十字分型结构太赫兹滤波器制造技术

技术编号:19782630 阅读:49 留言:0更新日期:2018-12-15 12:39
本发明专利技术公开了一种十字分型结构太赫兹滤波器,它包括第一金属微结构层、介质层、第二金属微结构层,以及位于第一金属微结构层顶部的信号输入端,以及位于第二金属微结构层底部的信号输出端,第一金属微结构层、金属介质层与第二金属微结构层无缝连接,信号从信号输入端输入,经过十字分型结构太赫兹滤波器,最后从信号输出端输出,本发明专利技术具有结构简单、滤波效率高,尺寸小,成本低、可实物加工等优点。

【技术实现步骤摘要】
十字分型结构太赫兹滤波器
本专利技术涉及滤波器,尤其涉及一种十字分型结构太赫兹滤波器。
技术介绍
太赫兹技术是二十世纪80年代末发展起来的一种新技术,太赫兹波通常是指频率范围从0.1THz到10THz(1THz=1012Hz)的电磁波,该波段处于微波与红外光之间,波长范围从30微米到3毫米。由于太赫兹波所处电磁波谱位置比较特殊,并且具有许多优越的特性,以至于世界各国众多学者的目光和关注都被它所吸引。随着超快光电子技术发展,近些年来太赫兹频段科学工作者对太赫兹波领域开展了大量研究工作,使得各种各样的太赫兹源相继得到提出,同时越来越多太赫兹探测器得以提出,这才让太赫兹技术逐步发展起来,成为近些年来颇受关注的研究领域。太赫兹滤波器作为太赫兹系统中重要的功能器件,在太赫兹通信系统、太赫兹检测系统中被广泛应用。由于应用环境中存在着噪声等影响因素,为了提高各种太赫兹系统的整体性能,需要利用太赫兹波滤波器来滤除不需要的频率和噪声,得到实际应用中所需要的太赫兹信号,因此,太赫兹波滤波器研究工作受到了国内外学者重视。太赫兹波滤波器是一类重要的太赫兹波功能器件,近年来太赫兹滤波器已成为国内外研究的热点和难点。然而现有的太赫兹滤波器大都存在着结构复杂、滤波效率低、不能完成实物加工等诸多缺点,所以研究结构简单、滤波效率高、成本低、尺寸小,高效率的太赫兹滤波器意义重大。
技术实现思路
本专利技术为了克服现有技术不足,提供一种结构简单、可实现实物加工的太赫兹滤波器。为了达到上述目的,本专利技术的技术方案如下:一种十字分型结构太赫兹滤波器,它包括第一金属微结构层、介质层、第二金属微结构层,以及位于第一金属微结构层顶部的信号输入端,以及位于第二金属微结构层底部的信号输出端,第一金属微结构层、金属介质层与第二金属微结构层无缝连接,信号从信号输入端输入,经过十字分型结构太赫兹滤波器,最后从信号输出端输出,本专利技术具有结构简单、滤波效率高,尺寸小,成本低、可实物加工等优点。所述的一种十字分型结构太赫兹滤波器,其特征在于所述的第一金属微结构层与第二金属微结构大小形状结构材料完全相同,所述的一种十字分型结构太赫兹滤波器,其特征在于所述的第一金属微结构层的材料为铝,电导率为3.56×107s/m,周期为500~600μm,厚度为10μm,十字架臂长的长度为380~400μm,分型结构十字架臂长的长度为135~140μm,分型十字架结构到十字架的距离的距离为130~140μm,分型十字架结构的短臂长的宽度为50~60μm,十字架结构与分型十字架结构的线宽完全相同,其宽度为30~40μm,所述的一种十字分型结构太赫兹滤波器,其特征在于所述的介质层的材料为聚酰亚胺,其相对介电常数为3.5,周期为500~600μm,厚度为10~15μm。附图说明图1是十字分型结构太赫兹滤波器三维与二维结构示意图;图2是十字分型结构太赫兹滤波器传输曲线图;图3是十字分型结构太赫兹滤波器实物加工示意图。