The utility model provides a terahertz confocal microscopic imaging system, which comprises a light source module, a data acquisition module, a data processing and image restoration module, a carrier platform module for carrying an object to be imaged, rotating and translating it, and transmitting the two-dimensional information of the rotating and translating of the object to be imaged to a data processing and image restoration module; and an optical path transmission module for transmitting the two-dimensional information of the object to be imaged. The terahertz beam is transmitted along an optical path to the data acquisition module, which has two focal points and the optical path passes through the object to be imaged; and the spatial filtering module includes pinholes located at the two focal points respectively. The imaging system of the utility model avoids the use of beam splitters, reduces the energy loss, improves the imaging signal-to-noise ratio, and realizes fast imaging of hidden objects. In addition, the terahertz beam is spatially filtered by a submillimeter pinhole, which improves the lateral and longitudinal resolution of the imaging, and finally obtains the slice image of the object.
【技术实现步骤摘要】
太赫兹共焦显微成像系统
本技术属于太赫兹应用
,特别是涉及一种太赫兹共焦显微成像系统。
技术介绍
THz(太赫兹)成像是THz技术的重要应用方向之一,1995年,B.B.Hu和M.C.Nuss利用THz时域光谱系统实现了对新鲜树叶和集成电路的扫描成像,该工作被视为THz成像领域的里程碑,直观而清晰的透射扫描图像证明了THz波在成像领域的巨大潜力。特别的,由红外量子级联激光器(Quantumcascadelaser,QCL)发展而来的THzQCL在成像方面的潜力也引起了广泛的关注,器件具备输出功率高,单频性好和体积小易集成等特点,作为THz源被各种成像技术及系统所采用。THz波介于毫米波和红外光之间,与毫米波或微波成像相比,THz波成像可以获得更高的分辨率,因为THz波具有更短的波长;与红外相比,THz波可以穿透很多红外无法透过的材料,如纸张,塑料,陶瓷和半导体等,完成对隐藏目标物体的成像;与在医学成像和安检成像等领域广泛应用的X射线相比,THz波具有更低的能量(1THz~4meV),可以弥补X射线容易对人体造成辐射损伤这一明显缺点,同时对低密度物质成像的对比度又要优于X射线,基于上述优点,THz成像应用领域主要涉及隐蔽目标探测,安检成像,无损检测和癌变生物组织识别。THz成像的发展趋势是研制更加实用化的THz成像探测设备,不断向着实时性、高分辨、远距离和便携式等方向发展。采用的技术手段主要包括:优化扫描方式、合成孔径技术和阵列接收技术等。在新型THz成像技术方面,基于THz量子级联激光器的成像技术是未来THz成像领域一个重要的发展方向之一。目前,太赫 ...
【技术保护点】
1.一种太赫兹共焦显微成像系统,包括一光源模块(1),用于发射太赫兹光束;数据采集模块(4),用于接收所述太赫兹光束并将其转换为电信号;以及数据处理与图像还原模块(5),用于接收数据采集模块(4)的电信号并成像,其特征在于,所述成像系统还包括:一载物台模块(2),用于承载一待成像物体并受所述数据处理与图像还原模块(5)控制对其进行旋转和平移,以及将该待成像物体的旋转平移二维信息发送至所述数据处理与图像还原模块(5);一光路传输模块(3),用于将所述太赫兹光束沿一光路传输至所述数据采集模块(4),该光路上具有两个焦点且该光路穿过所述待成像物体;以及一空间滤波模块(6),包括分别设于所述两个焦点处的针孔(61、62)。
【技术特征摘要】
1.一种太赫兹共焦显微成像系统,包括一光源模块(1),用于发射太赫兹光束;数据采集模块(4),用于接收所述太赫兹光束并将其转换为电信号;以及数据处理与图像还原模块(5),用于接收数据采集模块(4)的电信号并成像,其特征在于,所述成像系统还包括:一载物台模块(2),用于承载一待成像物体并受所述数据处理与图像还原模块(5)控制对其进行旋转和平移,以及将该待成像物体的旋转平移二维信息发送至所述数据处理与图像还原模块(5);一光路传输模块(3),用于将所述太赫兹光束沿一光路传输至所述数据采集模块(4),该光路上具有两个焦点且该光路穿过所述待成像物体;以及一空间滤波模块(6),包括分别设于所述两个焦点处的针孔(61、62)。2.根据权利要求1所述的太赫兹共焦显微成像系统,其特征在于,所述载物台模块(2)包括载物台单元(21),以及与所述载物台单元(21)连接的驱动器(22);所述载物台单元(21)包括基台、设于所述基台上且用于承载所述待成像物体的旋转平移台。3.根据权利要求2所述的太赫兹共焦显微成像系统,其特征在于,所述旋转平移台和所述待成像物体之间设有升降台。4.根据权利要求2所述的太赫兹共焦显微成像系统,其特征在于,所述驱动器(22)包括与所述基台连接的两个电机以及分别与这两个电机连接的采集器。5.根据权利要求1所述的太赫兹共焦显微成像系统,其特征在于,所述光路传输模块(3)包括沿光路的走向依次排布的第一离轴拋面镜(31)、第二离轴拋面镜(3...
【专利技术属性】
技术研发人员:王长,邱付成,谭智勇,曹俊诚,
申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所,
类型:新型
国别省市:上海,31
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