The invention belongs to the field of photoelectric device testing technology, and relates to an experimental method for improving the accuracy of low temperature photoluminescence testing. The device is composed of a vacuum cover, a heat shield, a sample to be measured, a sample holder, a convex lens, a filter, a monochromator, an incident laser, photoluminescence, reflective laser and a detector, and the radiation angle of the heat shield is greater than 90 degrees. In order to improve the measurement accuracy of photoluminescence, the light-emitting window collects the photoluminescence emitted by the sample to be measured. The invention has the advantages of simple operation, high efficiency, improved test precision and saved test time.
【技术实现步骤摘要】
一种提高低温光致发光测试精度的实验方法
本专利技术属于光电器件测试
,涉及一种提高低温光致发光测试精度的实验方法。
技术介绍
光致发光测试是确定半导体材料器件光学性能的重要手段之一,能提供材料禁带宽度和组份等重要参数。现在光电实验室使用的光学低温恒温器系统是测试半导体材料与器件低温和变温光致发光(photoluminescence)的主要设备,提供10-300K之间的测试环境温度。低温恒温器系统的样品室由真空罩、防热辐射屏和样品架组成。真空罩和防热辐射屏侧面各设有四个光学窗口,其中一个作为激发激光入射窗口,另外一个作为样品受激发后发出来的光致发光出射窗口。防热辐射屏的主要作用是挡住外界热辐射能量,确保样品架温度达到稳定的低温。尤其是10K温度,如果不用防热辐射屏,根本无法达到。由于系统降温和升温时间较长(一般3-4个小时),为了提高测试效率,一般在样品架上放多个样品,在系统温度稳定后通过调节入射激光的光路,在同一个温度下测试不同样品。然而,由于防热辐射屏光学窗口的限制,样品发出的光不能全部射出样品室外被探测器有效接收。如果样品的位置与样品架中心偏离较大,则大部分发出的光被防热辐射屏挡住,严重影响测试精度。解决这个问题的方法是系统升温到室温,调整样品位置,重新降温,然后再测试。这又是一个3-4小时的等待过程,实验进度很慢。另外,防热辐射屏原有的四个光学窗口是为了方便于多光路测试,但很多光电实验室低温和变温光致发光测试只用一个光路,所以只需要两个光学窗口,另外两个窗口没有任何作用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,提供一种提高低温光致发光测试精度的实验方 ...
【技术保护点】
1.一种提高低温光致发光测试精度的实验方法,其特征在于:该方法中涉及装置是由真空罩、防热辐射屏、待测样品、样品架、凸透镜、滤光片、单色仪入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,待测样品(2)固定在样品架(3)上,样品架(3)固定在低温恒温器系统样品台上,在低温恒温器系统样品台上安装防热辐射屏(13)和真空罩(10),防热辐射屏(13)侧壁上设有一个入射窗口(15)和一个出射角度大于90度的长方形出射窗口(14),样品架(3)与单色仪(8)之间设有两个凸透镜(5),单色仪(8)一端入口处放置滤光片(7),单色仪(8)另一端出口处设有探测器(9),具体操作按下列步骤进行:a、该方法使用标准光学光致发光测试系统;b、将待测样品(2)固定在样品架(3)上,样品架(3)固定在低温恒温器系统样品台上,安装防热辐射屏(13)和真空罩(10),确保系统密封性;c、调整光路使得入射激光(1)和经待测样品(2)反射的反射激光(4)通过真空罩(10)、入射窗口(11)和出射窗口(12)中心线,确保入射激光(1)和反射激光(4)光束高度与两个凸透镜(5)中心线和单色仪(8)入口中心高度保持一致;d、对低温恒 ...
【技术特征摘要】
1.一种提高低温光致发光测试精度的实验方法,其特征在于:该方法中涉及装置是由真空罩、防热辐射屏、待测样品、样品架、凸透镜、滤光片、单色仪入射激光、光致发光、反射激光和探测器组成,待测样品(2)固定在样品架(3)上,样品架(3)固定在低温恒温器系统样品台上,在低温恒温器系统样品台上安装防热辐射屏(13)和真空罩(10),防热辐射屏(13)侧壁上设有一个入射窗口(15)和一个出射角度大于90度的长方形出射窗口(14),样品架(3)与单色仪(8)之间设有两个凸透镜(5),单色仪(8)一端入口处放置滤光片(7),单色仪(8)另一端出口处设有探测器(9),具体操作按下列步骤进行:a、该方法使用标准光学光致发光测试系统;b、将待测样品(2)固定在样品架(3)上,样品架...
【专利技术属性】
技术研发人员:艾尔肯·阿不都瓦衣提,雷琪琪,莫敏·塞来,马丽娅·黑尼,赵晓凡,慎小宝,许焱,李豫东,郭旗,
申请(专利权)人:中国科学院新疆理化技术研究所,
类型:发明
国别省市:新疆,65
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。