一种氮化硅粉回收再利用的方法技术

本发明专利技术公开了一种氮化硅粉回收再利用的方法，涉及多晶硅铸锭技术领域，包括以下步骤：a、酸浸泡:将收集的氮化硅粉利用氢氟酸和盐酸进行浸泡，形成浸泡液；b、离心：将步骤a中的浸泡液放入离心设备离心；c、漂洗：将步骤b中离心好的氮化硅加入纯水溶解，并搅拌15～20分钟后重复步骤b中的离心动作，将氮化硅表面的酸残留漂洗干净；d、烘干：将步骤c中漂洗干净的氮化硅粉放入微波烘干炉中进行烘干；e、破碎：将步骤d中烘干的氮化硅粉破碎为细粉；f、将步骤e中破碎好的氮化硅利用200～250目的筛网进行筛分即可。本发明专利技术可以对氮化硅进行回收利用，减少了固态废弃物的同时又降低了氮化硅的使用成本。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化硅粉回收再利用的方法
本专利技术涉及多晶硅铸锭
，特别是涉及一种氮化硅粉回收再利用的方法。
技术介绍
目前，多晶硅锭的制备方法主要是利用GTSolar提供的定向凝固系统进行制备，该方法通常包括加热、熔化、长晶、退火和冷却等步骤。在铸锭过程中，氮化硅作为一种脱模剂（高温下起到隔离硅液与石英坩埚接触），对预防粘锅裂锭起到了关键性的作用。在坩埚喷涂过程中，吸风罩会将空气中漂浮的氮化硅收集起来，年收集量在2T左右。目前，被吸风罩收集的氮化硅目前是作为固态粉状废弃物进行报废处理，既对环保造成了压力，也造成了浪费损失。
技术实现思路
为了解决以上技术问题，本专利技术提供一种氮化硅粉回收再利用的方法，包括以下步骤：a、酸浸泡:将收集的氮化硅粉利用氢氟酸和盐酸进行浸泡，形成浸泡液，其中氢氟酸的浓度大于55%，盐酸的浓度大于70%，氢氟酸和盐酸按照1:（1～1.5）的比例进行混合；b、离心：将步骤a中的浸泡液放入离心设备离心，离心转速为1000～1500转/分钟，离心时间为10～20分钟；c、漂洗：将步骤b中离心好的氮化硅加入纯水溶解，并搅拌15～20分钟后重复步骤b中的离心动作，将氮化硅表面的酸残留漂洗干净；d、烘干：将步骤c中漂洗干净的氮化硅粉放入微波烘干炉中进行烘干，烘干温度在80～100℃，烘干时间12～24h；e、破碎：将步骤d中烘干的氮化硅粉破碎为细粉；f、将步骤e中破碎好的氮化硅利用200～250目的筛网进行筛分，筛分后包装好即可。技术效果：本专利技术开发了一整套针对集尘罩收集的氮化硅循环再利用的方案，利用氢氟酸和盐酸的混合液对氮化硅进行浸泡，再利用离心设备将氮化硅与酸分离，将离心好的氮化硅加入纯水溶解，多次漂洗，去除氮化硅表面的酸残留，再对氮化硅进行干燥和破碎，最后筛分即可得到处理后的氮化硅，处理后的氮化硅可用于光伏行业的提纯坩埚喷涂或者用于高性能氮化硅陶瓷的制备，减少了固态废弃物的同时又降低了氮化硅的使用成本。本专利技术进一步限定的技术方案是：进一步的，所述步骤a中，浸泡时间在12～18h之间，且浸泡过程中需持续搅拌，搅拌头转速在10～15转/分钟。前所述的一种氮化硅粉回收再利用的方法，所述步骤c中，漂洗次数大于5次，直至纯水PH值在7±0.5时，停止漂洗。前所述的一种氮化硅粉回收再利用的方法，所述步骤e中，破碎的方式为手工破碎或者机器碾磨。本专利技术的有益效果是：本专利技术中步骤c中，控制漂洗次数大于5次，直至纯水PH值在7±0.5时，停止漂洗，以确保氮化硅表面的酸残留去除的比较干净。