基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备制造技术

本发明专利技术提供了一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，包括智能激光发射器、一驱动机构、三个第一反射镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积形成复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述三个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，真空室设置有通光部，所述智能激光发射器与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述智能激光发射器连接以驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处。

【技术实现步骤摘要】
基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备
本专利技术涉及复合材料制备领域，特别涉及一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备。
技术介绍
目前在材料学领域有非常大的热点集中于对复合材料的研究，譬如太阳能材料，这些复合材料的性能都主要由其成份决定。为了研究以及优化这些材料，通常方法是一个一个地合成材料。这种探索的过程非常耗时间。因此非常有必要寻找一种高效的系统的探索研究复合材料的方法。这样复合材料的研究特别是还没有被充分开发利用的三成份或者四成份的复合材料的研究效率会大大提高。然而，这种把薄膜沉积和掩模组合在一起的方法是在沉积后再混合的。它带来了一系列的问题，譬如分相，掩模错位和过程复杂，等等。这些问题一直没办法解决，而且渐渐成为这种方法的根本问题。因此，随着在材料领域对复合材料越来越浓厚的兴趣，一种更可靠更高效的复合材料合成方法变得尤其重要。然而，脉冲激光沉积具有一个很突出的缺点，就是生长速率的不均匀性，也就是在基片上各处薄膜厚度会不一致。然而在此专利技术中正是利用脉冲激光沉积的生长速率不均匀性来合成材料，从而使基片上各点的组分不一样。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，具有快速沉积多种不同复合材料的有益效果。本专利技术实施例提供一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，包括主控板、超声波厚度检测组件、智能激光发射器、一驱动机构、三个第一反射镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积形成复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述三个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述智能激光发射器与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述智能激光发射器连接以驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处；所述主控板与所述智能激光发射器、所述三个驱动机构以及所述超声波厚度检测组件分别通信连接，所述超声波厚度检测组件将检测到的厚度分布信息上传给所述主控板，所述主控板根据所述厚度分布信息控制所述智能激光发射器的发射功率，并在完成对一个基片的沉积操作后，控制所述驱动机构驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜。在本专利技术所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备中，所述基片的上表面设置有静电吸附吸附层，以增强复合材料的沉积效率。在本专利技术所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备中，所述基片上与所述第一固定平台相对的一面贴有掩模。在本专利技术所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备中，所述掩模上设置有多个呈矩阵分布的沉积孔。在本专利技术所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备中，所述第一固定平台内部设置有加热组件，所述加热组件包括多个呈矩形阵列分布的加热元件，该多个加热元件分别与该多个沉积孔相对，所述主控板用于根据所述厚度分布信息控制对应的加热组件的各个加热元件以对应的功率进行加热，其中，复合材料沉积的平均厚度大的基片对应的加热元件的加热功率大于复合材料沉积的平均厚度小的基片。在本专利技术所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备中，所述真空室的壁上设置有三个通孔，所述通光部包括覆盖在所述三个通孔处的三个石英玻璃。在本专利技术所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备中，还包括用于提供惰性气体的储气结构以及用于抽出惰性气体的真空泵；所述真空室的侧壁上开设进气孔以及出气孔，所述储气结构通过所述进气孔与所述真空室连通，所述真空泵通过所述出气孔与所述真空室连通。在本专利技术所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备中，所述超声波厚度检测组件包括超声波发射探头以及超声波接收探头，所述超声波发射探头以及超声波接收探头分别与所述主控板电连接。本专利技术具有快速沉积多种不同复合材料的有益效果，且由于通过厚度检测可以提高控制的精确度，降低材料消耗。附图说明图1是本专利技术实施例中的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备的一种结构示意图。图2是本专利技术实施例中的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备的一种局部结构示意图。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本专利技术的不同结构。为了简化本专利技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本专利技术。此外，本专利技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本专利技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。请参照图1，本专利技术实施例提供一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，包括主控板、智能激光发射器10、一驱动机构20、三个第一反射镜30、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台60、第二固定平台50、用于沉积形成复合材料的基片70、真空室100本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，包括主控板、超声波厚度检测组件、智能激光发射器、一驱动机构、三个第一反射镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积形成复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述三个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述智能激光发射器与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述智能激光发射器连接以驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处；所述主控板与所述智能激光发射器、所述三个驱动机构以及所述超声波厚度检测组件分别通信连接，所述超声波厚度检测组件将检测到的厚度分布信息上传给所述主控板，所述主控板根据所述厚度分布信息控制所述智能激光发射器的发射功率，并在完成对一个基片的沉积操作后，控制所述驱动机构驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜。...

【技术特征摘要】
1.一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，包括主控板、超声波厚度检测组件、智能激光发射器、一驱动机构、三个第一反射镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积形成复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述三个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述智能激光发射器与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述智能激光发射器连接以驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处；所述主控板与所述智能激光发射器、所述三个驱动机构以及所述超声波厚度检测组件分别通信连接，所述超声波厚度检测组件将检测到的厚度分布信息上传给所述主控板，所述主控板根据所述厚度分布信息控制所述智能激光发射器的发射功率，并在完成对一个基片的沉积操作后，控制所述驱动机构驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜。2.根据权利要求1所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，所述基片的上表面设置有静电吸附吸附层，以增强复合材料的沉积效率。3.根据权利要求2所述的基于超声波检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：骆俊，
申请(专利权)人：骆俊，
类型：发明
国别省市：浙江,33