【技术实现步骤摘要】
过滤设备及其过滤方法
本专利技术涉及一种过滤设备及其过滤方法。
技术介绍
硫酸铜电镀在PCB线路板电镀工艺中占有极为重要的地位。酸铜电镀的好坏影响电镀铜层的质量和相关机械性能,并对后续加工产生一定影响。而在电镀过程中,在槽液内会产生胶状杂质,影响酸铜电镀的好处。现有技术中,一般将槽液从电镀槽输送至工业槽中,再向工业槽中投放炭包或碳粉,过滤胶装杂质。但是,若采用炭包电吸附过滤,由于炭包颗粒较大会导致过滤不干净。若采用碳粉过滤,由于碳粉体积小会导致硫酸铜中混入碳粉,抽回至电镀槽后仍会影响酸铜电镀的好处。
技术实现思路
本专利技术的目的之一是为了克服现有技术中的至少一个不足,提供一种能有效过电镀液中杂质的过滤设备及其过滤方法。为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案实现:根据本专利技术的第一方面,提供了一种过滤设备。该过滤设备包括:用于处理原液的预处理机构;膜过滤装置,所述膜过滤装置包括围有内腔的壳体和固定收纳在所述壳体内的过滤膜,所述过滤膜将所述内腔分割为进水腔和出水腔;进水管道,所述进水管道被配置为能将预处理装置内的液体输送至进水腔,在所述进水管道上设有第一开关阀;第一调压机构,所述第一调压机构与所述进水腔连通,在所述第一调压机构上设有第二开关阀;第二调压机构,所述第二调压机构与所述出水腔连通,在所述第二调压机构上设有第三开关阀;出水管道,所述出水管道与所述出水腔连通,在所述出水管道上设有第四开关阀。可选地,所述第一调压机构包括第一空气压缩机和第一调压管,所述第一调压管的一端与所述第一空气压缩机连通、另一端与所述进水腔连通;所述第二开关阀设置在第一调压管上,在 ...
【技术保护点】
1.一种过滤设备,其特征在于,包括:用于处理原液的预处理机构;膜过滤装置,所述膜过滤装置包括围有内腔的壳体和固定收纳在所述壳体内的过滤膜,所述过滤膜将所述内腔分割为进水腔和出水腔;进水管道,所述进水管道被配置为能将预处理装置内的液体输送至进水腔,在所述进水管道上设有第一开关阀;第一调压机构,所述第一调压机构与所述进水腔连通,在所述第一调压机构上设有第二开关阀;第二调压机构,所述第二调压机构与所述出水腔连通,在所述第二调压机构上设有第三开关阀;出水管道,所述出水管道与所述出水腔连通,在所述出水管道上设有第四开关阀。
【技术特征摘要】
1.一种过滤设备,其特征在于,包括:用于处理原液的预处理机构;膜过滤装置,所述膜过滤装置包括围有内腔的壳体和固定收纳在所述壳体内的过滤膜,所述过滤膜将所述内腔分割为进水腔和出水腔;进水管道,所述进水管道被配置为能将预处理装置内的液体输送至进水腔,在所述进水管道上设有第一开关阀;第一调压机构,所述第一调压机构与所述进水腔连通,在所述第一调压机构上设有第二开关阀;第二调压机构,所述第二调压机构与所述出水腔连通,在所述第二调压机构上设有第三开关阀;出水管道,所述出水管道与所述出水腔连通,在所述出水管道上设有第四开关阀。2.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于:所述第一调压机构包括第一空气压缩机和第一调压管,所述第一调压管的一端与所述第一空气压缩机连通、另一端与所述进水腔连通;所述第二开关阀设置在第一调压管上,在所述第一调压管上还设有串联的第一调压阀、第一泄压阀和第一压力检测器。3.根据权利要求2所述的过滤设备,其特征在于:在所述第一调压阀的两侧均串联有第一手动球阀;在所述第一调压管上还设置有与所述第一调压阀和第一手动球阀并联的第二手动球阀。4.根据权利要求2所述的过滤设备,其特征在于:所述第二开关阀为电磁阀。5.根据权利要求2所述的过滤设备,其特征在于:在所述壳体上设有第一调压口,所述第一调压管通过第一调压口与进水腔连通;所述膜过滤装置竖直设置,所述第一调压口位于或者靠近于所述进水腔的顶端。6.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于:所述过滤膜包括中空管段和位于中空管段下方的板状段;所述过滤设备还包括连通于中空管段出水腔的第一导出管和连通于板状段出水腔的第二导出管;所述第一导出管和第二导出管均与所述出水管道连通,在所述第一导出管上设有第五开关阀,在所述第二导出管上设有第六开关阀。7.根据权利要求6所述的过滤设备,其特征在于:所述第一导出管和第二导出管均从所述壳体的外部贯穿至所述出水腔内,所述第一导出管和第二导出管均与所述壳体密封连接。8.根据权利要求6所述的过滤设备,其特征在于:所述第一导出管与第二导出管对接,所述出水管道与对接的第一导出管和第二导出管连通。9.根据权利要求6所述的过滤设备,其特征在于:所述第一开关阀、第三开关阀、第四开关阀、第五开关阀和第六开关阀是气动球阀。10.根据权利要求6所述的过滤设备,其特征在于:所述第二调压机构包括第二空气压缩机、第二调压管和第二调压阀;所述第二调压管的一端连通于所述第二空气压缩机、另一端连通于所述出水腔;所述第二调压阀和第三开关阀串联设置在第二调压管上。11.根据权利要求10所述的过滤设备,其特征在于:所述第二调压管与所述第一导出管连通;和/或,所述第二调压管与第二导出管连通。12.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于,还包括:电镀槽,所述电镀槽通过输入管道与预处理机构连通;在所述输入管道上设有用于将所述电镀槽内的原液输送至所述预处理机构的第二泵;在所述输入管道上还设有位于所述第二泵与预处理机构之间的第八开关阀;所述出水管道与所述电镀槽连通。13.根据权利要求12所述的过滤设备,其特征在于:所述第二泵是隔膜泵,所述第八开关阀是气动球阀。14.根据权利要求12所述的过滤设备,其特征在于:在所述输入管道上还设有位于所述第二泵与电镀槽之间的第三手动球阀。15.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于:在所述进水管道上设有用于将...
【专利技术属性】
技术研发人员:王振荣,戴志文,
申请(专利权)人:上海新阳半导体材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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