过滤器的纯化系统技术方案

一种过滤器的纯化系统，包含过滤器放置架、化学溶液供液系统、第一压力感测器、化学溶液排液系统、第二压力感测器及气泡感测器。过滤器放置架用以装载过滤器。化学溶液供液系统包含供液源、及第一管线连接供液源与过滤器放置架。第一压力感测器设于第一管线上，且配置以感测化学溶液在第一管线中的第一压力。化学溶液排液系统包含排液源、及第二管线连接过滤器放置架与排液源。第二压力感测器设于第二管线上，且配置以感测化学溶液在第二管线中的第二压力。气泡感测器设于第二管线上，且介于第二压力感测器与排液源之间。利用压力感测器与气泡感测器来监控过滤器的纯化结果，可达到节省纯化过滤器的化学溶液消耗量以及缩减纯化时间的功效。

Purification system of filter

The purifying system of a filter includes a filter placement rack, a chemical solution feeding system, a first pressure sensor, a chemical solution drainage system, a second pressure sensor and a bubble sensor. The filter placement rack is used to load the filter. The chemical solution supply system comprises a supply source and a first pipeline connecting the supply source and the filter placement rack. The first pressure sensor is arranged on the first pipeline and is configured to sense the first pressure of the chemical solution in the first pipeline. The chemical solution drainage system comprises a drainage source and a second pipeline connecting the filter placement rack and the drainage source. The second pressure sensor is located in the second pipeline and is configured to sense the second pressure of the chemical solution in the second pipeline. The bubble sensor is located in the second pipeline and is between the second pressure sensor and the discharge source. Pressure sensor and bubble sensor are used to monitor the purification results of the filter, which can save the chemical solution consumption of the filter and reduce the purification time.

