平板式PECVD设备载板自动传输控制装置、PECVD设备及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，包括载板位置检测组件，安装于各腔室内，用于检测载板的位置；以及控制单元，与载板位置检测组件相连，用于根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。本发明专利技术还公开了一种PECVD设备，包括控制装置、依次对接的上料台、第一上料腔、第一预热腔、第一工艺腔、第一冷却腔、第二上料腔、第二预热腔、第二工艺腔、第二冷却腔、下料腔和下料台；各腔室均对应有驱动电机，控制单元与各驱动电机相连。本发明专利技术还公开了一种控制方法，包括步骤：S01、通过载板位置检测组件检测载板的位置；S02、根据载板的位置控制载板在各腔室内的运行速度。本发明专利技术的控制装置、设备及方法均具有生产效率高等优点。

Plate-type PECVD Equipment Carrier Plate Automatic Transmission Control Device, PECVD Equipment and Method

The invention discloses an automatic transmission control device for the carrier plate of flat-panel PECVD equipment, which comprises a carrier position detection component, which is installed in each chamber to detect the location of the carrier plate, and a control unit which is connected with the carrier position detection component to control the running speed of the carrier plate in each chamber according to the position signal of the carrier plate. The invention also discloses a PECVD device, including a control device, a successively butted feeding table, a first feeding chamber, a first preheating chamber, a first process chamber, a first cooling chamber, a second feeding chamber, a second preheating chamber, a second process chamber, a second cooling chamber, a feeding chamber and a feeding table; each chamber corresponds to a driving motor, and the control unit is connected with each driving motor. The invention also discloses a control method, including steps: S01, detecting the position of the carrier plate through the carrier position detection module, S02, controlling the running speed of the carrier plate in each chamber according to the position of the carrier plate. The control device, equipment and method of the invention have the advantages of high production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
平板式PECVD设备载板自动传输控制装置、PECVD设备及方法
本专利技术主要涉及光伏
，特指一种平板式PECVD设备载板自动传输控制装置、平板式PECVD设备及控制方法。
技术介绍
光伏产业经历了十余年快速爆炸式的增长，前期的技术积累基本已经消耗殆尽，整个产业进入了市场调整和产业转型升级阶段。随着我国工业化进程的不断加快，对能源的需求会越来越迫切。而在风能、潮汐能、地热、核能、光热、光伏等新兴能源体系中，光伏发电是目前世界研究最热门的领域。随着光伏技术的不断进步，光伏能源必然会成为常规能源的重要组成部分。目前与传统晶硅电池兼容性最好的是背钝化结构（PERC）电池，量产效率已经达到21.15%。PERC电池与传统电池的区别在于在背面铝背场与硅片中间增加一层Al2O3钝化膜，用来减少光生载流子的表面复合，从而提高光伏电池的短路电流，进而提高转换效率。在经过2012年至2015年的研究和市场应用，ALD、APCVD等方法由于无法产业化生产要求逐步退出规模化市场，仅数家科研机构在做探索性研究。目前PECVD方法以其产能高、成膜均匀、自动化程度高、成本低等优势是行业内的主流发展方向，因此用于PERC电池镀膜的平板式PECVD设备是光伏行业急需产业化的工艺装备。传统生产线由于自动化程度低，对操作人员的熟练程度依赖较高，平板式PECVD设备的研制，不但能降低人工成本还能极大提高生产效率，但载板传输过程中，存在的卡框、撞框现象也是目前存在的一个比较突出的问题，如何提高设备产能以及传输的安全性是一个值得探索方向。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种结构简单、自动化程度高、生产效率高的平板式PECVD设备载板自动传输控制装置和平板式PECVD设备，并相应提供一种操作简介、生产效率高的控制方法。为解决上述技术问题，本专利技术提出的技术方案为：一种平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，包括载板位置检测组件，安装于平板式PECVD设备的各腔室内，用于实时检测载板的位置；以及控制单元，与所述载板位置检测组件相连，用于根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。作为上述技术方案的进一步改进：所述载板位置检测组件包括多个位置检测件，安装于各腔室内。各腔室内均安装有两个位置检测件，安装于腔室的前后两端。本专利技术还公开了一种平板式PECVD设备，包括依次对接的上料台、第一上料腔、第一预热腔、第一工艺腔、第一冷却腔、第二上料腔、第二预热腔、第二工艺腔、第二冷却腔、下料腔和下料台；各腔室均对应有驱动电机；还包括如上所述的控制装置，其中控制单元与各驱动电机相连，通过控制驱动电机以实现调整各腔室的传输速度。