一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法技术

技术编号:20093420 阅读:33 留言:0更新日期:2019-01-15 12:41
本发明专利技术涉及一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,通过改变入射激光与待测样品表面的夹角为10°‑30°,而达到避免激发激光二次谐波影响目的。本发明专利技术所述方法具有操作简单、效率高、无需任何其他滤光片等特点。解决了目前存在的问题。

A Method to Avoid the Harmonic Effect of Excited Laser in Photoluminescence Testing

The invention relates to a method for avoiding the influence of laser harmonics in photoluminescence testing. The device involved in the method consists of a sample to be measured, a convex lens, a monochromator, an incident laser, a photoluminescence, a reflection laser and a detector. By changing the angle between the incident laser and the surface of the sample to be measured to be 10 30, the purpose of avoiding the influence of the second harmonic of The method has the advantages of simple operation, high efficiency and no need for any other filter. The existing problems have been solved.

【技术实现步骤摘要】
一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法
本专利技术属于光电器件测试
,涉及一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法。
技术介绍
光致发光测试是确定半导体材料与器件光学性能的重要手段之一,能提供材料禁带宽度和组份等重要参数。为了提高样品发出的光致发光的收集效率,一般将入射激发激光和样品表面的入射角设为45°,确保从样品表面反射的激光与收集光致发光的两个凸透镜中心线重合,直接进入单色仪中。为了消除反射激光对测试光谱的影响,通常使用一个长通滤光片截止反射激光。然而,再好的滤光片也不能100%截止激光,只是将激光强度衰减几个数量级。因为激光强度很强,即使衰减几个数量级,其强度仍然不可忽略。更为严重的是,当激光通过单色仪时产生二次和三次谐波,比如,如果使用的激光波长为532nm,从单色仪出来后在532nm,1064nm和1596nm等波长位置都能探测到激光。这个现象影响光致发光准确测量。当样品信号相对微弱时,激发激光带来的二次谐波影响更为严重,根本无法测试在这些波长附近的弱光信号。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,提供一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,通过改变入射激光与待测样品表面的夹角为10°-30°,而达到避免激发激光二次谐波影响目的。本专利技术所述方法具有操作简单、效率高、无需任何其他滤光片等特点。解决了目前存在的问题。本专利技术所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,待测样品(2)垂直固定在样品室内,在样品室与单色仪之间设有两个凸透镜(4),单色仪(7)入口处设有滤光片(6),单色仪(7)出口处设有探测器(8),具体操作按下列步骤进行:a、使用标准光致发光测试系统,先调整光路使得入射激光(1)光束高度与两个凸透镜(4)中心线和单色仪(7)入口中心高度保持一致;b、待测样品(2)垂直固定在样品室内,入射激光(1)与待测样品(2)表面的夹角设为10°-30°;c、入射激光(1)打在待测样品(2)后反射激光(3)偏离凸透镜(4)中心线;d、从待测样品(2)发出的光致发光(5)通过两个凸透镜(4)后聚焦在单色仪(7)入口处,进入单色仪(7),并由连接在单色仪(7)出口的探测器(8)接收。本专利技术所述的方法将原光致发光测试光路中入射激光与待测样品表面的夹角由原来的45°改为10°-30°,这样可以使待测样品表面反射的激光偏离凸透镜中心线,不会进入单色仪内,不需要滤光片来截止反射激光。在整个光谱波长范围内彻底避免激发激光二次谐波影响,便于测试弱光信号。具有操作非常简单,效果非常好的特点。附图说明图1为本专利技术光路示意图。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术作进一步描述:实施例1本专利技术所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,待测样品2垂直固定在样品室内,在样品室与单色仪7之间设有两个凸透镜4,单色仪7入口处设有滤光片6,单色仪7出口处设有探测器8,具体操作按下列步骤进行:a、使用标准光致发光测试系统,先调整光路使得入射激光1光束高度与两个凸透镜4中心线和单色仪7入口中心高度保持一致;b、待测样品2垂直固定在样品室内,入射激光1与待测样品2表面的夹角设为10°;c、入射激光1打在待测样品2后反射激光3偏离凸透镜4中心线,不会进入单色仪7内;d、从待测样品2发出的光致发光5通过两个凸透镜4后聚焦在单色仪7入口处,进入单色仪7,并由连接在单色仪7出口的探测器8接收。