The invention discloses an anti-reflux vacuum pump for ingot furnace, which comprises a shell, with a diaphragm transversely arranged inside the shell, a suction chamber 1 and a suction chamber 2 formed between the diaphragm and the inner wall of the shell, two sides of the shell and the bottom part of the suction chamber 2 are respectively provided with an air inlet and a control box, and the top part of the suction chamber 2 and the upper part of the control box are provided with a main outlet. One side of the cavity chamber and above the main outlet is provided with a secondary outlet matching with the main outlet. A one-way valve is arranged inside the main outlet and between the second and the secondary outlets of the cavity chamber. A backflow prevention mechanism is set on the main outlet and on the side far from the secondary outlet, and the control box is electrically connected with the backflow prevention mechanism. Beneficial effect: Vacuum pump can reduce energy consumption at the same time of high power output; when the vacuum pump fails, the external gas can not flow back through the main outlet, and the mechanical oil in the vacuum pump can not flow back into the ingot furnace through the air inlet.
【技术实现步骤摘要】
一种用于铸锭炉的防回流真空泵
本专利技术涉及真空泵
,具体来说,涉及一种用于铸锭炉的防回流真空泵。
技术介绍
硅是自然界常见的一种化学元素,其熔点为1414℃,用于太阳能级多晶硅纯度一般在99.99%以上。多晶硅铸锭炉是一种专业的硅重熔设备,用于生产大量合格的太阳能用多晶硅铸锭。生产中,将达到一定纯度要求的多晶硅装入炉中,按工艺要求加热熔化、定向长晶、热处理、冷却出炉。针对多晶硅铸锭行业工艺的特殊性,在开始炉子抽空阶段,要求能快速的抽到0.8Pa以下的压力,在熔解和冷却阶段需要充入氮气防止氧化,并保持炉内氮气压力在60000Pa,此时需要真空系统能长时间进行维持。目前,现在使用多晶铸锭炉的大部分厂家都使用真空泵直接抽真空,真空泵与铸锭炉之间直接由抽气管相连通,若真空泵在使用过程中出现故障,如电机故障、皮带断裂、主轴断裂等,真空泵将停止工作。进而导致铸锭炉内的压力低于外界大气压,两者之间形成较大压力差,导致外界气体回流炉腔,从而导致真空泵内的机械油会通过抽气管倒流至炉腔内,由于炉腔内温度很高,机械油呈雾状直接喷入铸锭炉内,导致炉腔内的晶锭、加热器等被污染,直接报废,全部更换新零件,给厂家带来巨大的损失。针对相关技术中的问题,目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
针对相关技术中的问题,本专利技术提出一种用于铸锭炉的防回流真空泵,以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。为此,本专利技术采用的具体技术方案如下:一种用于铸锭炉的防回流真空泵,包括壳体,所述壳体的内部横向设置有隔板,所述隔板与所述壳体内壁之间形成抽空腔室一和抽空腔室二,所述壳体的两侧且位于所述 ...
【技术保护点】
1.一种用于铸锭炉的防回流真空泵,其特征在于,包括壳体(1),所述壳体(1)的内部横向设置有隔板(2),所述隔板(2)与所述壳体(1)内壁之间形成抽空腔室一(3)和抽空腔室二(4),所述壳体(1)的两侧且位于所述抽空腔室二(4)的底部分别设置有进风口(5)和控制箱(6),所述抽空腔室二(4)的顶部且位于所述控制箱(6)的上方设置有主出口(7),所述抽空腔室一(3)的一侧且位于所述主出口(7)的上方设置有与所述主出口(7)相配合的副出口(8),所述主出口(7)内部且位于所述抽空腔室二(4)与所述副出口(8)之间设置有单向阀(9),所述主出口(7)上且位于所述副出口(8)远离所述单向阀(9)的一侧卡套有防回流机构(10),且所述控制箱(6)与所述防回流机构(10)电连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于铸锭炉的防回流真空泵,其特征在于,包括壳体(1),所述壳体(1)的内部横向设置有隔板(2),所述隔板(2)与所述壳体(1)内壁之间形成抽空腔室一(3)和抽空腔室二(4),所述壳体(1)的两侧且位于所述抽空腔室二(4)的底部分别设置有进风口(5)和控制箱(6),所述抽空腔室二(4)的顶部且位于所述控制箱(6)的上方设置有主出口(7),所述抽空腔室一(3)的一侧且位于所述主出口(7)的上方设置有与所述主出口(7)相配合的副出口(8),所述主出口(7)内部且位于所述抽空腔室二(4)与所述副出口(8)之间设置有单向阀(9),所述主出口(7)上且位于所述副出口(8)远离所述单向阀(9)的一侧卡套有防回流机构(10),且所述控制箱(6)与所述防回流机构(10)电连接。2.根据权利要求1所述的一种用于铸锭炉的防回流真空泵,其特征在于,所述隔板(2)上纵向穿插设置有转轴一(11)和位于所述转轴一(11)一侧的转轴二(12),所述转轴一(11)的一端与所述转轴二(12)的一端与所述抽空腔室二(4)的内壁连接,所述转轴一(11)的另一端与所述转轴二(12)的另一端贯穿所述抽空腔室一(3)并延伸至所述抽空腔室一(3)外部,所述转轴一(11)上且位于所述抽空腔室一(3)和所述抽空腔室二(4)的内部分别套设有转子元件一(13)和转子元件二(14),所述转轴二(12)上且位于所述抽空腔室一(3)和所述抽空腔室二(4)的内部分别套设有转子元件三(15)和转子元件四(16),并且,所述转子元件一(13)与所述转子元件三(15)相啮合,所述转子元件二(14)与所述转子元件四(16)相啮合。3.根据权利要求2所述的一种用于铸锭炉的防回流真空泵,其特征在于,所述转轴一(11)上且位于所述壳体(1)外部套设置有齿轮一(17),所述转轴二(12)上且位于所述壳体(1)外部套设置有与所述齿轮一(17)相啮合的齿轮二(18),所述转轴一(11)的另一端设置有与所述控制箱(6)电连接的电机一(19)。4.根据权利要求3所述的一种用于铸锭炉的防回流真空泵,其特征在于,所述隔板(2)上且位于所转轴一(11)与所述壳体(1)内壁之间开设有通孔(20)。5.根据权利要求4所述的一种用于铸锭炉的防回流真空泵,其特征在于,所述抽空腔室二(4)远离所述隔板(2)的一侧内壁设置有与所述转轴二(12)相配合的磁铁(21),所述转轴二(12)上设置有与所述磁铁(21)相配合的霍尔传感器(22),所述霍尔传感器(22)与...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪伟华,
申请(专利权)人:浙江羿阳太阳能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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