422机床专用晶托制造技术

本实用新型专利技术提供了一种422机床专用晶托，属于硅片加工设备技术领域，包括用于盛放晶销或籽晶的托盘及用于与机床工作台相连的底座，所述底座上设有用于固定所述托盘的台架，所述台架与所述底座之间设有旋转机构。本实用新型专利技术提供的422机床专用晶托通过旋转机构实现台架的旋转，进而带动盛放晶销或籽晶的托盘旋转，无需将籽晶或晶销拔出切割室即可实现“#”字型切割。利用本实用新型专利技术能够通过对现有422机床的改造，在不采购新设备的情况下，能满足籽晶和晶销的切割要求，进而满足拉晶的大产能生产需求，降低了生产成本。

422 Special Crystal Bracket for Machine Tool

The utility model provides a special crystal bracket for 422 machine tools, belonging to the technical field of silicon wafer processing equipment, including a tray for holding crystal pins or seeds and a base for connecting with a machine tool worktable. The base is provided with a platform for fixing the tray, and a rotating mechanism is arranged between the platform and the base. The special crystal bracket for 422 machine tool provided by the utility model realizes the rotation of the bench through a rotating mechanism, and then drives the tray that holds crystal pins or seeds to rotate. Without pulling the seed or crystal pins out of the cutting chamber, the uuuuuuuuuu The utility model can meet the cutting requirements of seed crystal and crystal pin without purchasing new equipment through the modification of 422 existing machine tools, thereby satisfying the production demand of large capacity of drawing crystal and reducing the production cost.

