之间设置有质量传感器，所述压力传感器、所述质量传感器、所述上电极和所述下电极分别与显示器电连接。

【技术特征摘要】
1.一种电阻率检测仪，其特征在于，包括支撑架，以及设置在所述支撑架上的上工作台和下工作台，在所述上工作台上设置有粉末标准容器，在所述粉末标准容器中心设置有通孔，在所述下工作台中心设置有与所述通孔对应的承载杆，所述承载杆包括座体部，所述座体部设置在所述承载杆的底端，在所述座体部上设置有高度传感器，用于检测所述通孔预留的深度，在所述承载杆的上端设置有下电极，所述支撑架包括上连接板和下连接板，在所述上连接板上设置有加压机构，所述加压机构的底端设置有可升降的且与所述通孔对应的上电极，在所述下连接板上设置有压力传感器,在所述压力传感器与所述座体部之间设置有质量传感器，所述压力传感器、所述质量传感器、所述上电极和所述下电极分别与显示器电连接。2.根据权利要求1所述的电阻率检测仪，其特征在于，所述加压机构包括用于调节所述上电极升降的调节旋钮，所述调节旋钮上设置有卡接部，在所述卡接部上设置有可拆卸的拨杆。3.根据权利要求2所述的电阻率检测仪，其特征在于，所述电阻率检测仪还包括设置在所述上连接板上表面的刻度盘，以及设置在所述卡接部上表面的指向针。4.根据权利要求1或2所述的电阻率检测仪，其特征在于，所述加压机构包括固定座，所述固定座设置在所述上连接板的下表面。5.根据权利要求1所述的电阻率检测仪，其特征在于，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨波，李悦，翟伟，
申请(专利权)人：广州特种承压设备检测研究院，
类型：发明
国别省市：广东,44