本专利技术还公开了一种基于如上所述的平板式PECVD设备载板自动传输控制装置的控制方法，包括以下步骤：S01、通过载板位置检测组件实时检测载板的位置；S02、控制单元根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。作为上述技术方案的进一步改进：各腔室内均安装有两个位置检测件，安装于腔室的前后两端；当后端的位置检测件检测到载板时，停止上一腔室的传输或/和关闭上一腔室与当前腔室之间闸阀门；当前端的位置检测件检测到载板时，控制当前腔室逐渐减速直至停止运输。当前端的位置检测件检测到载板时，控制当前腔室逐渐减速直至停止运输；在停止运输后，当下一腔室与当前腔室之间压力平衡后，开启下一腔室与当前腔室之间的闸阀门，并同时启动当前腔室和下一腔室的传输。在步骤S02中，控制单元根据载板的位置信号控制各腔室内的驱动电机以实现控制各腔室的运行速度。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：本专利技术的平板式PECVD设备载板自动传输控制装置、控制方法以及平板式PECVD设备，通过实时对载板的位置进行精准检测，从而通过控制单元对各腔室内的传输速度进行实时调整，从而实现对载板的精确传输与控制，极大的提高生产效率。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图中标号表示：1、第一上料腔；2、第一预热腔；3、第一工艺腔；4、第一冷却腔；5、第二上料腔；6、第二预热腔；7、第二工艺腔；8、第二冷却腔；9、下料腔、10、上料台、11、下料台、12、载板。具体实施方式以下结合说明书附图和具体实施例对本专利技术作进一步描述。如图1所示，本实施例的平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，具体应用于平板式PECVD设备中，其中平板式PECVD设备包括依次对接的上料台10、第一上料腔1、第一预热腔2、第一工艺腔3、第一冷却腔4、第二上料腔5、第二预热腔6、第二工艺腔7、第二冷却腔8、下料腔9和下料台11，各腔室之间的传输均是在真空条件下完成，采用闸阀或者密封圈连接，用来隔绝空气。控制装置包括载板位置检测组件，安装于平板式PECVD设备的各腔室内，用于实时检测载板的位置；以及控制单元，与所述载板位置检测组件相连，用于根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。本专利技术的平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，通过实时对载板的位置进行精准检测，从而通过控制单元对各腔室内的传输速度进行实时调整，从而实现对载板的精确传输与控制，极大的提高生产效率。本实施例中，载板位置检测组件包括多个位置检测件（如位置检测传感器），分布在各腔室的前后两端，具体地，如图1所示，共包括位置检测传感器det1.1~det11.2，每个腔室均分为两个。可以理解的是，在此并不对位置检测件的数量进行限定，在其它实施例，也可以采用每个腔室分布三个、四个或更多个的布局方式。如图1所示，本专利技术还相应公开了一种平板式PECVD设备，具体包括依次对接的上料台10、第一上料腔1、第一预热腔2、第一工艺腔3、第一冷却腔4、第二上料腔5、第二预热腔6、第二工艺腔7、第二冷却腔8、下料腔9和下料台11，各腔室均对应有驱动电机，控制单元则通过控制驱动电机的转速以实现各腔室的传输速度。本专利技术还相应公开了一种基于如上所述平板式PECVD设备载板自动传输控制装置的控制方法，包括以下步骤：S01、通过载板位置检测组件实时检测载板的位置；S02、控制单元根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。本实施例中，如上所述，各腔室内均安装有两个位置检测件，安装于腔室的前后两端；当后端的位置检测件检测到载板时，停止上一腔室的传输或/和关闭上一腔室与当前腔室之间闸阀门；当前端的位置检测件检测到载板时，控制当前腔室逐渐减速直至停止运输。本实施例中，当前端的位置检测件检测到载板时，控制当前腔室逐渐减速直至停止运输；在停止运输后，当下一腔室与当前腔室之间压力平衡后，开启下一腔室与当前腔室之间的闸阀门，并同时启动当前腔室和下一腔室的传输。下面结合一具体实施例，对本专利技术的控制方法做进一步说明：其中上料台10对应的电机M1；第一上料腔1简称上料腔1#，对应的电机为M2，两侧对应有闸阀门Gate1和Gate2；第一预热腔2简称预热腔1#，对应的电机为M3；第一工艺腔3简称工艺腔1#，对应的电机为M4；第一冷却腔4简称冷却腔1#，对应的电机为M5和M6；第二上料腔5简称上料腔2#，对应电机为M7，两侧对应有闸阀门Gate3和Gate4；第二预热腔6简称预热腔2#，对应电机为M8；第二工艺腔7简称工艺腔2#，对应电机M9；第二冷却腔8本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，其特征在于，包括载板位置检测组件，安装于平板式PECVD设备的各腔室内，用于实时检测载板的位置；以及控制单元，与所述载板位置检测组件相连，用于根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。

【技术特征摘要】
1.一种平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，其特征在于，包括载板位置检测组件，安装于平板式PECVD设备的各腔室内，用于实时检测载板的位置；以及控制单元，与所述载板位置检测组件相连，用于根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。2.根据权利要求1所述的平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，其特征在于，所述载板位置检测组件包括多个位置检测件，安装于各腔室内。3.根据权利要求2所述的平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，其特征在于，各腔室内均安装有两个位置检测件，安装于腔室的前后两端。4.一种平板式PECVD设备，包括依次对接的上料台、第一上料腔、第一预热腔、第一工艺腔、第一冷却腔、第二上料腔、第二预热腔、第二工艺腔、第二冷却腔、下料腔和下料台；各腔室均对应有驱动电机；其特征在于，还包括如权利要求1至3中任意一项所述的控制装置，其中控制单元与各驱动电机相连，通过控制驱动电机以实现调整各腔室的传输速度。5.一种基于权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭宜昌，张威，郭立，苏卫中，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：湖南,43