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原位置检测装置制造方法及图纸

技术编号:20065943 阅读:46 留言:0更新日期:2019-01-14 02:18
本实用新型专利技术涉及一种原位置检测装置,包括:测量头、驱动机构以及检测腔体;检测腔体上设置有第一光学观察孔,测量头上设置有第二光学观察孔;检测腔体上开设有用于供测量头通过的开口;检测腔体上还设置有屏蔽门,驱动机构与屏蔽门连接,用于驱动屏蔽门相对于检测腔体移动,以敞开或者覆盖开口,而打开或者关闭检测腔体。将本实用新型专利技术的原位置检测装置安装在超真空检测系统中,给检测人员提供了一种在光学观察方法下将样品与探针对准并检测样品各项电学性能的检测平台,无需再将样品从超高真空的检测环境中取出,极大的减少了检测人员的操作步骤,提高检测效率。且保证样品在检测过程中始终处于真空环境,实现了对样品表面性质的保护。

【技术实现步骤摘要】
原位置检测装置
本技术涉及超高真空检测
,特别是涉及一种原位置检测装置。
技术介绍
超高真空可以对样品实现良好的保护。而在超高真空实验中,不同的测量环境(如不同温度区间、磁场大小等)一般由不同的手段产生和维持,且在物理上处在不同的空间位置。而在实验过程中,通过常需要将单一样品在不同的环境下进行检测。在检测的过程中,实验人员要保证样品和探针对准,而随着样品在不同的检测环境中移动,由于受限于观察条件等因素的影响,新的探针无法再次对准样品的指定位置。所以,在样品移动至不同的检测环境时,需要检测人员通过光学观察方法实现探针与样品上的电极对准后采集数据。但是,在超高真空检测中,某些检测环境是无法运用光学观察方法的,例如在杜瓦内就无法实现光学观察方法。因此,检测人员需要将样品从超高真空环境中取出,在某个可以进行光学观察的位置,将探针和样品上的电极对准并进行预测量,然后再将预测量后的探针和样品结合后,以测量探头的形式传送到杜瓦内的指定位置。故而,操作比较繁琐,检测效率低。
技术实现思路
基于此,有必要针对操作比较繁琐,检测效率低的问题,提供一种检测效率高的原位置检测装置。上述目的通过以下技术方案实现:一种原位置检测装置,包括:检测腔体,用于设置在超高真空系统原样品运输线;所述检测腔体上设置有第一光学观察孔;所述检测腔体上还设置有屏蔽门;测量头,能够与所述检测腔体连接;所述测量头上设置有与所述第一光学观察孔位置相匹配的第二光学观察孔;所述检测腔体上开设有用于供所述测量头通过的开口;驱动机构,所述驱动机构与所述屏蔽门连接,用于驱动所述屏蔽门相对于所述检测腔体移动,以敞开或者覆盖所述开口,而打开或者关闭所述检测腔体。在其中一个实施例中,所述驱动机构包括第一动力器和第一传动结构,所述第一动力器与所述第一传动结构连接,所述第一传动结构与所述屏蔽门传动连接。在其中一个实施例中,所述开口从所述检测腔体的端部延伸至所述检测腔体的侧壁;所述屏蔽门呈L形,且所述屏蔽门的一条边与所述检测腔体的侧壁转动连接。在其中一个实施例中,所述第一传动结构包括第一主动齿轮和第一从动齿轮;所述屏蔽门设置有门轴,所述门轴与所述检测腔体转动连接;所述第一从动齿轮套设在所述门轴外;所述第一动力器为第一磁力转手,所述第一磁力转手通过第一长杆与所述第一主动齿轮连接;所述第一主动齿轮与所述第一从动齿轮啮合。在其中一个实施例中,所述第一长杆通过第一万向节与所述第一主动齿轮连接。在其中一个实施例中,原位置检测装置还包括:安装底座;所述检测腔体设置在所述安装底座上,所述检测腔体的底面上设置有通孔;所述安装底座上,位于所述检测腔体的通孔下方设置有锁紧机构,所述测量头上设置有与所述锁紧机构相配合的干涉结构;所述锁紧机构与所述干涉结构配合以将所述测量头固定在所述检测腔体内。在其中一个实施例中,所述锁紧机构包括第二动力器、第二传动结构和螺纹杆件;所述螺纹杆件设置在所述安装底座上并能够通过所述通孔伸入所述检测腔体;所述干涉结构包括设置于所述测量头的底部且与所述螺纹杆件相配合的螺纹孔;所述第二动力器通过所述第二传动结构与所述螺纹杆件传动连接,用以带动所述螺纹杆件旋入所述螺纹孔内,以将所述测量头固定在所述检测腔体内。在其中一个实施例中,所述第二传动结构包括第二主动齿轮和第二从动齿轮;所述第二从动齿轮转动设置在所述安装底座内,所述第二从动齿轮与所述螺纹杆件连接;所述第二动力器为第二磁力转手,所述第二磁力转手通过第二长杆与所述第二主动齿轮连接,所述第二主动齿轮与所述第二从动齿轮啮合。在其中一个实施例中,所述第二长杆通过第二万向节与所述第二主动齿轮连接。