过滤设备及其过滤方法技术

技术编号:20086689 阅读:20 留言:0更新日期:2019-01-15 05:55
本发明专利技术公开了一种过滤设备及其过滤方法。该过滤设备包括:用于处理原液的预处理机构;膜过滤装置,膜过滤装置包括围有内腔的壳体和固定收纳在壳体内的过滤膜,过滤膜将内腔分割为进水腔和出水腔;进水管道,进水管道被配置为能将预处理装置内的液体输送至进水腔,在进水管道上设有第一开关阀;第一调压机构,第一调压机构与进水腔连通,在第一调压机构上设有第二开关阀;第二调压机构,第二调压机构与出水腔连通,在第二调压机构上设有第三开关阀;出水管道,出水管道与出水腔连通,在出水管道上设有第四开关阀。本发明专利技术提供的过滤设备及其过滤方法能有效过电镀液中的杂质。

【技术实现步骤摘要】
过滤设备及其过滤方法
本专利技术涉及一种过滤设备及其过滤方法。
技术介绍
硫酸铜电镀在PCB线路板电镀工艺中占有极为重要的地位。酸铜电镀的好坏影响电镀铜层的质量和相关机械性能,并对后续加工产生一定影响。而在电镀过程中,在槽液内会产生胶状杂质,影响酸铜电镀的好处。现有技术中,一般将槽液从电镀槽输送至工业槽中,再向工业槽中投放炭包或碳粉,过滤胶装杂质。但是,若采用炭包电吸附过滤,由于炭包颗粒较大会导致过滤不干净。若采用碳粉过滤,由于碳粉体积小会导致硫酸铜中混入碳粉,抽回至电镀槽后仍会影响酸铜电镀的好处。
技术实现思路
本专利技术的目的之一是为了克服现有技术中的至少一个不足,提供一种能有效过电镀液中杂质的过滤设备及其过滤方法。为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案实现:根据本专利技术的第一方面,提供了一种过滤设备。该过滤设备包括:用于处理原液的预处理机构;膜过滤装置,所述膜过滤装置包括围有内腔的壳体和固定收纳在所述壳体内的过滤膜,所述过滤膜将所述内腔分割为进水腔和出水腔;进水管道,所述进水管道被配置为能将预处理装置内的液体输送至进水腔,在所述进水管道上设有第一开关阀;第一调压机构,所述第一调压机构与所述进水腔连通,在所述第一调压机构上设有第二开关阀;第二调压机构,所述第二调压机构与所述出水腔连通,在所述第二调压机构上设有第三开关阀;出水管道,所述出水管道与所述出水腔连通,在所述出水管道上设有第四开关阀。可选地,所述第一调压机构包括第一空气压缩机和第一调压管,所述第一调压管的一端与所述第一空气压缩机连通、另一端与所述进水腔连通;所述第二开关阀设置在第一调压管上,在所述第一调压管上还设有串联的第一调压阀、第一泄压阀和第一压力检测器。可选地,在所述第一调压阀的两侧均串联有第一手动球阀;在所述第一调压管上还设置有与所述第一调压阀和第一手动球阀并联的第二手动球阀。可选地,所述第二开关阀为电磁阀。可选地,在所述壳体上设有第一调压口,所述第一调压管通过第一调压口与进水腔连通;所述膜过滤装置竖直设置,所述第一调压口位于或者靠近于所述进水腔的顶端。可选地,所述过滤膜包括中空管段和位于中空管段下方的板状段;所述过滤设备还包括连通于中空管段出水腔的第一导出管和连通于板状段出水腔的第二导出管;所述第一导出管和第二导出管均与所述出水管道连通,在所述第一导出管上设有第五开关阀,在所述第二导出管上设有第六开关阀。可选地,所述第一导出管和第二导出管均从所述壳体的外部贯穿至所述出水腔内,所述第一导出管和第二导出管均与所述壳体密封连接。可选地,所述第一导出管与第二导出管对接,所述出水管道与对接的第一导出管和第二导出管连通。可选地,所述第一开关阀、第三开关阀、第四开关阀、第五开关阀和第六开关阀是气动球阀。可选地,所述第二调压机构包括第二空气压缩机、第二调压管和第二调压阀;所述第二调压管的一端连通于所述第二空气压缩机、另一端连通于所述出水腔;所述第二调压阀和第三开关阀串联设置在第二调压管上。可选地,所述第二调压管与所述第一导出管连通;和/或,所述第二调压管与第二导出管连通。可选地,还包括:电镀槽,所述电镀槽通过输入管道与预处理机构连通;在所述输入管道上设有用于将所述电镀槽内的原液输送至所述预处理机构的第二泵;在所述输入管道上还设有位于所述第二泵与预处理机构之间的第八开关阀;所述出水管道与所述电镀槽连通。可选地,所述第二泵是隔膜泵,所述第八开关阀是气动球阀。可选地,在所述输入管道上还设有位于所述第二泵与电镀槽之间的第三手动球阀。