热电转换装置及其制造方法制造方法及图纸

热电转换装置10的制造方法在第一绝缘体11的第一导通孔101中填充第一导电性浆料131。在第二绝缘体12的第三导通孔103中填充第二导电性浆料141。接下来，使第一导电性浆料131从第一绝缘体11的第一导通孔101突出的部分穿通第二绝缘体12的第四导通孔104。使第二导电性浆料141从第二绝缘体12的第三导通孔103突出的部分穿通第二导通孔102。接下来，依次配置具有背面布线图案121的背面保护部件120、第二绝缘体12、第一绝缘体11、具有表面布线图案111的表面保护部件110，从而形成层叠体。接下来，将该层叠体在层叠方向上进行加压、加热。

Thermoelectric Converter and Its Manufacturing Method

The manufacturing method of the thermoelectric conversion device 10 is to fill the first conductive slurry 131 in the first through hole 101 of the first insulator 11. The second conductive slurry 141 is filled in the third through hole 103 of the second insulator 12. Next, the first conductive slurry 131 passes through the fourth through hole 104 of the second insulator 12 from the protruding part of the first through hole 101 of the first insulator 11. The second conductive slurry 141 passes through the second conductive hole 102 from the protruding part of the third conductive hole 103 of the second insulator 12. Next, a back protection component 120 with a back wiring pattern 121, a second insulator 12, a first insulator 11, and a surface protection component 110 with a surface wiring pattern 111 are arranged in turn to form a cascade. Next, the stack body is pressurized and heated in the direction of stacking.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】热电转换装置及其制造方法
本公开涉及热电转换装置以及其制造方法。
技术介绍
以往，已知一种形成为薄的板状并输出与在厚度方向的一个面和另一个面之间流动的热通量相应的信号的热电转换装置。对于该热电转换装置的制造方法，在专利文献1中有记载。专利文献1所记载的热电转换装置的制造方法如下。在本制造方法中，首先，在构成为包含热塑性树脂的绝缘基材上设置多个导通孔和多个空隙。然后，对该多个导通孔填充具有合金粉末以及有机溶剂的导电性浆料。接下来，在绝缘基材的一个面配置具有与多个导电性浆料的一端彼此接触的表面布线图案的表面保护部件。然后，在绝缘基材的另一个面配置具有与多个导电性浆料的另一端彼此接触的背面布线图案的背面保护部件，从而形成层叠体。接下来，利用真空冲压机进行在层叠方向上将层叠体一边加压一边加热的一体化工序。这样，在专利文献1所记载的热电转换装置的制造方法中，通过该一体化工序，导电性浆料进行固相烧结，形成多个导电体。