真空干燥设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空干燥设备，包括真空腔室、载台、至少两个导流板及抽真空装置。真空腔室的顶部设有抽真空口，载台及至少两个导流板位于真空腔室内，各导流板均与载台对应设置且依次间隔设于载台的一侧，各导流板均设有相应的开孔区，各开孔区均设有导流孔；在载台至各导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的开孔区的面积小于前一导流板的开孔区的面积，相邻两个开孔区的至少部分导流孔相互错开。抽真空装置与抽真空口连通，且抽真空口位于各导流板的上方。上述真空干燥设备干燥时，在待处理工件与第一个导流板之间，待处理工件挥发时产生的溶剂蒸汽随气流垂直于液面方向上运动，从而改善了真空干燥过程中干燥不均导致成膜不均的问题。

Vacuum drying equipment

The utility model relates to a vacuum drying device, which comprises a vacuum chamber, a carrier, at least two guide plates and a vacuum pumping device. The top of the vacuum chamber is provided with a vacuum suction opening, and the carrier and at least two guide plates are located in the vacuum chamber. Each guide plate is set on the side of the carrier and spaced on the side of the carrier in turn. Each guide plate is provided with a corresponding opening area, and each opening area is provided with a guide hole. In the direction from the carrier to each guide plate, the surface of the opening area of the rear guide plate in any two adjacent guide plates is arranged. The area is smaller than the area of the opening area of the former diversion plate, and at least part of the diversion holes of the two adjacent opening areas are staggered with each other. The vacuum device is connected with the vacuum outlet, and the vacuum outlet is located above the diversion plates. When the vacuum drying equipment is dried, the solvent vapor generated when the workpiece is volatilized moves perpendicular to the liquid surface direction between the workpiece to be treated and the first guide plate, thus improving the problem of non-uniform film formation caused by non-uniform drying in the vacuum drying process.