可选地,在所述进水管道上设有用于将预处理机构内的液体输送至进水腔的第一泵,所述第一开关阀设置在所述第一泵与进水腔之间。可选地,所述第一泵是隔膜泵。可选地,在所述进水管道上设有位于第一泵与预处理机构之间的第四手动球阀。可选地,所述膜过滤装置竖直设置,所述壳体包括筒状主体和径向一端铰接在所述筒状主体上的底盖,所述底盖位于筒装本体的朝向重力方向一侧;在所述筒状主体上安装有驱动机构,所述驱动机构被配置为能带动所述底盖的径向另一端转动以使所述底盖与筒状主体盖合或分离。可选地,所述预处理装置包括用于收纳原液的预处理槽和用于将吸附剂放入所述预处理槽内的投放机构和用于搅拌所述预处理槽内原液的搅拌器。可选地,还包括:与所述进水腔连通的取样管,在所述取样管上设有第五手动球阀。可选地,还包括:回流管道,所述回流管道的一端与所述进水腔连通、另一端与所述预处理机构连通,在所述回流管上设有第七开关阀。可选地,还包括:泄压机构,所述泄压机构包括接通于进水腔的泄压管,在所述泄压管上设有串联的第二压力检测器、第二泄压阀和第六手动球阀。根据本专利技术的第二方面,提供了一种上述过滤装置的过滤方法。该过滤方法包括:将待处理原液输送至预处理机构,加入吸附剂吸附杂质;打开第一开关阀和第四开关阀,进水管道将预处理机构内的液体输送至膜过滤装置的进水腔,液体穿过过滤膜进入出水腔,吸附剂及杂质截留在进水腔内并且附着在过滤膜上;关闭第一开关阀和第四开关阀并且打开第二开关阀,通过第一调压机构增加进水腔内的气压,将进水腔内的液体排出;关闭第二开关阀并且打开第三开关阀,第二调压机构增加出水腔内的气压,将附着在过滤膜上的吸附剂及杂质吹落。可选地,过滤设备还包括电镀槽和输入管道;输入管道将待电镀槽内的原液输送至预处理机构;出水管道将出水腔内的液体输送至电镀槽。可选地,膜过滤装置竖直设置,壳体包括筒状主体和底盖,底盖的径向一端铰接在筒状本体上,在筒状主体上安装有驱动机构;当过滤膜分离液体与吸附剂及杂质时,驱动机构带动底盖与筒状主体盖合;当第二调压机构增加出水腔内的气压从而将附着在过滤膜上的吸附剂及杂质吹落时,吸附剂及杂质掉落在底盖上;在将附着在过滤膜上的吸附剂及杂质吹落后,驱动机构带动底盖的径向另一侧转动,使底盖与筒状主体分离以收集吸附剂及杂质。可选地,过滤膜包括中空管段和位于中空管段下方的板状段,出水管道包括连通于中空管段的第一导出管和连通于板状段的第二导出管,第一导出管和第二导出管均与出水管道连通,在所述第一导出管上设有第五开关阀,在所述第二导出管上设有第六开关阀;第一调压机构将进水腔内液体排出的方法包括:在关闭第一开关阀和第四开关阀并且打开第二开关阀之后,打开第五开关阀并且关闭第六开关阀,第一调压机构增加进水腔内的气压,第一调压机构将中空管段进水腔内的液体通过第一导出管排出;打开第五开关阀并且关闭第六开关阀,第一调压机构将板状段进水腔内的液体通过第二导出管排出。与现有技术相比,本专利技术提供的过滤设备及其过滤方法中,预处理装置能对原液进行预处理,膜过滤装置对预处理后的液体进一步过滤并且从出水管道产水。第一调压机构能排出膜过滤装置进水腔内的液体。在进水腔内液体被排空后,第二调压机构能将附着在过滤膜上的吸附剂及杂质吹落。有效过电镀液中的杂质。防止吸附剂及杂质影响过滤膜的性能,过滤膜的性能能得到保证。通过以下参照附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述,本专利技术的其它特征及其优点将会变得清楚。附图说明图1为本专利技术实施例一的过滤设备的管路图。图2为本专利技术实施例一中的过滤设备的结构示意图。图3为图2过滤设备的去除箱体后的结构示意图。图4为本专利技术实施例一中的膜过滤装置的结构示意图。10:电镀槽;11:输入管道;本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种过滤设备,其特征在于,包括:用于处理原液的预处理机构;膜过滤装置,所述膜过滤装置包括围有内腔的壳体和固定收纳在所述壳体内的过滤膜,所述过滤膜将所述内腔分割为进水腔和出水腔;进水管道,所述进水管道被配置为能将预处理装置内的液体输送至进水腔,在所述进水管道上设有第一开关阀;第一调压机构,所述第一调压机构与所述进水腔连通,在所述第一调压机构上设有第二开关阀;第二调压机构,所述第二调压机构与所述出水腔连通,在所述第二调压机构上设有第三开关阀;出水管道,所述出水管道与所述出水腔连通,在所述出水管道上设有第四开关阀。

