一种真空电机制造技术

本发明专利技术公开一种真空电机，包括电机腔、轴承腔、罗茨腔体、齿轮腔、电机、主动转子轴、从动转子轴、从动齿轮、主动齿轮、主、从动罗茨转子，其特征在于：所述轴承腔、齿轮腔设置在罗茨腔体的两侧，电机腔与轴承腔连接，所述轴承腔与罗茨腔体间及罗茨腔体与齿轮腔间均设置轴封装置；本发明专利技术体积小，抽速大，节约能源和空间；变频调速，使用寿命长；采用特氟龙类双唇轴封，延长了泵的维修周期；采用油气分离装置，解决向油蒸汽向真空室的泄漏问题；采用电机转子和泵轴一体，电机定子在油室外的结构，解决了电机动密封和电机震动问题；齿轮的装配采用热胀装配结构，减少了运动部的不平衡度和振动。

【技术实现步骤摘要】
一种真空电机
本专利技术涉及一种真空电机
，具体的说是一种真空电机。
技术介绍
罗茨真空电机由罗茨鼓风机演变而来，包括高真空多级罗茨泵、中真空罗茨增压泵和直排大气的干式罗茨泵，广泛用于化工、造纸、冶金、薄膜制备、食品等行业，也是IC装备行业中常用的一种真空电机。国内罗茨真空电机的研究和制造较早，但适合于IC装备行业严格要求的罗茨干泵并不多见，致使该设备长期依赖进口。气冷式罗茨干泵满足了IC装备行业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求，是很有发展前景的一种干式低真空电机。目前，除加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入大等制约因素外，设计理论亟待提高，尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析等。
技术实现思路
为了克服现有罗茨泵技术中极限真空低、消耗功率大、体积大、不能用于IC装备的不足，本专利技术提供一种罗茨真空电机，适用于IC装备的新型的罗茨干泵。为了实现上述目的，本专利技术结构设计是这样实现的：一种真空电机，包括电机腔、轴承腔、罗茨腔体、齿轮腔、电机、主动转子轴、从动转子轴、从动齿轮、主动齿轮、主、从动罗茨转子，所述轴承腔、齿轮腔设置在罗茨腔体的两侧，电机腔与轴承腔连接，所述轴承腔与罗茨腔体间及罗茨腔体与齿轮腔间均设置轴封装置；所述轴封装置设置在主动转子轴和从动转子轴上；所述电机为转子轴屏蔽变频电机；所述轴承腔、齿轮腔均设置润滑装置；所述两端轴承腔内设置油气分离装置；所述主动转子轴、从动转子轴由固定装置安装在轴承腔和齿轮腔间，主动转子轴电机侧为固定端；所述轴封装置包括轴封环、双唇轴封，所述轴封环、双唇轴封依次套装在主动转子轴和从动转子轴上；所述润滑装置为设置在轴承腔的主动转子轴上的主动甩油盘、从动转子轴上的电机侧从动甩油盘及设置在齿轮腔内从动转子轴上的齿轮侧从动甩油盘；所述固定装置包括轴端固定螺母、电机侧轴承压盖、轴承、轴承支撑环；所述主从动罗茨转子形线相同由两段圆弧组成；所述电机腔、齿轮腔与罗茨腔体有孔连通；泵体外部和轴承腔外部布置了水冷板冷却，电机内部设置水冷管。罗茨转子与固定端间隙小于0.2mm，与罗茨转子与罗茨腔体的间隙小于0.25mm，罗茨转子之间间隙小于0.3mm。转子轴屏蔽变频电机外壳、电机腔、齿轮腔均采用铝合金制作；所述双唇轴封材料为特氟龙类。所述油气过滤装置由固定零件和玻纤维类油气过滤材料组成。本专利技术具有如下优点：该泵以往罗茨泵相比具有体积小，抽速大，节约能源和空间，在抽速相同的情况下减小了泵的体积，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，也可以和多级真空电机组成干泵机组；变频调速，柔性启动，整机冲击小，使用寿命长。且整机过载保护，具有故障自动保护，不会出现破坏性损坏；采用新型的特殊特氟龙类双唇轴封，增加了耐磨性，减少了摩擦系数，延长了泵的维修周期；并采用油气分离装置，将装油腔与泵腔通过气孔连通的空气过滤(此装置不清楚，要详细说明结构)，使装油腔和干泵腔体压力平衡，达到平衡压力密封，解决向油蒸汽向真空室的泄漏问题；采用电机转子和泵轴一体，电机定子在油室外的结构，解决了电机动密封和电机震动问题；齿轮的装配采用热胀装配结构，减少了运动部的不平衡度和振动；在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。附图说明图1为罗茨真空电机图；图2为图1B-B剖面图；图3为立体图；图4为图1C-C剖面图。