The invention discloses a wafer carrying arm, which comprises a wafer carrying device, a vacuum generator, a pneumatic valve connected with the control module, and an exhaust device; a wafer carrying device includes a bearing plate, a liquid accumulation groove is arranged on the surface of the bearing plate, a blocking part is arranged at both ends of the bearing plate, and a pipeline is laid inside the bearing plate; an outlet of the vacuum generator and a bearing device of the wafer. The pipeline in the position is connected, and the air inlet of the vacuum generator is connected with the pneumatic valve. The invention overcomes the problem that the traditional ceramic vacuum arm can not take and place the wafer with through holes, and that some traditional ceramic grooved arms have the problem of \slipping\ caused by fluid accumulation.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆传载手臂及晶圆承载装置
本专利技术涉及一种固定晶圆传载手臂及承载装置,特别涉及一种防止晶圆打滑的晶圆晶圆传载手臂及承载装置。
技术介绍
陶瓷手臂因其耐高温、耐腐蚀、高强度等优异的性能目前广泛应用在半导体晶圆的制造领域,主要起到取放片功能,属于半导体设备传输模块的一部分。从工作类型来分,可分为陶瓷真空手臂和陶瓷凹槽手臂两类。陶瓷真空手臂通过真空发生器、PLC和软件模块等来实现取放片;陶瓷凹槽手臂则通过手臂自身尺寸形状设计、PLC、软件模块等实现取放片。然而陶瓷真空手臂无法应用于带通孔且沾有少量有机液体的晶圆的传载。然而目前在传载带有通孔且沾有少量有机液体的晶圆中使用的部分陶瓷凹槽手臂存在设计缺陷:经过多次取放片后,陶瓷凹槽手臂与晶圆之间会积液,晶圆在传输中会出现‘打滑’现象,造成晶圆偏移、倾斜等问题。因此,晶圆传载过程中,需解决取放沾有少量有机液体且带有通孔的晶圆(Wafer)在陶瓷手臂上打滑的问题,从而保证机台的正常工作。
技术实现思路
专利技术目的:本专利技术目的之一为提供了一种可以防止沾有少量有机液体且带有通孔的晶圆打滑的晶圆陶瓷手臂。本专利技术的另一目的提供了防止晶圆打滑的晶圆承载装置。技术方案:本专利技术所述的一种晶圆传载手臂,其特征在于,包括:晶圆承载装置(1)、用于产生负压的真空发生器、与控制模块通讯连接用于控制气流的气动阀门、以及与所述真空发生器连接的用于有机液体排出的排风装置;所述晶圆承载装置包括用于承载晶圆的承载盘;所述承载盘上表面设置有积液槽,所述积液槽的底面低于所述承载盘的上表面;所述承载盘两端与所述晶圆边缘接触位置分别设置有防止 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆传载手臂,其特征在于,包括:晶圆承载装置(1)、用于产生负压的真空发生器(2)、与控制模块(3)通讯连接用于控制气流的气动阀门(4)、以及与所述真空发生器(2)连接的用于有机液体排出的排风装置(5);所述晶圆承载装置(1)包括用于承载晶圆的承载盘(11);所述承载盘(11)上表面设置有积液槽(12),所述积液槽(12)的底面低于所述承载盘(11)的上表面;所述承载盘(11)两端与所述晶圆边缘接触位置分别设置有防止晶圆位移的阻挡部(13),所述阻挡部(13)具有环状倒角结构;所述承载盘(11)内部铺设有管道(14);所述积液槽(12)内部设置有与所述管路(14)连通的用于液体流出的出液口(15);所述真空发生器(2)的出气口与所述晶圆承载装置(1)中的管道(14)连接,所述真空发生器(2)的进气口与所述气动阀门(3)连接。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆传载手臂,其特征在于,包括:晶圆承载装置(1)、用于产生负压的真空发生器(2)、与控制模块(3)通讯连接用于控制气流的气动阀门(4)、以及与所述真空发生器(2)连接的用于有机液体排出的排风装置(5);所述晶圆承载装置(1)包括用于承载晶圆的承载盘(11);所述承载盘(11)上表面设置有积液槽(12),所述积液槽(12)的底面低于所述承载盘(11)的上表面;所述承载盘(11)两端与所述晶圆边缘接触位置分别设置有防止晶圆位移的阻挡部(13),所述阻挡部(13)具有环状倒角结构;所述承载盘(11)内部铺设有管道(14);所述积液槽(12)内部设置有与所述管路(14)连通的用于液体流出的出液口(15);所述真空发生器(2)的出气口与所述晶圆承载装置(1)中的管道(14)连接,所述真空发生器(2)的进气口与所述气动阀门(3)连接。2.根据权利要求1所述的晶圆传载手臂,其特征在于,所述承载盘(11)包括位于所述承载盘(11)两端的用于支撑晶圆的第一承载部(111),以及连接两端第一承载部(111)的第二承载部(112),所述第一承载部(111)上表面高于所述第二承载部(112)上表面。3.根据权利要求2所述的晶圆传载手臂,其特征在于,所述积液槽(12)位于所述第二承载部(112)两端。4.根据权利要求1所述的晶圆传载手臂,其特征在于,所述承载盘(11)设置有泄液口(16),所述泄液口(16)为位于所述承载盘(11)第一位置(1120)向所述承载盘(11)边缘延伸的开口。5.根据权利要求1所述的晶圆传载手臂,其特征在于,所述管道(14)位于所述承载盘(11)两侧边。6.根据权利要求1所述的晶圆传载手臂,其特征在于,所述积液槽(12)具有环状倒角结构...
【专利技术属性】
技术研发人员:张泽东,申强,狄世聪,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第五十五研究所,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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