在其中一个实施例中,所述螺纹杆件包括第一零件、第二零件和弹性件;所述第一零件为杆状,其包括上端的螺纹部和下端的圆柱部,所述圆柱部的侧壁相对设置有限位平面;所述第二零件与所述第二从动齿轮连接;所述第二零件具有容纳所述圆柱部的容纳孔,所述弹性件位于所述容纳孔内且与所述圆柱部抵接;所述容纳孔的侧壁设有贯穿侧壁的插孔,利用限位件插入所述插孔并与所述限位平面抵接,以阻止所述第一零件相对于所述第二零件转动。在其中一个实施例中,原位置检测装置还包括:第一电极转接盘,设置于所述测量头的下端,所述检测腔体设置有用于与所述第一电极转接盘对接的电极底座;所述电极底座上设置有多个不对称排布的凹槽,所述测量头的下端设置有与多个与所述凹槽相配合的凸起,利用所述多个凹槽和所述多个凸起相配合,以使所述第一电极转接盘与所述电极底座对准。在其中一个实施例中,原位置检测装置还包括:冷杆;所述冷杆包括同心设置的内管和外管;冷却部,设置于所述冷杆的一端,所述内管和所述外管通过所述冷却部连通;所述冷却部与所述检测腔体连接,所述冷杆的远离所述冷却部的一端用于与外部供冷设备连通,制冷剂从所述内管流入并经所述外管流出,用于降低所述测量头的温度。在其中一个实施例中,原位置检测装置还包括连接板,连接于所述检测腔体,所述连接板和所述冷却部上设有多个相互对应的第三螺纹孔。在其中一个实施例中,原位置检测装置还包括第二电极转接盘,连接于所述连接板的一侧;所述检测腔体的侧壁上设置有用于与所述第二电极转接盘相对应的第三电极转接盘。在其中一个实施例中,原位置检测装置还包括U形梳线杆,设置于所述第三电极转接盘远离所述第二电极转接盘的一侧,用于梳理导线。在其中一个实施例中,原位置检测装置还包括第一支撑件,套设于所述外管,所述第一支撑件用于支撑所述冷杆。在其中一个实施例中,原位置检测装置还包括:连接法兰,套设于所述外管,所述连接法兰的一端设置有第二支撑件,所述第二支撑件上设置有用于供所述冷杆穿过的第一杆孔;所述连接法兰的该端用于与外部固定物连接;以及中空直线推进器,套设于所述外管,所述中空直线推进器的一端与所述连接法兰的远离所述第二支撑件的一端连接,所述中空直线推进器的另一端与所述冷杆连接;所述中空直线推进器用于带动所述冷杆移动,从而带动所述检测腔体移动。在其中一个实施例中,原位置检测装置还包括第一转接法兰,连接于所述中空直线推进器的远离所述连接法兰的一端;所述冷杆安装于所述第一转接法兰,所述中空直线推进器通过所述第一转接法兰与所述冷杆连接。在其中一个实施例中,原位置检测装置还包括:接线管,套设于所述外管;所述接线管的一端与所述第一转接法兰连接,所述接线管的另一端与所述外管焊接;多个穿线管,设置于所述接线管,且每个所述穿线管均与所述接线管连通;以及多个第一小法兰,分别连接于所述多个穿线管的远离所述接线管的一端,用于与外部设备连接;所述接线管、所述中空直线推进器、所述连接法兰和所述第一转接法兰的内部均与所述外管的外壁具有间隔,以形成容纳线路的空间。在其中一个实施例中,所述中空直线推进器包括伸缩管、支架、动力机构、第三主动齿轮、第三从动齿轮、螺纹轴和螺母;所述支架上设置有滑轨,所述滑轨上滑设有滑板,所述螺母设置在所述滑板上;所述第三从动齿轮转动设置在所述支架上且与所述螺纹轴的一端连接,所述螺纹轴的另一端转动设置于所述螺母;所述动力机构设置在所述支架上,且与所述第三主动齿轮连接,用于带动所述第三主动齿轮转动;所述第三主动齿轮与所述第三从动齿轮啮合;所述伸缩管的两端均设置有第二转接法兰,所述伸缩管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种原位置检测装置,其特征在于,包括:检测腔体(100),用于设置在超高真空系统原样品运输线;所述检测腔体(100)上设置有第一光学观察孔(110);所述检测腔体(100)上还设置有屏蔽门(120);测量头(800),能够与所述检测腔体(100)连接;所述测量头(800)上设置有与所述第一光学观察孔(110)位置相匹配的第二光学观察孔(810);所述检测腔体(100)上开设有用于供所述测量头(800)通过的开口;驱动机构(200),所述驱动机构(200)与所述屏蔽门(120)连接,用于驱动所述屏蔽门(120)相对于所述检测腔体(100)移动,以敞开或者覆盖所述开口,而打开或者关闭所述检测腔体(100)。

【技术特征摘要】