【技术实现步骤摘要】
过滤器的纯化系统
本技术是有关于一种纯化技术，且特别是有关于一种过滤器的纯化系统。
技术介绍
半导体制程中所使用的化学溶液，例如去离子水(DIW)、碱性溶液、酸性溶液、以及光阻液等，其洁净度要求非常高。因此，必须移除化学溶液中的杂质或污染物，以避免这些杂质或污染物影响微元件制造的良率。一般是利用过滤器来移除化学溶液中的杂质或污染物，透过过滤器的滤芯等过滤介质来移除化学溶液中的任何污染物，以获得具有所需洁净度的化学溶液。使用过滤器来过滤化学溶液之前，由于过滤器本身可能存有杂质或污染物，因此必须先清洁过滤器，以避免过滤器中的杂质或污染物流至化学溶液内。此外，过滤器的滤芯内部的空隙有气体残留，因此当化学溶液经过过滤器时，滤芯内部的气体会溶入化学溶液中而在化学溶液中形成气泡，这些气泡也会影响制程良率。
技术实现思路
因此，本技术的一目的就是在提供一种过滤器的纯化系统，其可预先移除过滤器本身的杂质或污染物，并可透过监控过滤器的纯化结果，而达到节省纯化过滤器的化学溶液消耗量以及缩减纯化时间的功效。根据本技术的上述目的，提出一种过滤器的纯化系统。此过滤器的纯化系统包含过滤器放置架、化学溶液供液系统、第一压力感测器、化学溶液排液系统、第二压力感测器、以及气泡感测器。过滤器放置架配置以装载过滤器。化学溶液供液系统包含供液源、以及第一管线连接供液源与过滤器放置架，其中供液源配置以供应过滤器化学溶液。第一压力感测器设于第一管线上，且配置以感测化学溶液在第一管线中的第一压力。化学溶液排液系统包含排液源、以及第二管线连接过滤器放置架与排液源，其中排液源配置以容置经由过滤器所排出的化学溶液。第二压力感测器设于第二管线上，且配置以感测化学溶液在第二管线中的第二压力。气泡感测器设于第二管线上，且介于第二压力感测器与排液源之间，其中气泡感测器配置以感测通过的化学溶液中是否有气泡。依据本技术的一实施例，上述过滤器的纯化系统还包含控制器，与第一压力感测器及第二压力感测器信号连接，其中控制器配置以接收第一压力感测器与第二压力感测器所感测到的第一压力与第二压力，并计算第一压力与第二压力之间的压力差，且判断此压力差是否保持在一预设范围内。依据本技术的一实施例，上述的控制器与气泡感测器信号连接，且控制器更配置以接收气泡感测器的感测结果，并根据压力差是否保持在预设范围内的判断结果与气泡感测器的感测结果来判断过滤器是否已完成纯化。依据本技术的一实施例，上述的过滤器的纯化系统还包含微粒子计数器，其中此微粒子计数器设于第二管线上，且配置以侦测化学溶液内的杂质或污染物含量。依据本技术的一实施例，上述的过滤器的纯化系统还包含化学溶液再利用系统。此化学溶液再利用系统包含储液槽、第三管线、第四管线、以及过滤模组。第三管线连接储液槽与位于气泡感测器和排液源之间的第二管线，且配置以在压力差保持在预设范围内时，从第二管线将化学溶液传送到储液槽。第四管线连接储液槽与位于供液源与第一压力感测器之间的第一管线，且配置以将储液槽的化学溶液传送至第一管线。过滤模组设于第四管线上，且配置以过滤流过第四管线的化学溶液。依据本技术的一实施例，上述过滤器的纯化系统还包含预过滤模组，设于第一管线上，且介于供液源与第一压力感测器之间，其中此预过滤模组配置以预先过滤化学溶液。依据本技术的一实施例，上述的预过滤模组包含多个过滤装置依序串联设置在供液源与第一压力感测器之间，这些过滤装置的过滤尺寸由供液源至第一压力感测器的方向递减。依据本技术的一实施例，上述的气泡感测器为超音波式气泡感测器或光电式气泡感测器。依据本技术的一实施例，上述过滤器的纯化系统还包含多个储液槽以及多个废液槽。这些储液槽并联地设于第一管线上，且介于供液源与第一压力感测器之间，其中这些储液槽配置以储放由供液源供应的化学溶液。废液槽并联地设于第二管线上，且介于气泡感测器与排液源之间，其中这些废液槽配置以储放经由过滤器所排出的化学溶液。附图说明为让本技术的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附附图的说明如下：图1是绘示依照本技术的一实施方式的一种过滤器的纯化系统的装置示意图；图2是绘示利用本技术的一实施方式的一种过滤器的纯化系统进行过滤器纯化时，第一压力与第二压力的压力差对纯化时间的曲线图；图3是绘示依照本技术的一实施方式的一种过滤器的纯化系统的装置示意图；图4是绘示依照本技术的一实施方式的一种过滤器的纯化系统的装置示意图；以及图5是绘示依照本技术的一实施方式的一种过滤器的纯化系统的装置示意图。具体实施方式请参照图1，其是绘示依照本技术的一实施方式的一种过滤器的纯化系统的装置示意图。过滤器的纯化系统100可用以预先移除过滤器110本身的杂质或污染物，来达到纯化过滤器110的效果。在一些实施例中，过滤器的纯化系统100主要可包含过滤器放置架120、化学溶液供液系统130、第一压力感测器140、化学溶液排液系统150、第二压力感测器160、以及气泡感测器170。过滤器放置架120是配置以装载待纯化的过滤器110。过滤器放置架120具有容置空间122，过滤器110可放在此容置空间122中。化学溶液供液系统130包含供液源132以及第一管线134。第一管线134连接供液源132与过滤器放置架120。供液源132是配置以透过第一管线134来供应纯化此过滤器110所需的化学溶液给过滤器放置架120中的过滤器110。借此，可利用此化学溶液来清洁过滤器110与填充过滤器110的滤芯的空隙。供液源132可为供液槽或厂务供液源。化学溶液的种类取决于使用过滤器110的制程，而可为去离子水、酸性溶液、碱性溶液或有机溶液，例如光阻液。化学溶液排液系统150包含排液源152以及第二管线154。第二管线154连接过滤器放置架120与排液源152。排液源152可为排液槽或厂务排液源。排液源152是配置以容置经由过滤器110所排出的化学溶液。当纯化用的化学溶液流经过滤器110，而带走过滤器110内的污染物后，会流往排液源152进行排除。过滤器的纯化系统100采用监控压力的方式来协助监控过滤器110的纯化结果。第一压力感测器140设于第一管线134上，且配置以感测化学溶液流通在第一管线140中的第一压力。第二压力感测器160则设于第二管线154上，且配置以感测化学溶液在第二管线154中流通的第二压力。第一压力可视为过滤器110的入口侧压力，第二压力可视为过滤器110的出口侧压力。在本实施方式中，过滤器的纯化系统100亦利用气泡感测器170来协助监控过滤器110的纯化结果。气泡感测器170设于第二管线154上，且介于第二压力感测器160与排液源152之间。气泡感测器170是配置以感测通过的化学溶液中是否含有气泡。在一些例子中，气泡感测器170为超音波式气泡感测器或光电式气泡感测器，借此气泡感测器170可以非接触式的方式来进行气泡的检测。在一些示范例子中，气泡感测器170可用以检测直径介于约1mm至约0.001mm之间的气泡。在一些例子中，请再次参照图1，过滤器的纯化系统100更可包含控制器180。控制器180可例如为具有中央处理单元(CPU)的电子装置。在一些示范例子中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种过滤器的纯化系统，其特征在于，该过滤器的纯化系统包含：一过滤器放置架，配置以装载一过滤器；一化学溶液供液系统，包含一供液源、以及一第一管线连接该供液源与该过滤器放置架，其中该供液源配置以供应该过滤器一化学溶液；一第一压力感测器，设于该第一管线上，且配置以感测该化学溶液在该第一管线中的一第一压力；一化学溶液排液系统，包含一排液源、以及一第二管线连接该过滤器放置架与该排液源，其中该排液源配置以容置经由该过滤器所排出的该化学溶液；一第二压力感测器，设于该第二管线上，且配置以感测该化学溶液在该第二管线中的一第二压力；以及一气泡感测器，设于该第二管线上，且介于该第二压力感测器与该排液源之间，其中该气泡感测器配置以感测通过的该化学溶液中是否有气泡。