其中：1、轴端固定螺母、2、电机侧轴承压盖3、电机侧从动甩油盘4、轴承5、轴承支撑环6、轴封环7、轴承腔8、双唇轴封9、罗茨腔体10、从动转子轴11、主动转子轴12、密封圈13、密封圈14、齿轮腔15、齿轮侧轴承压盖16、齿轮侧从动甩油盘17、从动齿轮18、主动齿轮19、矩形密封圈20、主动甩油盘21、电机腔22、电机密封圈23、主动轴套24、转子轴屏蔽变频电机25、电机转子26、油气分离装置。具体实施方式如图1-图4所示，本专利技术包括轴端固定螺母1、电机侧轴承压盖2、电机侧从动甩油盘3、轴承4、轴承支撑环5、轴封环6、轴承腔7、双唇轴封8、罗茨腔体9、从动转子轴10、主动转子轴11、密封圈12、密封圈13、齿轮腔14、齿轮侧轴承压盖15、齿轮侧从动甩油盘16、从动齿轮17、主动齿轮18、矩形密封圈19、主动甩油盘20、电机腔21、电机密封圈22、主动轴套23、转子轴屏蔽变频电机24、电机转子25、油气分离装置26，罗茨腔体9两端安装轴承腔7和齿轮腔14，轴承4、轴承支撑环5、双唇轴封8依次安装在轴承腔7轴承座内及齿轮腔轴承腔轴承座内，在轴承侧设有电机侧轴承压盖2及齿轮侧轴承压盖15，主动转子轴11安装在轴承腔相应位置，电机侧为固定端，主动转子轴11，轴承支撑环5、轴承4紧靠在轴承压盖2上，并调整主动转子轴与轴承腔的间隙；主动转子轴11齿轮侧为活动端，齿轮侧轴承压盖15内采用波形弹簧固定轴承。主动转子轴电机侧安装主动轴套23和主动甩油盘20，从动转子轴10两侧安装有电机侧从动甩油盘3和齿轮侧从动甩油盘16，轴端固定螺母1内安装过滤垫固定在主动转子轴和从动转子轴有气孔轴端，主从动齿轮18、17安装在齿轮腔14内主、从转子轴相应位置。所述主从动罗茨转子形线相同由两段圆弧组成。在泵体外部和轴承腔外部布置了水冷板冷却，电机内部有水冷管，使本专利技术能够在连续和抽高温的工作条件下也不会发生热抱死现象；采用全氟聚醚真空电机油对齿轮和轴承润滑，该油具有低蒸气压、化学惰性、热稳定性高等优点，并采用平衡气压密封结构和双唇轴封，保证泵腔内清洁无油；转子轴屏蔽变频电机24、电机腔21、齿轮腔14均采用铝合金制作，体积小、重量轻、而且加工简单，通过变频电机与以往罗茨泵比同等条件获得更大抽速，变频调速，柔性启动，整机冲击小，减小了震动，使用寿命长，并且节约能源，降低了功耗，容易达到真空要求；齿轮与转子轴采用热胀过盈装配方式；该泵不设旁通溢流阀；泵体为卧式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空电机，包括电机腔、轴承腔、罗茨腔体、齿轮腔、电机、主动转子轴、从动转子轴、从动齿轮、主动齿轮、主、从动罗茨转子，其特征在于：所述轴承腔、齿轮腔设置在罗茨腔体的两侧，电机腔与轴承腔连接，所述轴承腔与罗茨腔体间及罗茨腔体与齿轮腔间均设置轴封装置；所述轴封装置设置在主动转子轴和从动转子轴上；所述电机为转子轴屏蔽变频电机；所述轴承腔、齿轮腔均设置润滑装置；所述两端轴承腔内设置油气分离装置；所述主动转子轴、从动转子轴由固定装置安装在轴承腔和齿轮腔间，主动转子轴电机侧为固定端；所述轴封装置包括轴封环、双唇轴封，所述轴封环、双唇轴封依次套装在主动转子轴和从动转子轴上；所述润滑装置为设置在轴承腔的主动转子轴上的主动甩油盘、从动转子轴上的电机侧从动甩油盘及设置在齿轮腔内从动转子轴上的齿轮侧从动甩油盘；所述固定装置包括轴端固定螺母、电机侧轴承压盖、轴承、轴承支撑环；所述主从动罗茨转子形线相同由两段圆弧组成；所述电机腔、齿轮腔与罗茨腔体有孔连通；泵体外部和轴承腔外部布置了水冷板冷却，电机内部设置水冷管。

【技术特征摘要】
1.一种真空电机，包括电机腔、轴承腔、罗茨腔体、齿轮腔、电机、主动转子轴、从动转子轴、从动齿轮、主动齿轮、主、从动罗茨转子，其特征在于：所述轴承腔、齿轮腔设置在罗茨腔体的两侧，电机腔与轴承腔连接，所述轴承腔与罗茨腔体间及罗茨腔体与齿轮腔间均设置轴封装置；所述轴封装置设置在主动转子轴和从动转子轴上；所述电机为转子轴屏蔽变频电机；所述轴承腔、齿轮腔均设置润滑装置；所述两端轴承腔内设置油气分离装置；所述主动转子轴、从动转子轴由固定装置安装在轴承腔和齿轮腔间，主动转子轴电机侧为固定端；所述轴封装置包括轴封环、双唇轴封，所述轴封环、双唇轴封依次套装在主动转子轴和从动转子轴上；所述润滑装置为设置在轴承腔的主动转子轴上的主动甩油盘、从动转子轴上的电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：康烁，
申请(专利权)人：抚顺煤矿电机制造有限责任公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21