【技术实现步骤摘要】
一种提高HMDS喷涂均匀性的结构
本技术涉及光刻领域,特别涉及一种提高HMDS喷涂均匀性的结构。
技术介绍
在平板显示成像制程中,玻璃涂胶前会经过清洗—涂HMDS—去水烘干—冷却—涂胶,其中涂HMDS的作用主要是增强光刻胶与玻璃表面非金属、金属的黏附性,一般使用接触角大小进行表征。目前设备结构在喷涂腔室内顶盖中心有一个喷嘴,玻璃进入后做HMDS涂敷时,先对腔室抽真空,然后喷嘴喷出HMDS,玻璃边缘部分接触到的HMDS相对稍小,因此,也就导致了玻璃边缘部分接触角相对偏小。做玻璃接触角测试时,会测量多个点,当每个测量点的接触角大小相差大,也就是均一性比较差时,涂胶、成像后会因为表面张力差异产生图形走线小缺口不良,甚至断线。同时也会因有的玻璃表面区域接触角过大而黏附性过强,导致脱膜不净。
技术实现思路
鉴于上述问题,本技术实施例的目的在于提供一种提高HMDS喷涂均匀性的结构,有利于提高大尺寸玻璃基板HMDS喷涂均匀性。本技术实施例提供的一种提高HMDS喷涂均匀性的结构,其特征在于,在所述HMDS的喷涂腔室内设置若干个HMDS喷嘴,各所述HMDS喷嘴与HMDS供给管路连接。可选地,所述HMDS供给管路上设有各所述HMDS喷嘴的控制阀门,用于控制所述HMDS喷嘴开启、关闭及HMDS流量调节。可选地,设置所述HMDS喷嘴5个,分别位于所述腔室的顶盖四角以及中心。可选地,所述HMDS喷嘴形状为圆柱形。可选地,所述HMDS喷嘴形状为锥形。由上可见,应用本实施例技术方案,由于在所述腔室顶盖的四个角、中心各有喷嘴分布,有利于提高大尺寸玻璃基板HMDS喷涂均匀性,使得接触角均一,改善图 ...
【技术保护点】
1.一种提高HMDS喷涂均匀性的结构,其特征在于,在所述HMDS的喷涂腔室内设置若干个HMDS喷嘴,各所述HMDS喷嘴与HMDS供给管路连接,所述HMDS供给管路上设有各所述HMDS喷嘴的控制阀门,用于控制所述HMDS喷嘴开启、关闭及HMDS流量调节。
【技术特征摘要】
1.一种提高HMDS喷涂均匀性的结构,其特征在于,在所述HMDS的喷涂腔室内设置若干个HMDS喷嘴,各所述HMDS喷嘴与HMDS供给管路连接,所述HMDS供给管路上设有各所述HMDS喷嘴的控制阀门,用于控制所述HMDS喷嘴开启、关闭及HMDS流量调节。2.如权利要求1所述的一种提高HMD...
【专利技术属性】
技术研发人员:曾艳新,刘伟,任思雨,苏君海,李建华,
申请(专利权)人:信利惠州智能显示有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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