【技术特征摘要】
2018.03.09 TW 1072031221.一种过滤器的纯化系统，其特征在于，该过滤器的纯化系统包含：一过滤器放置架，配置以装载一过滤器；一化学溶液供液系统，包含一供液源、以及一第一管线连接该供液源与该过滤器放置架，其中该供液源配置以供应该过滤器一化学溶液；一第一压力感测器，设于该第一管线上，且配置以感测该化学溶液在该第一管线中的一第一压力；一化学溶液排液系统，包含一排液源、以及一第二管线连接该过滤器放置架与该排液源，其中该排液源配置以容置经由该过滤器所排出的该化学溶液；一第二压力感测器，设于该第二管线上，且配置以感测该化学溶液在该第二管线中的一第二压力；以及一气泡感测器，设于该第二管线上，且介于该第二压力感测器与该排液源之间，其中该气泡感测器配置以感测通过的该化学溶液中是否有气泡。2.根据权利要求1所述的过滤器的纯化系统，其特征在于，该过滤器的纯化系统还包含一控制器，与该第一压力感测器及该第二压力感测器信号连接，其中该控制器配置以接收该第一压力感测器与该第二压力感测器所感测到的该第一压力与该第二压力，并计算该第一压力与该第二压力之间的一压力差，且判断该压力差是否保持在一预设范围内。3.根据权利要求2所述的过滤器的纯化系统，其特征在于，该控制器与该气泡感测器信号连接，且该控制器更配置以接收该气泡感测器的一感测结果，并根据该压力差是否保持在该预设范围内的判断结果与该气泡感测器的该感测结果来判断该过滤器是否已完成纯化。4.根据权利要求2所述的过滤器的纯化系统，其特征在于，该过滤器的纯化系统还包含一微粒子计数器，其中该微粒...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈彦政，游闵盛，王世昌，陈柏轩，
申请(专利权)人：馗鼎奈米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71