而且，在本制造方法中，导电体、表面布线图案以及背面布线图案被电连接，并且绝缘基材、表面保护部件以及背面保护部件被压接。在该制造方法中，在进行上述的一体化工序时，构成绝缘基材的热塑性树脂流入空隙，绝缘基材的厚度变薄。由此，由冲压机对导电性浆料高效地施加载荷。因此，在本制造方法中，使导电性浆料进行固相烧结来形成导电体，并且能够使该导电体、表面布线图案以及背面布线图案电连接。专利文献1：日本特开2014－7408号公报专利文献1所记载的制造方法中使用的绝缘基材构成为包含由于进行一体化工序时的加热而能够流入空隙的热塑性树脂。即，构成绝缘基材的树脂使用具有比进行一体化工序时的加热温度低的熔点的热塑性树脂。因此，通过本制造方法制造出的热电转换装置难以在比该热塑性树脂的熔点高的温度环境下使用。因此，期望一种由具有能够在较高的温度环境下使用的高熔点的热塑性树脂构成绝缘基材的热电转换装置的制造方法。或者，期望一种由热固性树脂来构成绝缘基材的热电转换装置的制造方法。然而，在由几乎不流动并具有高熔点的热塑性树脂或者热固性树脂构成绝缘基材的情况下，在进行一体化工序时，绝缘基材的厚度不会变薄。因此，在现有的制造方法中，难以由冲压机对导电性浆料高效地施加载荷。因此，需要开发一种关于热电转换装置的新的制造方法。
技术实现思路
本公开的目的在于提供耐热性高的热电转换装置的制造方法。另外，本公开的目的在于提供耐热性高的热电转换装置。作为本公开的技术的一个方式的热电转换装置的制造方法包括第一、第二以及第三形成工序、第一以及第二填充工序、配置工序、第一以及第二准备工序和压接工序。在第一形成工序(S10)中，准备板状的第一绝缘体(11)，并对第一绝缘体形成第一导通孔(101)以及第二导通孔(102)。在第二形成工序(S20)中，准备板状的第二绝缘体(12)，并对第二绝缘体形成第三导通孔(103)以及第四导通孔(104)。在第一填充工序(S30)中，将第一导电性浆料填充至第一导通孔，以使具有合金粉末以及溶剂的第一导电性浆料(131)从第一导通孔突出成大于第二绝缘体的厚度。在第二填充工序(S40)中，将第二导电性浆料填充至第三导通孔，以使具有与第一导电性浆料不同的合金粉末以及溶剂的第二导电性浆料(141)从第三导通孔突出成大于第一绝缘体的厚度。在配置工序(S50)中，配置第一绝缘体和第二绝缘体，以使第一导电性浆料从第一绝缘体的第一导通孔突出的部分面向第二绝缘体的第四导通孔，第二导电性浆料从第二绝缘体的第三导通孔突出的部分面向第一绝缘体的第二导通孔。在第一准备工序(S60)中，准备具有表面布线图案(111)的表面保护部件(110)，表面布线图案能够和位于第一绝缘体中的与第二绝缘体相反侧的第一导电性浆料的一端以及从第二绝缘体的第三导通孔突出的第二导电性浆料的一端连接。在第二准备工序(S70)中，准备具有背面布线图案(121)的背面保护部件(120)，背面布线图案能够和从第一绝缘体的第一导通孔突出的第一导电性浆料的另一端以及位于第二绝缘体中的与第一绝缘体相反侧的第二导电性浆料的另一端连接。在第三形成工序(S80)中，使第一导电性浆料从第一导通孔突出的部分穿通第四导通孔，使第二导电性浆料从第三导通孔突出的部分穿通第二导通孔。在第三形成工序中，将具有表面布线图案的表面保护部件配置于第一绝缘体中的与第二绝缘体相反侧，将具有背面布线图案的背面保护部件配置于第二绝缘体中的与第一绝缘体相反侧，从而形成层叠体。在压接工序(S90)中，在层叠方向上将层叠体一边加压一边加热，并对第一导电性浆料以及第二导电性浆料进行固相烧结来形成第一以及第二导电体。在压接工序中，使第一导电体、第二导电体、表面布线图案、以及背面布线图案电连接，并且对第一绝缘体、第二绝缘体、表面保护部件以及背面保护部件进行压接。据此，在本公开的热电转换装置的制造方法中，在层叠有第一以及第二绝缘体等的状态下，第一导电性浆料从第二绝缘体向背面保护部件侧突出，第二导电性浆料从第一绝缘体向表面保护部件侧突出。若在该状态下，在层叠方向上将层叠体一边加压一边加热，则从表面布线图案以及背面布线图案对第一以及第二导电性浆料高效地施加载荷。