【技术实现步骤摘要】
422机床专用晶托
本技术属于硅片加工设备
，更具体地说，是涉及一种422机床专用晶托。
技术介绍
随着拉晶车间产能的增加，晶销与籽晶用量增加，同时随着切片工艺的改进，现有生产设备无法满足生产需求。442多线切割机床为行业内切割硅片的一种设备，原有442机床晶托为长方形，无法粘接圆棒进行籽晶及晶销切割作业，改为方形晶托又不能实现“#”字型切割，每次切割一面后，需把籽晶或晶销拔出切割室，旋转方向后，再放进切割室进行切割。由于现有442机床配置已无法满足需求，需要淘汰处理，再采购新设备，这就会增加生产成本。因此，需要研发一种针对422机床的新型晶托，来适应晶销与籽晶的大批量生产。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种422机床专用晶托，以解决现有技术中存在的因原有422机床晶托不适应大批量晶销与籽晶切割的技术问题。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种422机床专用晶托，包括用于盛放晶销或籽晶的托盘，还包括用于与机床工作台相连的底座，所述底座上设有用于固定所述托盘的台架，所述台架与所述底座之间设有旋转机构。进一步地，所述旋转机构包括能够相对所述台架转动的底盘和用于对所述台架定位的限位销，所述底盘固定于所述底座上，所述底盘的四周设有与所述限位销配合的限位槽，所述台架的四周设有用于与所述限位销配合的销孔。进一步地，所述底盘的中部固定设有转轴，所述台架套装于所述转轴上，所述台架的中部设有与所述转轴配合的轴孔。进一步地，所述底盘为圆盘状，所述限位槽为四个，四个所述限位槽径向设置于所述底盘的外圆面上，两两相邻的所述限位槽夹角呈90°。进一步地，所述台架为圆盘状，所述台架的四周设有用于与所述底盘的外圆配合的环状凸台；所述销孔为四个、且径向设置于所述凸台的侧壁上，两两相邻的所述销孔夹角呈90°。进一步地，所述限位槽为沿所述底盘的外圆圆周方向设置的长弧形槽，所述限位销的末端设置于所述限位槽内。进一步地，所述底座与所述底盘通过加长螺栓连接固定。进一步地，所述底座的中部设有减轻孔。进一步地，所述台架的表面设有用于调节所述托盘水平度的调节螺栓，所述调节螺栓的一端与所述台架螺纹连接、另一端与所述托盘的底面相接触；所述调节螺栓与所述销孔交错布置。进一步地，所述托盘与所述台架上表面粘结固定。本技术提供的422机床专用晶托的有益效果在于：与现有技术相比，本技术422机床专用晶托通过旋转机构实现台架的旋转，进而带动盛放晶销或籽晶的托盘旋转，无需将籽晶或晶销拔出切割室即可实现“#”字型切割。利用本技术能够通过对现有422机床的改造，在不采购新设备的情况下，能满足籽晶和晶销的切割要求，进而满足拉晶的大产能生产需求，降低了生产成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的422机床专用晶托中台架与底座的连接示意图；图2为本技术实施例提供的422机床专用晶托中台架的结构示意图；图3为本技术实施例提供的422机床专用晶托中底盘的结构示意图；图4为图1的B向视图；图5为图4中的A-A剖视图；图6为图4中的C-C剖视图；其中，图中各附图标记：1-底座，2-台架，3-底盘，4-限位销，5-限位槽，6-销孔，7-转轴，8-轴孔，9-凸台，10-加长螺栓，11-减轻孔，12-调节螺栓。具体实施方式为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。请一并参阅图1及图4，现对本技术提供的422机床专用晶托进行说明。所述422机床专用晶托，包括用于盛放晶销或籽晶的托盘，还包括用于与机床工作台相连的底座1，所述底座1上设有用于固定所述托盘的台架2，所述台架2与所述底座1之间设有旋转机构。通过旋转机构实现台架的旋转，进而带动盛放晶销或籽晶的托盘旋转，无需将籽晶或晶销拔出切割室即可实现“#”字型切割。本技术提供的422机床专用晶托，与现有技术相比，具有结构简单、操作方便、工作效率高的优点，将本技术安装在现有422机床的工作台上，轻松转动台架，即可实现盛放晶销或籽晶的托盘旋转，无需将籽晶或晶销拔出切割室旋转后再放进去，即可轻松实现晶销或籽晶的“#”字型切割。本技术与422机床的配合即可满足籽晶和晶销的切割要求，无需采购新设备即能满足拉晶的大产能生产需求，降低了生产成本投入。进一步地，请参阅图1-3，作为本技术提供的422机床专用晶托的一种具体实施方式，所述旋转机构包括能够相对所述台架1转动的底盘3和用于对所述台架2定位的限位销4，所述底盘3固定于所述底座1上，所述底盘3的四周设有与所述限位销4配合的限位槽5，所述台架2的四周设有用于与所述限位销4配合的销孔6。将限位销拔出限位槽，转动台架至加工位置，再将限位销插入底盘的限位槽内，即可将底盘锁紧在台架上，方便切割加工。当然，也可以采用其它结构来实现台架的旋转功能，诸如将转轴固定于工作台上，台架套装于转轴上，这种结构必须保证各零件的加工精度，才能保证晶销或籽晶的切割精度。进一步地，请参阅图1-4、6，作为本技术提供的422机床专用晶托的一种具体实施方式，所述底盘3的中部固定设有转轴7，所述台架2套装于所述转轴7上，所述台架2的中部设有与所述转轴7配合的轴孔8。通过转轴对台架进行导向和限位，保证台架相对底盘的位置精度，提高加工精确度。进一步地，请参阅图1、3，作为本技术提供的422机床专用晶托的一种具体实施方式，所述底盘3为圆盘状，所述限位槽5为四个，四个所述限位槽5径向设置于所述底盘3的外圆面上，两两相邻的所述限位槽5夹角呈90°。根据工艺要求，对晶销或籽晶进行“#”字型切割，需要保证交叉切割的方向保持90°。通过限位销与四个限位槽的配合，可将台架转动90°，方便对晶销或籽晶进行“#”字型切割。进一步地，请参阅图1、2，作为本技术提供的4本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.422机床专用晶托，包括用于盛放晶销或籽晶的托盘，其特征在于：还包括用于与机床工作台相连的底座，所述底座上设有用于固定所述托盘的台架，所述台架与所述底座之间设有旋转机构。

【技术特征摘要】
1.422机床专用晶托，包括用于盛放晶销或籽晶的托盘，其特征在于：还包括用于与机床工作台相连的底座，所述底座上设有用于固定所述托盘的台架，所述台架与所述底座之间设有旋转机构。2.如权利要求1所述的422机床专用晶托，其特征在于：所述旋转机构包括能够相对所述台架转动的底盘和用于对所述台架定位的限位销，所述底盘固定于所述底座上，所述底盘的四周设有与所述限位销配合的限位槽，所述台架的四周设有用于与所述限位销配合的销孔。3.如权利要求2所述的422机床专用晶托，其特征在于：所述底盘的中部固定设有转轴，所述台架套装于所述转轴上，所述台架的中部设有与所述转轴配合的轴孔。4.如权利要求2所述的422机床专用晶托，其特征在于：所述底盘为圆盘状，所述限位槽为四个，四个所述限位槽径向设置于所述底盘的外圆面上，两两相邻的所述限位槽夹角呈90°。5.如权利要求4所述的422机床专用晶托，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王会敏，张浩强，李立伟，吕思迦，张建龙，尤志剑，
申请(专利权)人：邢台晶龙电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13