具体实施方式实施例：一种氮化硅粉回收再利用的方法，包括以下步骤：a、酸浸泡:将收集的氮化硅粉利用氢氟酸和盐酸进行浸泡，形成浸泡液，其中氢氟酸的浓度大于55%，盐酸的浓度大于70%，氢氟酸和盐酸按照1:（1～1.5）的比例进行混合；b、离心：将步骤a中的浸泡液放入离心设备离心，离心转速为1000～1500转/分钟，离心时间为10～20分钟；c、漂洗：将步骤b中离心好的氮化硅加入纯水溶解，并搅拌15～20分钟后重复步骤b中的离心动作，将氮化硅表面的酸残留漂洗干净；d、烘干：将步骤c中漂洗干净的氮化硅粉放入微波烘干炉中进行烘干，烘干温度在80～100℃，烘干时间12～24h；e、破碎：将步骤d中烘干的氮化硅粉破碎为细粉；f、将步骤e中破碎好的氮化硅利用200～250目的筛网进行筛分，筛分后包装好即可。其中，步骤a中，浸泡时间在12～18h之间，且浸泡过程中需持续搅拌，搅拌头转速在10～15转/分钟。步骤c中，漂洗次数大于5次，直至纯水PH值在7±0.5时，停止漂洗。步骤e中，破碎的方式可为手工破碎或者机器碾磨。本专利技术开发了一整套针对集尘罩收集的氮化硅循环再利用的方案，利用氢氟酸和盐酸的混合液对氮化硅进行浸泡，再利用离心设备将氮化硅与酸分离，将离心好的氮化硅加入纯水溶解，多次漂洗，去除氮化硅表面的酸残留，再对氮化硅进行干燥和破碎，最后筛分即可得到处理后的氮化硅，处理后的氮化硅可用于光伏行业的提纯坩埚喷涂或者用于高性能氮化硅陶瓷的制备，减少了固态废弃物的同时又降低了氮化硅的使用成本。除上述实施例外，本专利技术还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本专利技术要求的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氮化硅粉回收再利用的方法，其特征在于,包括以下步骤：a、酸浸泡: 将收集的氮化硅粉利用氢氟酸和盐酸进行浸泡，形成浸泡液，其中氢氟酸的浓度大于55%，盐酸的浓度大于70%，氢氟酸和盐酸按照1:（1～1.5）的比例进行混合；b、离心：将步骤a中的浸泡液放入离心设备离心，离心转速为1000～1500转/分钟，离心时间为10～20分钟；c、漂洗：将步骤b中离心好的氮化硅加入纯水溶解，并搅拌15～20分钟后重复步骤b中的离心动作，将氮化硅表面的酸残留漂洗干净；d、烘干：将步骤c中漂洗干净的氮化硅粉放入微波烘干炉中进行烘干，烘干温度在80～100℃，烘干时间12～24h；e、破碎：将步骤 d中烘干的氮化硅粉破碎为细粉；f、将步骤e中破碎好的氮化硅利用200～250目的筛网进行筛分，筛分后包装好即可。

【技术特征摘要】
1.一种氮化硅粉回收再利用的方法，其特征在于,包括以下步骤：a、酸浸泡:将收集的氮化硅粉利用氢氟酸和盐酸进行浸泡，形成浸泡液，其中氢氟酸的浓度大于55%，盐酸的浓度大于70%，氢氟酸和盐酸按照1:（1～1.5）的比例进行混合；b、离心：将步骤a中的浸泡液放入离心设备离心，离心转速为1000～1500转/分钟，离心时间为10～20分钟；c、漂洗：将步骤b中离心好的氮化硅加入纯水溶解，并搅拌15～20分钟后重复步骤b中的离心动作，将氮化硅表面的酸残留漂洗干净；d、烘干：将步骤c中漂洗干净的氮化硅粉放入微波烘干炉中进行烘干，烘干温度在80～100℃，烘干时间...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明权，路景刚，黄振华，
申请(专利权)人：镇江环太硅科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32