实施例2本专利技术所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,待测样品2垂直固定在样品室内,在样品室与单色仪7之间设有两个凸透镜4,单色仪7入口处设有滤光片6,单色仪7出口处设有探测器8,具体操作按下列步骤进行:a、使用标准光致发光测试系统,先调整光路使得入射激光1光束高度与两个凸透镜4中心线和单色仪7入口中心高度保持一致;b、待测样品2垂直固定在样品室内,入射激光1与待测样品2表面的夹角设为20°;c、入射激光1打在待测样品2后反射激光3偏离凸透镜4中心线,不会进入单色仪7内;d、从待测样品2发出的光致发光5通过两个凸透镜4后聚焦在单色仪7入口处,进入单色仪7,并由连接在单色仪7出口的探测器8接收。实施例3本专利技术所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,待测样品2垂直固定在样品室内,在样品室与单色仪7之间设有两个凸透镜4,单色仪7入口处设有滤光片6,单色仪7出口处设有探测器8,具体操作按下列步骤进行:a、使用标准光致发光测试系统,先调整光路使得入射激光1光束高度与两个凸透镜4中心线和单色仪7入口中心高度保持一致;b、待测样品2垂直固定在样品室内,入射激光1与待测样品2表面的夹角设为30°;c、入射激光1打在待测样品2后反射激光3偏离凸透镜4中心线,不会进入单色仪7内;d、从待测样品2发出的光致发光5通过两个凸透镜4后聚焦在单色仪7入口处,进入单色仪7,并由连接在单色仪7出口的探测器8接收。实施例4本专利技术所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,待测样品2垂直固定在样品室内,在样品室与单色仪7之间设有两个凸透镜4,单色仪7入口处设有滤光片6,单色仪7出口处设有探测器8,具体操作按下列步骤进行:a、使用标准光致发光测试系统,先调整光路使得入射激光1光束高度与两个凸透镜4中心线和单色仪7入口中心高度保持一致;b、待测样品2垂直固定在样品室内,入射激光1与待测样品2表面的夹角设为15°;c、入射激光1打在待测样品2后反射激光3偏离凸透镜4中心线,不会进入单色仪7内;d、从待测样品2发出的光致发光5通过两个凸透镜4后聚焦在单色仪7入口处,进入单色仪7,并由连接在单色仪7出口的探测器8接收。实施例5本专利技术所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,待测样品2垂直固定在样品室内,在样品室与单色仪7之间设有两个凸透镜4,单色仪7入口处设有滤光片6,单色仪7出口处设有探测器8,具体操作按下列步骤进行:a、使用标准光致发光测试系统,先调整光路使得入射激光1光束高度与两个凸透镜4中心线和单色仪7入口中心高度保持一致;b、待测样品2垂直固定在样品室内,入射激光1与待测样品2表面的夹角设为25°;c、入射激光1打在待测样品2后反射激光3偏离凸透镜4中心线,不会进入单色仪7内;d、从待测样品2发出的光致发光5通过两个凸透镜4后聚焦在单色仪7入口处,进入单色仪7,并由连接在单色仪7出口的探测器8接收。本专利技术所述的一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,通过该方法也可以适用于低温光致发光测试。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,其特征在于:该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,待测样品(2)垂直固定在样品室内,在样品室与单色仪(7)之间设有两个凸透镜(4),单色仪(7)入口处设有滤光片(6),单色仪(7)出口处设有探测器(8),具体操作按下列步骤进行:a、使用标准光致发光测试系统,先调整光路使得入射激光(1)光束高度与两个凸透镜(4)中心线和单色仪(7)入口中心高度保持一致;b、待测样品(2)垂直固定在样品室内,入射激光(1)与待测样品(2)表面的夹角设为10°‑30°;c、入射激光(1)打在待测样品(2)后反射激光(3)偏离凸透镜(4)中心线;d、从待测样品(2)发出的光致发光(5)通过两个凸透镜(4)后聚焦在单色仪(7)入口处,进入单色仪(7),并由连接在单色仪(7)出口的探测器(8)接收。

【技术特征摘要】
1.一种光致发光测试中避免激发激光谐波影响的方法,其特征在于:该方法中涉及的装置由待测样品、凸透镜、单色仪、入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,待测样品(2)垂直固定在样品室内,在样品室与单色仪(7)之间设有两个凸透镜(4),单色仪(7)入口处设有滤光片(6),单色仪(7)出口处设有探测器(8),具体操作按下列步骤进行:a、使用标准光致发光测试系统,先调整光路使得入射激光(1)光束...

【专利技术属性】
技术研发人员:玛丽娅·黑尼莫敏·塞来艾尔肯·阿不都瓦衣提赵晓凡慎小宝许焱雷琪琪李豫东郭旗
申请(专利权)人:中国科学院新疆理化技术研究所
类型:发明
国别省市:新疆,65

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