因此，第一以及第二导电性浆料分别进行固相烧结，成为第一以及第二导电体。因此，在本公开的热电转换装置的制造方法中，能够使用熔点高的热塑性树脂或者热固性树脂来构成第一以及第二绝缘体。结果，能够制造耐热性高的热电转换装置。另外，作为本公开的技术的一个方式的热电转换装置具备第一绝缘体(11)、第二绝缘体(12)、多个第一导电体(130)、多个第二导电体(140)、表面布线图案(111)、背面布线图案(121)、表面保护部件(110)以及背面保护部件(120)。第一绝缘体形成为板状，并具有第一导通孔(101)以及第二导通孔(102)。第二绝缘体形成为板状，并具有内宽小于第二导通孔的第三导通孔(103)以及内宽大于第一导通孔的第四导通孔(104)，并且在第一绝缘体的厚度方向上重叠。多个第一导电体被埋入第一绝缘体的第一导通孔和第二绝缘体的第四导通孔，并具有规定的热电能。多个第二导电体被埋入第一绝缘体的第二导通孔和第二绝缘体的第三导通孔，并具有与第一导电体不同的热电能。表面布线图案和位于第一绝缘体中的与第二绝缘体相反侧的第一导电体的一端、以及第二导电体的一端连接。背面布线图案和位于第二绝缘体中的与第一绝缘体相反侧的第一导电体的另一端、以及第二导电体的另一端连接。表面保护部件覆盖第一绝缘体中的与第二绝缘体相反侧的面和表面布线图案。背面保护部件覆盖第二绝缘体中的与第一绝缘体相反侧的面和背面布线图案。据此，热电转换装置能够通过上述的制造方法来制造。结果得到耐热性高的热电转换装置。此外，上述各要素的括号内的附图标记表示与后述的实施方式中记载的具体的要素的对应关系的一个例子。附图说明图1是表示第一实施方式所涉及的热电转换装置的剖面结构的图。图2是图1的II方向的俯视图。图3是热流测量装置的制造方法的流程图。图4是热流测量装置的制造方法的流程图。图5是热流测量装置的制造方法的流程图。图6是热流测量装置的制造方法的说明图。图7是图6的VII―VII线上的剖视图。图8是热流测量装置的制造方法的说明图。图9是图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热电转换装置的制造方法，包括：第一形成工序(S10)，准备板状的第一绝缘体(11)，并对上述第一绝缘体形成第一导通孔(101)以及第二导通孔(102)；第二形成工序(S20)，准备板状的第二绝缘体(12)，并对上述第二绝缘体形成第三导通孔(103)以及第四导通孔(104)；第一填充工序(S30)，将上述第一导电性浆料填充至上述第一导通孔，以使具有合金粉末以及溶剂的第一导电性浆料(131)从上述第一导通孔突出成大于上述第二绝缘体的厚度；第二填充工序(S40)，将上述第二导电性浆料填充至上述第三导通孔，以使具有与上述第一导电性浆料不同的合金粉末以及溶剂的第二导电性浆料(141)从上述第三导通孔突出成大于上述第一绝缘体的厚度；配置工序(S50)，配置上述第一绝缘体和上述第二绝缘体，以使上述第一导电性浆料从上述第一绝缘体的上述第一导通孔突出的部分面向上述第二绝缘体的上述第四导通孔，上述第二导电性浆料从上述第二绝缘体的上述第三导通孔突出的部分面向上述第一绝缘体的上述第二导通孔；第一准备工序(S60)，准备具有表面布线图案(111)的表面保护部件(110)，上述表面布线图案能够和位于上述第一绝缘体中的与上述第二绝缘体相反侧的上述第一导电性浆料的一端以及从上述第二绝缘体的上述第三导通孔突出的上述第二导电性浆料的一端连接；第二准备工序(S70)，准备具有背面布线图案(121)的背面保护部件(120)，上述背面布线图案能够和从上述第一绝缘体的上述第一导通孔突出的上述第一导电性浆料的另一端以及位于上述第二绝缘体中的与上述第一绝缘体相反侧的上述第二导电性浆料的另一端连接；第三形成工序(S80)，使上述第一导电性浆料从上述第一导通孔突出的部分穿通上述第四导通孔，使上述第二导电性浆料从上述第三导通孔突出的部分穿通上述第二导通孔，并且将具有上述表面布线图案的上述表面保护部件配置于上述第一绝缘体中的与上述第二绝缘体相反侧，将具有上述背面布线图案的上述背面保护部件配置于上述第二绝缘体中的与上述第一绝缘体相反侧，从而形成层叠体；以及压接工序(S90)，在层叠方向上将上述层叠体一边加压一边加热，并对上述第一导电性浆料以及上述第二导电性浆料进行固相烧结来形成第一导电体以及第二导电体，并且将上述第一导电体、上述第二导电体、上述表面布线图案、以及上述背面布线图案电连接，并对上述第一绝缘体、上述第二绝缘体、上述表面保护部件以及上述背面保护部件进行压接。