【技术实现步骤摘要】
原位置检测装置
本技术涉及超高真空检测
,特别是涉及一种原位置检测装置。
技术介绍
超高真空可以对样品实现良好的保护。而在超高真空实验中,不同的测量环境(如不同温度区间、磁场大小等)一般由不同的手段产生和维持,且在物理上处在不同的空间位置。而在实验过程中,通过常需要将单一样品在不同的环境下进行检测。在检测的过程中,实验人员要保证样品和探针对准,而随着样品在不同的检测环境中移动,由于受限于观察条件等因素的影响,新的探针无法再次对准样品的指定位置。所以,在样品移动至不同的检测环境时,需要检测人员通过光学观察方法实现探针与样品上的电极对准后采集数据。但是,在超高真空检测中,某些检测环境是无法运用光学观察方法的,例如在杜瓦内就无法实现光学观察方法。因此,检测人员需要将样品从超高真空环境中取出,在某个可以进行光学观察的位置,将探针和样品上的电极对准并进行预测量,然后再将预测量后的探针和样品结合后,以测量探头的形式传送到杜瓦内的指定位置。故而,操作比较繁琐,检测效率低。
技术实现思路
基于此,有必要针对操作比较繁琐,检测效率低的问题,提供一种检测效率高的原位置检测装置。上述目的通过以下技术方案实现:一种原位置检测装置,包括:检测腔体,用于设置在超高真空系统原样品运输线;所述检测腔体上设置有第一光学观察孔;所述检测腔体上还设置有屏蔽门;测量头,能够与所述检测腔体连接;所述测量头上设置有与所述第一光学观察孔位置相匹配的第二光学观察孔;所述检测腔体上开设有用于供所述测量头通过的开口;驱动机构,所述驱动机构与所述屏蔽门连接,用于驱动所述屏蔽门相对于所述检测腔体移动,以敞开或者覆 ...
【技术保护点】
1.一种原位置检测装置,其特征在于,包括:检测腔体(100),用于设置在超高真空系统原样品运输线;所述检测腔体(100)上设置有第一光学观察孔(110);所述检测腔体(100)上还设置有屏蔽门(120);测量头(800),能够与所述检测腔体(100)连接;所述测量头(800)上设置有与所述第一光学观察孔(110)位置相匹配的第二光学观察孔(810);所述检测腔体(100)上开设有用于供所述测量头(800)通过的开口;驱动机构(200),所述驱动机构(200)与所述屏蔽门(120)连接,用于驱动所述屏蔽门(120)相对于所述检测腔体(100)移动,以敞开或者覆盖所述开口,而打开或者关闭所述检测腔体(100)。
【技术特征摘要】
1.一种原位置检测装置,其特征在于,包括:检测腔体(100),用于设置在超高真空系统原样品运输线;所述检测腔体(100)上设置有第一光学观察孔(110);所述检测腔体(100)上还设置有屏蔽门(120);测量头(800),能够与所述检测腔体(100)连接;所述测量头(800)上设置有与所述第一光学观察孔(110)位置相匹配的第二光学观察孔(810);所述检测腔体(100)上开设有用于供所述测量头(800)通过的开口;驱动机构(200),所述驱动机构(200)与所述屏蔽门(120)连接,用于驱动所述屏蔽门(120)相对于所述检测腔体(100)移动,以敞开或者覆盖所述开口,而打开或者关闭所述检测腔体(100)。2.根据权利要求1所述的原位置检测装置,其特征在于,所述驱动机构(200)包括第一动力器(210)和第一传动结构,所述第一动力器(210)与所述第一传动结构连接,所述第一传动结构与所述屏蔽门(120)传动连接。3.根据权利要求2所述的原位置检测装置,其特征在于,所述开口从所述检测腔体(100)的端部延伸至所述检测腔体(100)的侧壁;所述屏蔽门(120)呈L形,且所述屏蔽门(120)的一条边与所述检测腔体(100)的侧壁转动连接。4.根据权利要求3所述的原位置检测装置,其特征在于,所述第一传动结构包括第一主动齿轮(230)和第一从动齿轮(240);所述屏蔽门(120)设置有门轴(121),所述门轴(121)与所述检测腔体(100)转动连接;所述第一从动齿轮(240)套设在所述门轴(121)外;所述第一动力器(210)为第一磁力转手,所述第一磁力转手通过第一长杆(220)与所述第一主动齿轮(230)连接;所述第一主动齿轮(230)与所述第一从动齿轮(240)啮合。5.根据权利要求4所述的原位置检测装置,其特征在于,所述第一长杆(220)通过第一万向节(250)与所述第一主动齿轮(230)连接。6.根据权利要求1所述的原位置检测装置,其特征在于,还包括:安装底座(900);所述检测腔体(100)设置在所述安装底座(900)上,所述检测腔体(100)的底面上设置有通孔;所述安装底座(900)上,位于所述检测腔体(100)的通孔下方设置有锁紧机构(300),所述测量头(800)上设置有与所述锁紧机构(300)相配合的干涉结构;所述锁紧机构(300)与所述干涉结构配合以将所述测量头(800)固定在所述检测腔体(100)内。7.根据权利要求6所述的原位置检测装置,其特征在于,所述锁紧机构(300)包括第二动力器(310)、第二传动结构和螺纹杆件(350);所述螺纹杆件(350)设置在所述安装底座(900)上并能够通过所述通孔伸入所述检测腔体(100);所述干涉结构包括设置于所述测量头(800)的底部且与所述螺纹杆件(350)相配合的螺纹孔;所述第二动力器(310)通过所述第二传动结构与所述螺纹杆件(350)传动连接,用以带动所述螺纹杆件(350)旋入所述螺纹孔内,以将所述测量头(800)固定在所述检测腔体(100)内。8.根据权利要求7所述的原位置检测装置,其特征在于,所述第二传动结构包括第二主动齿轮(330)和第二从动齿轮(340);所述第二从动齿轮(340)转动设置在所述安装底座(900)内,所述第二从动齿轮(340)与所述螺纹杆件(350)连接;所述第二动力器(310)为第二磁力转手,所述第二磁力转手通过第二长杆(320)与所述第二主动齿轮(330)连接,所述第二主动齿轮(330)与所述第二从动齿轮(340)啮合。9.根据权利要求8所述的原位置检测装置,其特征在于,所述第二长杆(320)通过第二万向节(360)与所述第二主动齿轮(330)连接。10.根据权利要求8所述的原位置检测装置,其特征在于,所述螺纹杆件(350)包括第一零件(351)、第二零件(353)和弹性件(354);所述第一零件(351)为杆状,其包括上端的螺纹部和下端的圆柱部,所述圆柱部的侧壁相对设置有限位平面(352);所述第二零件(353)与所述第二从动齿轮(340)连接;所述第二零件(353)具有容纳所述圆柱部的容纳孔,所述弹性件(354)位于所述容纳孔内且与所述圆柱部抵接;所述容纳孔的侧壁设有贯穿侧壁的插孔,利用限位件插入所述插孔并与所述限位平面(352)抵接,以阻止所述第一零件(351)相对于所述第二零件(353)转动。11.根据权利要求1所述的原位置检测装置,其特征在于,还包括:第一电极转接盘(820),设置于所述测量头(800)的下端,所述检测腔体(100)设置有用于与所述第一电极转接盘(820)对接的电极底座(140);所述电极底座(140)上设置有多个不对称排布的凹槽,所述测量头(800)的下...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡小鹏,郑澄,薛其坤,陈曦,
申请(专利权)人:清华大学,
类型:新型
国别省市:北京,11
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