The invention discloses an on-line laser defect detection equipment and method based on shared galvanometer SLM. The equipment is used for on-line defect detection of printing equipment. It includes a laser ultrasonic transmitting system and a laser ultrasonic receiving system, which can realize full coverage of scanning range. The laser ultrasonic transmitting system includes a first laser, a beam expander, a collimator and a device for ensuring full coverage of scanning range. The first galvanometer assembly and the flat-field focusing mirror of the printing layer are fabricated by adding materials. The first galvanometer assembly is the galvanometer assembly in the printing equipment. The galvanometer system of the invention adopts the galvanometer system provided by the printer, and only needs to set optical switch between the printing laser and the detection laser. The detection system can save the galvanometer in the transmission system, not only can the manufacturing cost of the equipment be effectively reduced, but also can avoid the installation inconvenience caused by the galvanometer provided by the printer to the galvanometer needed by the detection system, and can not bring multiple sets of vibration. The problem of interference between mirrors.
【技术实现步骤摘要】
基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备及方法
本专利技术属于增材制造
,特别涉及一种基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备及方法。
技术介绍
SLM技术以其尺寸精度高、表面粗糙度好和效率高等特点,而成为复杂薄壁结构以及异型空腔结构的金属增材制造的代表性技术。然后由于打印过程存在工艺点位多、工艺参数及环境氛围的长期稳定性难以得到保障,打印过程常出现气孔、裂纹、层间未熔合等各类缺陷。以红外热像、CCD为代表的图像检测技术已应用于金属增材制造过程的监测,但是这些技术只能够检测表面缺陷,而对埋藏在层下的缺陷难以发现。以激光超声为代表的非接触式高频检测技术可以通过超声波检测材料内部缺陷,是应用到SLM在线检测的潜在手段。但是,如何开发具有高效扫查功能、快速检出层间缺陷的激光超声检测系统,是亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可以在不影响打印进程的条件下实现金属增材制造过程中打印层及层间缺陷的基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备。为解决上述技术问题,本专利技术采用如下技术方案:一种基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备,其用于对打印设备进行在线缺陷检测,它包括能实现扫描范围全覆盖的激光超声发射系统、激光超声接收系统以及光路切换开关,所述激光超声发射系统包括第一激光器、扩束镜、准直器以及用于保证扫描范围全覆盖增材制造打印层的第一振镜组件和平场聚焦镜,所述第一振镜组件为打印设备中的振镜组件中的一组,所述激光超声接收系统包括第二激光器、将激光分为参考光和信号光的分束镜和波片组件、接收激光信号并对信号进行采集分析的接收分析部。优化的,所述第二激光器为 ...
【技术保护点】
1.一种基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备,其用于对打印设备进行在线缺陷检测,它包括能实现扫描范围全覆盖的激光超声发射系统、激光超声接收系统以及光路切换开关,其特征在于:所述激光超声发射系统包括第一激光器、扩束镜、准直器以及用于保证扫描范围全覆盖增材制造打印层的第一振镜组件和平场聚焦镜,所述第一振镜组件为打印设备中的振镜组件中的一组,所述激光超声接收系统包括第二激光器、将激光分为参考光和信号光的分束镜和波片组件、接收激光信号并对信号进行采集分析的接收分析部。
【技术特征摘要】
1.一种基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备,其用于对打印设备进行在线缺陷检测,它包括能实现扫描范围全覆盖的激光超声发射系统、激光超声接收系统以及光路切换开关,其特征在于:所述激光超声发射系统包括第一激光器、扩束镜、准直器以及用于保证扫描范围全覆盖增材制造打印层的第一振镜组件和平场聚焦镜,所述第一振镜组件为打印设备中的振镜组件中的一组,所述激光超声接收系统包括第二激光器、将激光分为参考光和信号光的分束镜和波片组件、接收激光信号并对信号进行采集分析的接收分析部。2.根据权利要求1所述的基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备,其特征在于:所述第二激光器为连续激光器。3.根据权利要求1所述的基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备,其特征在于:所述接收分析部包括接收组件、光折变晶体、光电转换器、数据采集卡以及与数据采集卡电连接的计算机。4.根据权利要求3所述的基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备,其特征在于:所述接收组件为用于实现单通道和/或多通道接收的接收光纤部或第二振镜组件,实现单通道接收的所述接受光纤部为单根光纤,用于实现多通道接收的接受光纤部包括多根光纤,第二振镜组件打印设备中的振镜组件中的另一组振镜组件。5.根据权利要求1所述的基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备,其特征在于:所述分束镜和波片组件包括多个分束镜和波片单元,每个所述分束镜和波片单元依次包括第一分束镜、第二分束镜、二分之一波片、偏转分束镜、四分之一波片,每个所述分束镜和波片单元对应一个接收组件。6.根据权利要求5所述的基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备,其特征在于:所述分束镜和波片单元共有n组,并依次为第1、2、3…n分束镜和波片单元,n为正整数,一个光折变晶体和一个光电转换器形成一个转换单元,转换单元有n个,依次为第1、2、3…n转换单元,其中第1分束镜和波片单元的第二分束镜与其偏转分束镜与第1转换单元电连接...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。