具体实施方式一种十字分型结构太赫兹滤波器,包括第一金属微结构层1、介质层2、第二金属微结构层3、信号输入端4以及信号输出端5,信号输入端4位于第一金属微结构层1顶部,信号输出端6位于第二金属微结构层3底部,信号从信号输入端4输入,经过十字分型结构太赫兹滤波器,最后从信号输出端6输出,本专利技术具有结构简单、滤波效率高、可实现实物加工,尺寸小,成本低等优点。所述的一种十字分型结构太赫兹滤波器,其特征在于所述的第一金属微结构层1与第二金属微结构3大小形状结构材料完全相同,所述的第一金属微结构层1的材料为铝,电导率为3.56×107s/m,周期为500~600μm,厚度为10~15μm,十字架臂长6的长度为380~400μm,分型结构十字架臂长7的长度为135~140μm,分型十字架结构到十字架的距离8的距离为130~140μm,分型十字架结构的短臂长9的宽度为50~60μm,十字架结构与分型十字架结构的线宽10完全相同,其宽度为60~70μm,所述的介质层2的材料为聚酰亚胺,其相对介电常数为3.5,周期为500~600μm,厚度为10~15μm。实施例1如图1所示,所述的一种十字分型结构太赫兹滤波器,其特征在于所述的第一金属微结构层与第二金属微结构大小形状结构材料完全相同,所述的第一金属微结构层的材料为铝,电导率为3.56×107s/m,周期为500μm,厚度为10μm,十字架臂长的长度为380μm,分型结构十字架臂长的长度为135μm,分型十字架结构到十字架的距离的距离为130μm,分型十字架结构的短臂长的宽度为60μm,十字架结构与分型十字架结构的线宽完全相同,其宽度为30μm,所述的一种十字分型结构太赫兹滤波器,其特征在于所述的介质层的材料为聚酰亚胺,其相对介电常数为3.5,周期为500μm,厚度为10μm,计算获得所设计太赫兹滤波器传输曲线如图2所示,由图中可见,该滤波器的中心频率为0.229THz,通带范围为0.210-0.238THz,3dB带宽为0.04THz,在大部分通带范围内的透射率大于99%,最高透射率为99.99%。透射曲线在中心频率点附近有一个凹陷,透射率仅为70%左右,通带的上升沿和下降沿均非常陡,实物加工示意图如图3所示。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种十字分型结构太赫兹滤波器,它包括第一金属微结构层(1)、介质层(2)、第二金属微结构层(3)、信号输入端(4)以及信号输出端(5),信号输入端(4)位于第一金属微结构层(1)顶部,信号输出端(6)位于第二金属微结构层(3)底部,信号从信号输入端(4)输入,经过十字分型结构太赫兹滤波器,最后从信号输出端(6)输出,本专利技术具有结构简单、滤波效率高、可实现实物加工,尺寸小,成本低等优点。

【技术特征摘要】
1.一种十字分型结构太赫兹滤波器,它包括第一金属微结构层(1)、介质层(2)、第二金属微结构层(3)、信号输入端(4)以及信号输出端(5),信号输入端(4)位于第一金属微结构层(1)顶部,信号输出端(6)位于第二金属微结构层(3)底部,信号从信号输入端(4)输入,经过十字分型结构太赫兹滤波器,最后从信号输出端(6)输出,本发明具有结构简单、滤波效率高、可实现实物加工,尺寸小,成本低等优点。2.根据权利要求1所述的一种十字分型结构太赫兹滤波器,其特征在于所述的第一金属微结构层(1)与第二金属微结构(3)大小形状结构材料完全相同。3.根据权利要求1所述的一种十字分型结构太赫兹滤波...

【专利技术属性】
技术研发人员:李九生邓玉强
申请(专利权)人:中国计量大学
类型:发明
国别省市:浙江,33

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