【技术实现步骤摘要】
真空干燥设备
本技术涉及机械设备
，特别是涉及一种真空干燥设备。
技术介绍
真空干燥设备是常用的机械设备，其在有机发光二极管(OganicLight-EmittingDiode，OLED)制作中应用也很广泛。有机发光二极管因其在全色显示、背光源等方面有着广阔的应用前景而受到人们的广泛关注。基于喷墨打印技术的溶液加工型有机发光二极管具有成本低、容易实现大面积制作等优势。目前的OLED喷墨打印通常是在图案化的基板上，在像素坑中采用喷墨打印技术形成各有机功能层，喷墨打印后的有机功能层需采用真空干燥设备进行真空干燥处理。由于喷墨打印技术所用的墨水均含有溶剂，在真空干燥设备中的干燥过程中基板边缘的像素与基板中间的像素的溶剂氛围不一致，基板边缘的像素的干燥速度比中间像素的干燥速度快，导致基板边缘与中部的像素坑中的有机功能层薄膜厚度不均，从而使得制成的显示面板的边缘产生亮度不均、斑点等显示不良的问题。已有的解决方案是在基板显示区的四周制作Dummy像素(即虚拟像素)或改变像素限定层的结构。然而在基板显示区的四周制作Dummy像素，使得显示区的面积减小，不适用于目前显示面板的窄边框和全面屏的发展潮流；而改变像素限定层的结构增加了工艺难度，使得工艺复杂，不利于控制成本。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能够有效改善干燥不均问题的真空干燥设备。一种真空干燥设备，包括：真空腔室，所述真空腔室的顶部设有抽真空口；载台，位于所述真空腔室内以用于承载待处理工件；至少两个导流板，位于所述真空腔室内，各所述导流板依次间隔设于所述载台的上方，各所述导流板均设有相应的开孔区，各所述开孔区均设有导流孔；在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的开孔区的面积小于前一导流板的开孔区的面积，相邻两个导流板上开孔区的至少部分导流孔相互错开；及抽真空装置，与所述真空腔室的抽真空口连通，且所述抽真空口位于各所述导流板的上方。上述真空干燥设备工作时，将待处理工件置于载台上，并采用抽真空装置抽取真空。在抽取真空的过程中，由于各导流板的作用，气流从载台经过各导流板的导流孔向真空腔室外流动，因此在待处理工件与相对的第一个导流板之间形成接近垂直且均匀稳定的气流，待处理工件挥发时产生的溶剂蒸汽随气流垂直向上运动，从而改善了真空干燥过程中干燥不均导致成膜不均的问题，从而提高了干燥效果。特别地，上述真空干燥设备可适用于OLED器件的墨水干燥，墨水挥发时产生的溶剂蒸汽随气流垂直向上运动，使得各像素在干燥过程中的溶剂氛围一致，改善像素内墨水成膜效果，进而改善了制成的显示面板的边缘产生亮度不均、斑点等显示不良的问题，提高了显示面板的显示良率。该真空干燥设备用于干燥喷墨打印好的OLED器件，无需在OLED器件的基板显示区的四周制作Dummy像素或改变像素限定层的结构，可适用于窄边框或全面屏的显示面板，且无需改变像素限定层结构的复杂工艺，有利于降低成本。在其中一个实施中，在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的导流孔的数量小于前一导流板的导流孔的数量。在其中一个实施中，在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的导流孔的孔径大于前一导流板的导流孔的孔径。在其中一个实施中，在所述载台至各所述导流板的方向上，第一个导流板的开孔区用于与所述载台上的待处理工件对应设置，除第一个导流板之外，其他各导流板的开孔区在其前一个导流板上的正投影均位于前一个导流板的开孔区内。在其中一个实施中，与所述载台直接相邻的所述导流板上的相邻两个导流孔的间距距离为0.1cm～1cm。在其中一个实施中，在所述载台至各所述导流板的方向上，第一个导流板与所述载台之间的距离为0.1cm～50cm。在其中一个实施中，相邻两个所述导流板之间的距离为0.1cm～10cm。在其中一个实施中，当所述导流板为三个及三个以上时，任意相邻两个所述导流板之间的距离相等。在其中一个实施中，所述导流板的数量为2～150个。在其中一个实施中，各所述导流板在所述载台上的正投影面积大于所述载台的面积。附图说明图1为本技术一实施例的真空干燥设备的结构示意图；图2为图1所示真空干燥设备的真空腔室内的结构示意图；图3为图1所示真空干燥设备的与载台直接相邻的导流板的俯视结构图。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1，一实施例提供了一种真空干燥设备10，包括真空腔室11、载台13、至少两个导流板15及抽真空装置17。真空腔室11的顶部设有抽真空口(图未标)。载台13位于真空腔室11内以用于承载待处理工件20。请参阅图1及图2，各导流板15位于真空腔室11内，各导流板15依次间隔设于载台13的上方。请参阅图2及图3，各导流板15均设有相应的开孔区152，各开孔区152均设有导流孔151。在载台13至各导流板15的方向上，任意相邻两个导流板15中后一导流板15的开孔区152的面积小于前一导流板15的开孔区152的面积，相邻两个导流板15上开孔区152的至少部分导流孔151错开。抽真空装置17与真空腔室11的抽真空口连通，且该抽真空口位于各导流板15上方。需要说明的是，导流板15上设有开孔区152和非开孔区154，导流孔151设于开孔区152。具体在如图2所示的实施例中，开孔区152位于导流板15的中部，非开孔区154绕设于开孔区152的四周。在实际生产中发现，真空干燥过程中基板边缘的像素与基板中部的像素的溶剂氛围不一致，因此基板边缘的像素的干燥速度比中间像素的干燥速度快，导致基板边缘与中部的像素坑中的有机功能层薄膜厚度不均，从而使得制成的显示面板的边缘产生亮度不均、斑点等显示不良的问题。容易理解的是，两个导流孔151错开是指两个导流孔151的中心线不在同一直线上，可理解，相邻两个导流板15上开孔区152的至少部分导流孔151错开，是指当导流孔151的数量有很多时，只要有部分导流孔151错开即可。可理解，在其他实施例中，相邻两个导流板15上开孔区152的全部导流孔151也可全部错开。将各开孔区152的面积逐渐减小设置，且相邻两个开孔区152的导流孔151至少部分错开，充分考虑了如若开孔区152的面积太大或相邻两个开孔区152的导流孔151均不错开而直接导通，将导致在抽真空装置17抽取时无法保证OLED器件与相对的第一个导流板15之间形成接近垂直且均匀稳定的气流的问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空干燥设备，其特征在于，包括：真空腔室，所述真空腔室的顶部设有抽真空口；载台，位于所述真空腔室内以用于承载待处理工件；至少两个导流板，位于所述真空腔室内，各所述导流板依次间隔设于所述载台的上方，各所述导流板均设有相应的开孔区，各所述开孔区均设有导流孔；在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的开孔区的面积小于前一导流板的开孔区的面积，相邻两个导流板上开孔区的至少部分导流孔相互错开；及抽真空装置，与所述真空腔室的抽真空口连通，且所述抽真空口位于各所述导流板的上方。

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥设备，其特征在于，包括：真空腔室，所述真空腔室的顶部设有抽真空口；载台，位于所述真空腔室内以用于承载待处理工件；至少两个导流板，位于所述真空腔室内，各所述导流板依次间隔设于所述载台的上方，各所述导流板均设有相应的开孔区，各所述开孔区均设有导流孔；在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的开孔区的面积小于前一导流板的开孔区的面积，相邻两个导流板上开孔区的至少部分导流孔相互错开；及抽真空装置，与所述真空腔室的抽真空口连通，且所述抽真空口位于各所述导流板的上方。2.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的导流孔的数量小于前一导流板的导流孔的数量。3.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的导流孔的孔径大于前一导流板的导流孔的孔径。4.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，在所述载台至各所述导流板的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏雄伟，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44