【技术特征摘要】
1.一种过滤设备,其特征在于,包括:用于处理原液的预处理机构;膜过滤装置,所述膜过滤装置包括围有内腔的壳体和固定收纳在所述壳体内的过滤膜,所述过滤膜将所述内腔分割为进水腔和出水腔;进水管道,所述进水管道被配置为能将预处理装置内的液体输送至进水腔,在所述进水管道上设有第一开关阀;第一调压机构,所述第一调压机构与所述进水腔连通,在所述第一调压机构上设有第二开关阀;第二调压机构,所述第二调压机构与所述出水腔连通,在所述第二调压机构上设有第三开关阀;出水管道,所述出水管道与所述出水腔连通,在所述出水管道上设有第四开关阀。2.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于:所述第一调压机构包括第一空气压缩机和第一调压管,所述第一调压管的一端与所述第一空气压缩机连通、另一端与所述进水腔连通;所述第二开关阀设置在第一调压管上,在所述第一调压管上还设有串联的第一调压阀、第一泄压阀和第一压力检测器。3.根据权利要求2所述的过滤设备,其特征在于:在所述第一调压阀的两侧均串联有第一手动球阀;在所述第一调压管上还设置有与所述第一调压阀和第一手动球阀并联的第二手动球阀。4.根据权利要求2所述的过滤设备,其特征在于:所述第二开关阀为电磁阀。5.根据权利要求2所述的过滤设备,其特征在于:在所述壳体上设有第一调压口,所述第一调压管通过第一调压口与进水腔连通;所述膜过滤装置竖直设置,所述第一调压口位于或者靠近于所述进水腔的顶端。6.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于:所述过滤膜包括中空管段和位于中空管段下方的板状段;所述过滤设备还包括连通于中空管段出水腔的第一导出管和连通于板状段出水腔的第二导出管;所述第一导出管和第二导出管均与所述出水管道连通,在所述第一导出管上设有第五开关阀,在所述第二导出管上设有第六开关阀。7.根据权利要求6所述的过滤设备,其特征在于:所述第一导出管和第二导出管均从所述壳体的外部贯穿至所述出水腔内,所述第一导出管和第二导出管均与所述壳体密封连接。8.根据权利要求6所述的过滤设备,其特征在于:所述第一导出管与第二导出管对接,所述出水管道与对接的第一导出管和第二导出管连通。9.根据权利要求6所述的过滤设备,其特征在于:所述第一开关阀、第三开关阀、第四开关阀、第五开关阀和第六开关阀是气动球阀。10.根据权利要求6所述的过滤设备,其特征在于:所述第二调压机构包括第二空气压缩机、第二调压管和第二调压阀;所述第二调压管的一端连通于所述第二空气压缩机、另一端连通于所述出水腔;所述第二调压阀和第三开关阀串联设置在第二调压管上。11.根据权利要求10所述的过滤设备,其特征在于:所述第二调压管与所述第一导出管连通;和/或,所述第二调压管与第二导出管连通。12.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于,还包括:电镀槽,所述电镀槽通过输入管道与预处理机构连通;在所述输入管道上设有用于将所述电镀槽内的原液输送至所述预处理机构的第二泵;在所述输入管道上还设有位于所述第二泵与预处理机构之间的第八开关阀;所述出水管道与所述电镀槽连通。13.根据权利要求12所述的过滤设备,其特征在于:所述第二泵是隔膜泵,所述第八开关阀是气动球阀。14.根据权利要求12所述的过滤设备,其特征在于:在所述输入管道上还设有位于所述第二泵与电镀槽之间的第三手动球阀。15.根据权利要求1所述的过滤设备,其特征在于:在所述进水管道上设有用于将...

【专利技术属性】
技术研发人员:王振荣戴志文
申请(专利权)人:上海新阳半导体材料股份有限公司
类型:发明
国别省市:上海,31

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