1.一种原位置检测装置,其特征在于,包括:检测腔体(100),用于设置在超高真空系统原样品运输线;所述检测腔体(100)上设置有第一光学观察孔(110);所述检测腔体(100)上还设置有屏蔽门(120);测量头(800),能够与所述检测腔体(100)连接;所述测量头(800)上设置有与所述第一光学观察孔(110)位置相匹配的第二光学观察孔(810);所述检测腔体(100)上开设有用于供所述测量头(800)通过的开口;驱动机构(200),所述驱动机构(200)与所述屏蔽门(120)连接,用于驱动所述屏蔽门(120)相对于所述检测腔体(100)移动,以敞开或者覆盖所述开口,而打开或者关闭所述检测腔体(100)。2.根据权利要求1所述的原位置检测装置,其特征在于,所述驱动机构(200)包括第一动力器(210)和第一传动结构,所述第一动力器(210)与所述第一传动结构连接,所述第一传动结构与所述屏蔽门(120)传动连接。3.根据权利要求2所述的原位置检测装置,其特征在于,所述开口从所述检测腔体(100)的端部延伸至所述检测腔体(100)的侧壁;所述屏蔽门(120)呈L形,且所述屏蔽门(120)的一条边与所述检测腔体(100)的侧壁转动连接。4.根据权利要求3所述的原位置检测装置,其特征在于,所述第一传动结构包括第一主动齿轮(230)和第一从动齿轮(240);所述屏蔽门(120)设置有门轴(121),所述门轴(121)与所述检测腔体(100)转动连接;所述第一从动齿轮(240)套设在所述门轴(121)外;所述第一动力器(210)为第一磁力转手,所述第一磁力转手通过第一长杆(220)与所述第一主动齿轮(230)连接;所述第一主动齿轮(230)与所述第一从动齿轮(240)啮合。5.根据权利要求4所述的原位置检测装置,其特征在于,所述第一长杆(220)通过第一万向节(250)与所述第一主动齿轮(230)连接。6.根据权利要求1所述的原位置检测装置,其特征在于,还包括:安装底座(900);所述检测腔体(100)设置在所述安装底座(900)上,所述检测腔体(100)的底面上设置有通孔;所述安装底座(900)上,位于所述检测腔体(100)的通孔下方设置有锁紧机构(300),所述测量头(800)上设置有与所述锁紧机构(300)相配合的干涉结构;所述锁紧机构(300)与所述干涉结构配合以将所述测量头(800)固定在所述检测腔体(100)内。7.根据权利要求6所述的原位置检测装置,其特征在于,所述锁紧机构(300)包括第二动力器(310)、第二传动结构和螺纹杆件(350);所述螺纹杆件(350)设置在所述安装底座(900)上并能够通过所述通孔伸入所述检测腔体(100);所述干涉结构包括设置于所述测量头(800)的底部且与所述螺纹杆件(350)相配合的螺纹孔;所述第二动力器(310)通过所述第二传动结构与所述螺纹杆件(350)传动连接,用以带动所述螺纹杆件(350)旋入所述螺纹孔内,以将所述测量头(800)固定在所述检测腔体(100)内。8.根据权利要求7所述的原位置检测装置,其特征在于,所述第二传动结构包括第二主动齿轮(330)和第二从动齿轮(340);所述第二从动齿轮(340)转动设置在所述安装底座(900)内,所述第二从动齿轮(340)与所述螺纹杆件(350)连接;所述第二动力器(310)为第二磁力转手,所述第二磁力转手通过第二长杆(320)与所述第二主动齿轮(330)连接,所述第二主动齿轮(330)与所述第二从动齿轮(340)啮合。9.根据权利要求8所述的原位置检测装置,其特征在于,所述第二长杆(320)通过第二万向节(360)与所述第二主动齿轮(330)连接。10.根据权利要求8所述的原位置检测装置,其特征在于,所述螺纹杆件(350)包括第一零件(351)、第二零件(353)和弹性件(354);所述第一零件(351)为杆状,其包括上端的螺纹部和下端的圆柱部,所述圆柱部的侧壁相对设置有限位平面(352);所述第二零件(353)与所述第二从动齿轮(340)连接;所述第二零件(353)具有容纳所述圆柱部的容纳孔,所述弹性件(354)位于所述容纳孔内且与所述圆柱部抵接;所述容纳孔的侧壁设有贯穿侧壁的插孔,利用限位件插入所述插孔并与所述限位平面(352)抵接,以阻止所述第一零件(351)相对于所述第二零件(353)转动。11.根据权利要求1所述的原位置检测装置,其特征在于,还包括:第一电极转接盘(820),设置于所述测量头(800)的下端,所述检测腔体(100)设置有用于与所述第一电极转接盘(820)对接的电极底座(140);所述电极底座(140)上设置有多个不对称排布的凹槽,所述测量头(800)的下...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡小鹏郑澄薛其坤陈曦
申请(专利权)人:清华大学
类型:新型
国别省市:北京,11

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