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.27 JP 2016-1061031.一种热电转换装置的制造方法，包括：第一形成工序(S10)，准备板状的第一绝缘体(11)，并对上述第一绝缘体形成第一导通孔(101)以及第二导通孔(102)；第二形成工序(S20)，准备板状的第二绝缘体(12)，并对上述第二绝缘体形成第三导通孔(103)以及第四导通孔(104)；第一填充工序(S30)，将上述第一导电性浆料填充至上述第一导通孔，以使具有合金粉末以及溶剂的第一导电性浆料(131)从上述第一导通孔突出成大于上述第二绝缘体的厚度；第二填充工序(S40)，将上述第二导电性浆料填充至上述第三导通孔，以使具有与上述第一导电性浆料不同的合金粉末以及溶剂的第二导电性浆料(141)从上述第三导通孔突出成大于上述第一绝缘体的厚度；配置工序(S50)，配置上述第一绝缘体和上述第二绝缘体，以使上述第一导电性浆料从上述第一绝缘体的上述第一导通孔突出的部分面向上述第二绝缘体的上述第四导通孔，上述第二导电性浆料从上述第二绝缘体的上述第三导通孔突出的部分面向上述第一绝缘体的上述第二导通孔；第一准备工序(S60)，准备具有表面布线图案(111)的表面保护部件(110)，上述表面布线图案能够和位于上述第一绝缘体中的与上述第二绝缘体相反侧的上述第一导电性浆料的一端以及从上述第二绝缘体的上述第三导通孔突出的上述第二导电性浆料的一端连接；第二准备工序(S70)，准备具有背面布线图案(121)的背面保护部件(120)，上述背面布线图案能够和从上述第一绝缘体的上述第一导通孔突出的上述第一导电性浆料的另一端以及位于上述第二绝缘体中的与上述第一绝缘体相反侧的上述第二导电性浆料的另一端连接；第三形成工序(S80)，使上述第一导电性浆料从上述第一导通孔突出的部分穿通上述第四导通孔，使上述第二导电性浆料从上述第三导通孔突出的部分穿通上述第二导通孔，并且将具有上述表面布线图案的上述表面保护部件配置于上述第一绝缘体中的与上述第二绝缘体相反侧，将具有上述背面布线图案的上述背面保护部件配置于上述第二绝缘体中的与上述第一绝缘体相反侧，从而形成层叠体；以及压接工序(S90)，在层叠方向上将上述层叠体一边加压一边加热，并对上述第一导电性浆料以及上述第二导电性浆料进行固相烧结来形成第一导电体以及第二导电体，并且将上述第一导电体、上述第二导电体、上述表面布线图案、以及上述背面布线图案电连接，并对上述第一绝缘体、上述第二绝缘体、上述表面保护部件以及上述背面保护部件进行压接。2.根据权利要求1所述的热电转换装置的制造方法，其中，形成于上述第二绝缘体的上述第四导通孔的内宽大于上述第一导通孔的内宽，形成于上述第一绝缘体的上述第二导通孔的内宽大于上述第三导通孔的内宽。3.根据权利要求1或者2所述的热电转换装置的制造方法，其中，在上述第一填充工序中，使上述第一导电性浆料从上述第一绝缘体的上述第一导通孔突出的部分的体积大于在层叠方向上将上述层叠体一边加压一边加热后的上述第四导通孔的容积，在上述第二填充工序中，使上述第二导电性浆料从上述第二绝缘体的上述第三导通孔突出的部分的体积大于在层叠方向上将上述层叠体一边加压一边加热后的上述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：乡古伦央，谷口敏尚，坂井田敦资，冈本圭司，白石芳彦，浅野正裕，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：日本,JP