【技术实现步骤摘要】
一种芯片异质集成结构
本技术属于半导体制造
,具体涉及一种芯片异质集成结构。
技术介绍
半导体芯片和其匹配电路可以采用相同的材料制成,如都采用GaN材料或都采用GaAs材料,同样的材料使两者便于集成。都采用GaN材料时,器件具有高频、大功率的优异特性,但是GaN材料价格高,导致器件成本增加;都采用GaAs材料时,器件成本得到有效控制,但是制成的器件性能不佳。为了解决上述矛盾,现有的做法是半导体芯片采用GaN材料制成,而匹配电路采用价格较低的GaAs材料制成,这样使得性能与成本得到了均衡。现有技术中,GaN半导体芯片和GaAs匹配电路在异质集成时,将GaN半导体芯片放置在GaAs匹配电路上,并将GaN半导体芯片的栅极和漏极通过金属跳线与GaAs匹配电路连接,将GaN半导体芯片的源极通过金属跳线接地。这种集成结构使用的金属跳线会产生寄生效应和通路损耗,降低了器件的可靠性,缩短了器件寿命;并且GaN半导体芯片放置在GaAs匹配电路上的结构增大了封装模块体积。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可以提高器件可靠性的芯片异质集成结构。为达到上述要求,本技术采取的技术方案是:提供一种芯片异质集成结构,包括GaN半导体芯片和所述GaN半导体芯片的GaAs匹配电路,GaAs匹配电路的衬底顶部开设有凹槽,GaN半导体芯片设置在凹槽中,且GaN半导体芯片最顶层的顶面与GaAs匹配电路的衬底顶面齐平,GaN半导体芯片的栅极和漏极均通过微带线与GaAs匹配电路连接,GaN半导体芯片的源极接地。与现有技术相比,本技术具有以下优点:(1)该集成结构的GaN半导体芯片位于在GaAs匹 ...
【技术保护点】
1.一种芯片异质集成结构,其特征在于,包括GaN半导体芯片和所述GaN半导体芯片的GaAs匹配电路,GaAs匹配电路的衬底顶部开设有凹槽,GaN半导体芯片设置在凹槽中,且GaN半导体芯片最顶层的顶面与GaAs匹配电路的衬底顶面齐平,GaN半导体芯片的栅极和漏极均通过微带线与GaAs匹配电路连接,GaN半导体芯片的源极接地。
【技术特征摘要】
1.一种芯片异质集成结构,其特征在于,包括GaN半导体芯片和所述GaN半导体芯片的GaAs匹配电路,GaAs匹配电路的衬底顶部开设有凹槽,GaN半导体芯片设置在凹槽中,且GaN半导体芯片最顶层的顶面与GaAs匹配电路的衬底顶面齐平,GaN半导体芯片的栅极和漏极均通过微带线与GaAs匹配电路连接,GaN半导体芯片的源极接地。2.根据权利要求1所述的芯片异质集成结构,其特征在于,还包括连接结构和引出结构,引出结构通过铜柱分别将所述GaN半导体芯片和GaN半导体芯片的源极引出;连接结构具有若干通孔,铜柱均伸入通孔中并引出至封装外壳的接地端引线。3.根据权利要求2所述的芯片异...
【专利技术属性】
技术研发人员:李春江,翟媛,
申请(专利权)人:成都海威华芯科技有限公司,
类型:新型
国别省市:四川,51
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